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반도체 플라즈마 식각공정 resistivity

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"High Current DC Reactor" 검색결과 1-3 / 3건

Structure Design and Thermal Analysis of Cryogenic Cooling System for a 1500 A, 400 mH Class HTS DC Reactor (Structure Design and Thermal Analysis of Cryogenic Cooling System for a 1500 A, 400 mH Class HTS DC Reactor)

한국산업정보학회 Quan Dao-Van, Tat-Thang Le, 성해진, 박민원, 유인근

논문 | 11페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.12 | 수정일 2025.05.09

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박막증착 공정과 식각 공정 자료입니다.

provide good uniformity and high throughput. To improve the uniformity further cross-flow reactors ... allows the fabrications of high density interconnect. Currently, tungsten is the most popular CVD metay ... rucible temperature high enough to evaporate refractory materials, contamination of the charge from

리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.06.23

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[반도체(Plasma)] 플라즈마 기술에 대한 보고서

voltage를 형성. DC glow discharge의 조건을 만족한다.DC방전에 의한 플라즈마의 생성ABCDF. PLASMA SHEATH 의미1.PLASMA 중 가장 가벼운 전자 ... 핵해리반응H. PLASMA 응용 PROCESS1.ECR REACTOR : Micro frequency(2.45GHz)와 전자의 Cyclotron 주파수가 서로 같은 조건과 위상 ... - 이온 가속에너지를 독립적으로 제어 할 수 없다. - Low plasma density(109-1010/Cm3) - High pressure operation 4

리포트 | 19페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.01.21

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