"6-DOF Stage"의 검색결과 입니다.

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"6-DOF Stage" 검색결과 1-7 / 7건

초정밀 구동을 위한 6자유도 스테이지의 설계와 모델링 (Design and Modeling of a 6-dof Stage for Ultra-Precision Positioning)

한국정밀공학회 문준희, 박종호, 박희재

논문 | 8페이지 | 무료 | 등록일 2025.07.09 | 수정일 2025.07.11

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플렉셔 힌지 기반 6-자유도 초정밀 위치 결정 스테이지의 기구학해석 (Kinematic Analysis of a 6-DOF Ultra-Precision Positioning Stage Based on Flexure Hinge)

한국정밀공학회 신현표, 문준희

논문 | 8페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.25 | 수정일 2025.05.27

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초정밀 직선 스테이지의 6자유도 운동 오차 보정을 위한 미세 구동 스테이지 개발 및 성능 평가 (Development and Performance Evaluation of a Fine Stage for Compensating 6-DOF Motion Errors of an Ultra-Precision Linear Stage)

한국정밀공학회 이훈희, 이인석, 이광일, 양승한

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.06.13 | 수정일 2025.06.17

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압전 구동기와 레버 링키지를 이용한 6 자유도 스테이지의 비선형성 평가에 기초한 정밀 위치 제어기의 설계 (Precision Position Controller Design for a 6-DOF Stage with Piezoelectric Actuators and Lever Linkages Based on Nonlinearity Estimation)

대한기계학회 문준희, 이봉구

논문 | 9페이지 | 무료 | 등록일 2025.06.05 | 수정일 2025.06.09

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[직접회로] 생기교육자료 ETCH 사진1

SOURCE TREND4. EXPOSURE TECHNOLOGY5. LGS FAB ROADMAP6. 장치 ROADMAP7. 각社별 개발 동향8. 각社 & DEVICE별 THRU ... 최소화⇒ARC 개발*DOF 확보 및 고해상력⇒PSM 기술 개발*Scanner 도입⇒Mask 제작 기술 향상DUV PR 본격화PROCESS TREND1-2ROADMAP..PAGE ... -6ROADMAP..PAGE:91995 1996 1997 1998 1999 2000특 징TrackTELi-LINEKrFi-LINEKrFi-LINEKrFi

Non-Ai HUMAN
| 리포트 | 49페이지 | 1,000원 | 등록일 2002.12.22

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[직접회로] 생기교육자료 ETCH 사진2

SYSTEM3-4-5-1. OFF AXIS ILLUMINATION3-4-5-2. PSM3-4-5-3. OPC3-4-5-4. NA3-4-5-5. CHOERENCE3-4-5-6 ... ,.52)PSMCr mask해상력 증가DOF ( um )EQUIPMENTM3(g,.48)i10C(i,.57)i4(i,.63)EX3(KrF,.6)i1(i,.52)2.01.51.00 ... 상 Matching이 되어야 함.σ=0.73 ↔ NA=0.45σ=0.66 ↔ NA=0.5σ=0.6 ↔ NA=0.55σ=0.52 ↔ NA=0.63σ공정개요-EXPOSURE-Technologyσ

Non-Ai HUMAN
| 리포트 | 42페이지 | 1,000원 | 등록일 2002.12.22

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유한요소해석의 의미와 이용한 사례연구

/Shell Element) 자유도 : 6 DOF(UX, UY, UZ, RX, RY, RZ)단) 일반적으로 법선방향의 강성(Rz, Rotational Stiffness)은 없다.결합방법 ... /Shell Element) 자유도 : 6 DOF(UX, UY, UZ, RX, RY, RZ)단) 일반적으로 지역좌표계(Local Coordinate System)에서의 법선방향의 강성 ... ????(RZ, Rotational Stiffness)은 없다.보요소(Beam Element) 자유도 : 6 DOF(UX, UY, UZ, RX, RY, RZ)결합방법토오크(Torque

Non-Ai HUMAN
| 논문 | 30페이지 | 4,000원 | 등록일 2007.12.01

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