고온 NVM SiBCN vs SiAlBN 비교

소개

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목차

1. 화학적·결합 구조
2. 트랩층 역할 및 전하 포획 거동
3. 보유 및 속도 특성
4. 열적 안정 및 공정 특성
5. 트랩층 관점 요약
결론

본문내용

1. 화학적·결합 구조
항목 SiBCN SiAlBN 비교 요약
주 결합 Si–N, B–N, C–N, Si–C Si–N, Al–N, B–N Al–N 결합으로 유전상수↑, 일부 shallow trap
결합 에너지 (eV) B–N 3.9, C–N 3.2 Al–N 2.9, B–N 3.9 Et 차이 약 0.1 ~ 0.2 eV
밴드갭 Eg (eV) 5.3 – 5.7 5.0 – 5.3 SiAlBN 은 절연성 조금 낮지만 주입 효율↑
유전상수 k 6.3 – 6.8 7.0 – 7.4 전하 주입 및 속도 향상 유리

참고자료

· 없음