전기탈이온시스템 응용을 위한 주기적 홀을 갖는 금속 전극 제작에 관한 연구 (A Study on the Fabrication of Periodic Holes on Metal Electrode for Electrodeionization System Application)

서지정보

· 발행기관 : 한국전기전자재료학회
· 수록지 정보 : 전기전자재료학회논문지 / 26권 / 3호 / 227 ~ 231페이지
· 저자명 : 여종빈, 선상욱, 이현용

초록

전기탈이온은 전기장하에서 고순수를 생산하는 전기투석 및 이온교환의 하이브리드 분리 공정이다. 본 연구는 전기탈이온시스템 응용을 위한 홀 패턴된 금속전극의 제작을 연구하였다. 본 연구의 결과인 주기적 배열을 갖는 홀 패턴은 자가정렬된 나노구체를 렌즈마스크 패턴으로 사용하고 콜리메이트된 레이져 빔을 광원으로 사용한 나노구체 리소그라피 공정을 이용하여 제작되었다. 홀 패턴된 금속전극은 전자주사현미경(SEM)을 이용하여 관찰하였다. 본 연구진은 주기적 홀 패턴을 갖는 금속 전극은 전기탈이온 시스템의 금속 매트 전극에 유용하게 응용될 것이라 판단한다.

영어초록

Electrodeionization is a hybrid separation process of electrodialysis and ion exchange to produce high purity water under electric field. This article provides a fabrication result of hole patterned metal electrode for elecrodeionization system. The hole patterns have been fabricated by nanosphere lithography (NSL). The technique utilizes the self-assembled nanospheres as lens-mask patterns and collimated laser beam source. The hole patterns have a periodic array structure. The images of hole pattern on metal electrode prepared were observed by SEM. We believe that the periodic hole patterned metal electrode structure is a useful device applicable for metal mat electrode in electrodeionization system.

참고자료

· 없음