( Q 1/ E 2 ) : 빔 에너지 전자궤적은 보다 직선적 침투깊이 에너지 손실율은 에너지에 반비례 ( dE / ds 1/ E ) : 빔 에너지 큰 ... 에너지로 침투 에너지 손실율 침투깊이 반응부피의 모양 변화 폭과 깊이의 비율이 비슷함원자번호의 영향 탄성산란 단면은 원자번호의 제곱에 비례 ( Q ... E 2 ) : 원자번호 탄성산란의 기회 단위거리 당 산란 및 평균 산란각도 빔 전자의 침투깊이 Tilting Angle 의 영향 전자의 범위는 경사각
검출기는 흔히 원통형태로 대물렌즈 밑에 위치한다. 또한 1차 전자와 고체시료 사이의 작용으로 X선 및 장파장의 가시광선이 방출되는데, 이들을 검출하기 위하여 EDX(Energy ... 를 줄여줌에 따라 전자가 텅스텐표면 밖으로 투과되어 나가는 원리를 이용하고있다. FE 전자총은 점원으로부터 균일한 에너지의 전사전이 얻어지므로 대단히 높은 전자선 밝기와 작은 교차점 ... 을 다(그림1). 시편에 전자가 입사할 경우 발생하는 여러 종류의 신호한편, 전자빔이 입사되면서 시료와 상호작용은 표면에서의 깊이에 따라 주요 기작이 다르게 나타나는데 는 20kV
EDXEDX의 구조 EDX의 원리 - 원자의 구조 - 연속 X-RayEnergy Dispersive X-ray microanalysis 보통 EDX 혹은 EDS(Energy ... 을 갖는 여러 종류의 전자, 이온 및 특성 X선 등이 방출됩니다. ▷이 때, EDX 장치는 방출된 특성 X선만을 따로 detecting하여 빔의 에너지 대별로 화면에 표시하게 됩니다 ... 한다. 이에 따라 Window는 Detector내부 진공을 유지할 정도로 강하고 X-ray를 투과시킬 수 있어야 한다. 초창기에는 기술적인 문제로 Be Window를 사용
몇 가지 분석법으로 분류된다.{표면/구조분석투과전자현미경(TEM/STEM/ATEM)주사전자현미경(SEM/EPMA)X선광전자 분광분석기 (ESCA/XPS)주사형 오제이 전자현미경 ... 빔, 광학렌즈 대신에 전자렌즈를 사용하여 형광면 위에 물 체의 확대상을 결상시켜 관찰하는 현미경.2.투과전자현미경(Transmission Electron Microscope=TEM ... Electron Microscope=SEM)-짧은 파장 전자선 이용, 시료 표면의 확대상을 관찰, EDX을 이용한 조성분석도 가능.-금속, 광물, 반도체 등의 시료 그대로 관찰.