Silvaco TCAD를 이용한 45nm CMOS 인버터 설계
2025.12.18
1. CMOS 인버터 설계
45nm gate length의 N/PMOSFET으로 이루어진 CMOS 인버터를 Silvaco TCAD를 이용하여 구현. NMOSFET은 Enhancement mode, PMOSFET은 Depletion mode로 동작하도록 설계. 인버팅 포인트는 약 1.65V이며, 1~2V 사이에서 인버터 동작 확인. 10Ω의 p-type Si 기판에서 시작하여 shallow trench isolation, well 형성, gate oxide 증착 등의 공정을 거쳐 완성.
2. MOSFET 동작 모드
Enhancemen...
2025.12.18