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서지정보
· 발행기관 : 한국진공학회
· 수록지 정보 : Applied Science and Convergence Technology / 13권 / 3호 / 99 ~ 102페이지
· 저자명 : 김연주, 박재훈, 김성인, 최종선
초록
유기 절연층을 사용한 유기 박막 트랜지스터의 특성 향상을 위해 절연층 표면에 Ar 플라즈마 처리를 하였다. 플라즈마 처리는 절연체 표면의 화학적, 물리적 특성 변화를 통해 그 후에 이어지는 활성층 성막 시 분자들의 결정성을 향상시키기 위한 방법이다. 활성층으로 사용된 물질은 pentacene이며, 절연층으로 사용된 물질은 PVP(Poly-vinyl-phenol)이다. Pentacene는 약 10-6 Torr에서 0.5 Å/sec의 속도로, PVP는 spin coating법에 의해 각각 성막되었다. 형성된 절연층을 일정 시간동안 Ar 플라즈마 처리 한 후 각 소자의 전기적 특성을 측정하여 표면처리에 의한 특성 변화를 살펴보았다.참고자료
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