trage box를 운반하는 도구.Cascade3단으로 되어 있는 작은 폭포로써 순수한 물(DIW)이 흐르면서 바닥으로부터 질소가 분출되도록 만들어져 있어 Wafer를 헹구는 장치 ... 한에 노광한 제품을 배열한 형틀로서 제품과 제품사이의 Scibe line내에서 노광장비에서 사용할때 Align key및 Process inspection용 Pattern을 포함 ... 장점을 갖고 있다.FTA (Fixed To Attempt Ratio)한 Wafer의 repairable 소자들에 대해 fuse cutting 한 후 양품화 되는 소자의 수를 백분