onformal step coverage* 고진공 필요 없음1. CVD reactor(a) Horizontal reactor using induction heating method(b ... ) Vertical reactor using induction heating method(c) Cylindrical reactor for silicon epitaxy using ... 세미나 시간에 시청한 시청각 자료는 의미가 있었다고 생각한다.시청각 자료의 전반적인 내용을 요약하자면 다음과 같다.1. comparison of CVD to other film