터보분자펌프 1. 터보분자펌프란 ? 2. 사용범위 3. 원리 4. 구조 5. 장 , 단점 6. 주의사항 고장 및 원 인 7. 컨트롤러 Content1958 년 Becker ... 에 매우 깨끗하다 . 요즘은 자기부상의 원리로 마찰력을 줄여 아예 윤활유도 사용하지 않는 경우도 있다 . 1 . 터보분자펌프란 ? 실험실에 있는 펌프와 컨트롤러10 -12 10 ... ~ 10 -9 torr 2 . 터보분자펌프 사용범위기 체 분자와 회전하는 rotor blade 표면 사이의 충돌 일정한 방향으로 분자들 이동 3 . 터보분자펌프 원리 배기구
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