초박막 다공성 알루미나 멤브레인 마스크의 형태적 특성이 졸-겔 증착 방법을 이용한 금속산화물 나노구조물 제작에 미치는 영향 연구 (Effects of Attached and Connected Ultra-thin Porous Alumina Membranes on the Fabrication of Metal-oxide Nanostructures by Using the Sol-gel Deposition Technique)

서지정보

· 발행기관 : 한국물리학회
· 수록지 정보 : 새물리 / 63권 / 1호 / 125 ~ 131페이지
· 저자명 : 양선아, 김병훈, 부상돈

초록

본 연구에서는 두 가지 유형의 초 박막 다공성 알루미나 멤브레인(ultrathin porous alumina membrane, UT-PAM) 마스크를 제작 하였다.
UT-PAM은 만드는 방법에 따라서 attached UT-PAM과 connected UT-PAM로구분되는데, attached UT-PAM은 먼저 양극산화 된 알루미늄 판 위에성장된 UT-PAM을 분리한 후에 그것을 기판 위에 접착(adhesion)하여제작되었으며, connected UT-PAM은 실리콘 기판 위에 알루미늄을 증착시킨 후 바로 양극산화 시켜 제작 되었다. 서로 다른 형태적 특성을지니는 이 두 종류의 UT-PAM을 마스크로 사용하여 PZT나노구조물을제작한 결과 attached UT-PAM을 사용하였을 때에는 제작된 나노구조물이속이 비어있는 형태의 나노튜브 모양을 가지고 잘 배열되어 있는 것을관찰 할 수 있었다. 이와 다르게 connected UT-PAM을 사용하였을 때에는나노튜브 보다는 상대적으로 튜브 안쪽이 차있는 형태의 나노닷 배열제작되는 것을 관찰 하였다. 이와 같이 서로 다른 모양의 나노구조물이형성된 이유는 두 종류 UT-PAM의 기판과의 접착 정도가 다르기 때문으로판단된다.

영어초록

Ultrathin porous alumina membranes (UT-PAMs) have been widely used as masks for the fabrication of highly-ordered nanostructures. There are two types of UT-PAMs, attached and connected UT-PAMs, which can be distinguished by the method of preparation. In the case of attached UT-PAMs, an UT-PAM is first grown on aluminum by anodizing an aluminum plate. Then, it is transferred from the aluminum plate to the desired substrate. For connected UT-PAMs, an UT-PAM is prepared directly by anodizing aluminum films deposited on p-type Si substrates. The PZT nanostructures were fabricated by using two kinds of UT-PAMs as masks and a conventional sol-gel method. We found that the shapes of the obtained nanostructures highly depended on the used UT-PAMs. Nanotube arrays and nanodot arrays were obtained when the attached UT-PAM and the connected UT-PAM were used, respectively. These results can be attributed to the different degrees of contact between the UT-PAMs and the substrates.

참고자료

· 없음