ElectronSpectroscopy) 측정을 한다. AES는 수 백 Angstrom 크기로집속된 전자 빔을 재료의 표면에 입사시켜 방출되는 Auger 전자의에너지를 측정하여 재료 표면을 구성하고 있는 원소 ... ), (111)로 변화하였다.4. AES 분석증착된 박막의 깊이에 따른 조성분포를 관찰하여 중간상의형성과 상호 확산 정도를 조사하기 위해 AES(Auger
ElectronSpectroscopy) 측정을 한다. AES는 수 백 Angstrom 크기로집속된 전자 빔을 재료의 표면에 입사시켜 방출되는 Auger 전자의에너지를 측정하여 재료 표면을 구성하고 있 ... 가(220), (111)로 변화하였다.4. AES 분석증착된 박막의 깊이에 따른 조성분포를 관찰하여 중간상의형성과 상호 확산 정도를 조사하기 위해 AES(Auger