대ic Measurement Method )Benzene열 탈착 및 가스 크로마토그래피(thermaldesorption and gas chromatography)Pb, Cd,As ... Eutrophying and Acidifying Pollutants: NO2Net (rural diffusion tubes)NO2 (rural)24UK Eutrophying
하여 박막을 성장 시키는 것 유기 금속 화합물을 사용하여 Thermal CVD법에 의해 박막을 만드는 기술 반응 예] Ga(CH3)3 + AsH3 → GaAs + 3CH4 Al(CH3)3 ... 에 전장을 걸어 Plasma 상태를 형성하여 박막 증착하는 방법. Thermal CVD 방법보다 저온에서 박막 증착 가능PE CVD반응기에 주입된 반응기체의 분해 및 박막 증착 시 열 ... 에너지를 이용하는 방법Thermal CVD반응 에너지원Remarks이름분류기준MOCVD 분류 및 장점MOCVD 분류매우 불안정(C2H5)3lnTEln낮은 증기압고체, MOVPE