, TiN-WC films with different composition were prepared on AIP TiN coatings using the hybrid ... target, TiN-WC films with different composition were prepared on AIP TiN coatings using the hybrid ... to wear and oxidation.In last years, hard PVDcoatings, such as nitrides, carbides or carbonitrides
제 2 장 증착법의 원리와 특징2-1 증착법의 종류와 선택증착법은 그림 2.1.1에 나타난 것 같이, 크게 나누면 PVD(Physical Vapor Deposition)와 CVD ... 의 각종 증착법의 비교를 나타내고 있다. CVD, 프라즈마 CVD, PVD에는 각각 나름대로의 득실을 가지고 있어, 그 목적에 맞추는 사용법이 필요하다.2-2 PVD에 의한 성막PVD ... ○○○●절삭공구, 기능막금형표 2.2.2 PVD로서 공업적으로 가능한 코팅피막의 특성 및 용도위의 표 2.2.2는 PVD법에서 공업적으로 가능한 코팅의 특성과 용도를 나타내었는데, 그