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"축전 결합형 플라즈마" 검색결과 1-20 / 32건

  • RF 축전 결합형 플라즈마 장비에서 발생하는 줄무늬의 형성 원리 (Mechanism of Striation Formation in RF Capacitively Coupled Plasmas)
    한국물리학회 박건우, 천청빈, 김창호, 이해준
    논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.26 | 수정일 2025.05.14
  • 확산펌프 기반의 BCl₃ 축전결합 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaAs의 건식 식각 (Dry Etching of GaAs and AlGaAs in Diffuion Pump-Based Capacitively Coupled BCl₃ Plasmas)
    한국진공학회 이제원, 이성현, 박주홍, 최경훈, 송한정, 조관식
    논문 | 8페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.06
  • 확산펌프 기반의 O2 축전결합 플라즈마를 이용한 PMMA와 폴리카보네이트의 건식 식각 (Dry Etching of PMMA and Polycarbonate in a Diffusion Pump-based Capacitively Coupled O2 Plasma)
    한국재료학회 박주홍, 이성현, 최경훈, 노호섭, 이제원
    논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.07.02 | 수정일 2025.07.05
  • 저진공 축전 결합형 BCl3/N2 플라즈마를 이용한 GaAs의 건식 식각 (Capacitively Coupled Dry Etching of GaAs in BCl3/N2 Discharges at Low Vacuum Pressure)
    한국재료학회 김재권, 이성현, 노호섭, 주영우, 박연현, 김태진, 박주홍, 이제원
    논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.26 | 수정일 2025.05.14
  • 저진공 축전결합형 SF6, SF6/O2, SF6/CH4 플라즈마를 이용한 아크릴의 반응성 건식 식각 (Capacitively Coupled SF6, SF6/O2, SF6/CH4 Plasma Etchingof Acrylic at Low Vacuum Pressure)
    한국재료학회 박연현, 노호섭, 주영우, 김재권, 이제원
    논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.26 | 수정일 2025.05.14
  • 확산펌프 기반의 O2 축전결합 플라즈마를 이용한 PMMA와 폴리카보네이트의 건식 식각
    한국재료학회 박주홍, 이성현, 최경훈, 노호섭, 이제원
    Non-Ai HUMAN
    | 논문 | 6페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05
  • 저진공 축전 결합형 BCl3/N2 플라즈마를 이용한 GaAs의 건식 식각
    한국재료학회 김재권, 박주홍, 이성현, 노호섭, 주영우, 박연현, 김태진, 이제원
    Non-Ai HUMAN
    | 논문 | 5페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05
  • 저진공 축전결합형 SF6, SF6/O2, SF6/CH4 플라즈마를 이용한 아크릴의 반응성 건식 식각
    한국재료학회 박연현, 주영우, 김재권, 노호섭, 이제원
    Non-Ai HUMAN
    | 논문 | 5페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05
  • 판매자 표지 자료 표지
    반도체 공정 term project
    화시킨다. Ar이 들뜬 상태가 되면서 전자를 방출하면, 에너지가 방출되며 이때 글로우방전이 발생하여 이온과 전자가 공존하는 보라색의 플라즈마를 보인다. 플라즈마 내의 이온은 큰 전위차 ... 기도 한다).DC sputtering은 코팅으로 사용될 target material에 이온화 된 가스 분자가 충돌하여 원자가 플라즈마로 sputtering되는 PVD(Thin Film ... 가 완전 탄성 충돌에 의해 운동량을 교환하여 표면에서 밖으로 튀어나오게 된다. 이처럼 ion이 물질의 원자간 결합에너지 보다 큰 운동에너지로 충돌할 경우 이 ion 충격에 의해
    리포트 | 11페이지 | 5,000원 | 등록일 2023.06.22
  • 판매자 표지 자료 표지
    서울대학교 일반대학원 화학생물공학부 연구계획서
    디라디칼의 영향 연구 등을 하고 싶습니다.저는 또한 이온교환용량이 막 결합형 축전식 탈염공정에서 염 제거율에 미치는 영향 연구, 플라즈마 활성화 표면처리 공정과 나노클레이 분산
    자기소개서 | 2페이지 | 3,800원 | 등록일 2024.02.02
  • 판매자 표지 자료 표지
    플라즈마 기초
    . 실제 반도체 공정에서 자주 사용되는 축전결합 플라즈마(CCP, Capacitively Coupled Plasma) 형태 중의 하나인 Reactive Ion Etching(RIE ... 자연계 제4의 물질 상태, Plasma플라즈마는 고온 상태에서 이온화 된 입자 상태로, 전자와 양이온, 즉 전기를 띈 하전 입자들로 구성돼 있으며 전기적으로는 중성인 하전 기체 ... 보다 훨씬 커야 한다.Plasma Parameters플라즈마를 기술하고 설명하는 데 많은 개념들이 사용되지만 그 중에서 가장 기본적이면서 중요한 것은 플라즈마 밀도와 플라즈마
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 3페이지 | 1,500원 | 등록일 2022.07.15 | 수정일 2023.07.02
  • 연구과제 - 투명 태양전지 기반 빛 조절 창문 TPAW (Transparent Photovoltaic Adjustable Window)
    도면도3. 염료감응형 투명 태양전지 구조도4. TPAW 단면 구조제1장 서론1-1 아이디어의 필요성현재 태양광 발전은 플라즈마를 도입하여 효율성을 높이는 등 그의 기술력은 나날이 ... 고 태양전지와 창문을 결합함으로써 옥상을 태양전지로 덮어야만 하는 수고를 면하자는 것이다. TPAW란 투명 태양광 조절 창문(Transparent Photovoltaic ... 을 외부 발전에 사용할 수 있다. 외부에 공급되는 전력은 기존 태양광 발전에 사용되는 차량내 혹은 옥내 전지에 축전하거나 혹은 옥외로 송전하여 전력을 판매 하도록 한다.2-4. 기존
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 15페이지 | 8,900원 | 등록일 2020.12.02
  • 플라즈마
    은 밀도의 플라즈마는 전기 저항이 낮다. 이러한 플라즈마의 자기적 특성을 이용하면 전압을 상승시키지 않고도 높은 밀도의 플라즈마를 생성할 수 있다.2.ICP , CCP1)축전결합 ... 적 특성, 기하적 특성에 아주 민감하기 때문이다.2)유도결합형 플라즈마(Inductively Coupled Plasma, ICP)ICP는 구조적으로 코일 형태의 안테나가 있으며 여기 ... 플라즈마(Capacitivley Coupled Plasma, CCP)CP 플라즈마는 전력을 인가할 수 있도록 설계된 전극이 있는 것이 구조적 특징이며 이름에서도 알 수 있듯이 전극
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 7페이지 | 2,000원 | 등록일 2009.11.01
  • 압전에너지 하베스팅기술
    를 전기적인회로를 통하여 Super-capacitor 나 2 차 전지에 축전하는 단계 . 서 론압력이 가해졌을 때 전압을 발생하고 , 전계가 가해졌을 때 기계적인 변형 이 일어 나 ... ) 공진기에 사용 석영 기반 센서는 벌크 마이크로 가공으로 제작 란탄갈륨규산 (La 3 Ga 5 Sio 14 ) : 석영보다 품질 계수가 5 배 높고 압전결합 계 수가 3 배 높 ... F:HF 용액을 사용 ▪ 알루미늄질화물은 60~95 도 사이에서 뜨거운 인산 사용 건식 에칭 : 기체 플라즈마에 의한 반응을 이용한 식 각 공정을 의미 ▪ 압전체의 반응플라즈마
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 14페이지 | 3,500원 | 등록일 2011.12.08
  • 윔스 허스트 장치를 통한 대기압 방전 실험
    의 개방전이 off 되어 플라즈마가 소멸하게 된다. AC 의 반주기가 유전체의 충전시간 tc 보다 작을수록 안정되게 플라즈마를 유지시킬 수 있다. 그림 2-9 의 축전기에서 충전 ... 플라즈마는 Dry etching (플라즈마에 의해 활성화된 라디칼, 전자 등을 이용하여 etching), CVD 즉 Plasma를 이용하여 기상합성으로 기능성 막을 생성시키는 방법 ... (주로 반도체 분야의 thin film 형성에 적용함)에 사용된다. 또한 Plasma 중합 이나 표면개질 Sputtering과정에 사용된다. 고온 플라즈마플라즈마 용접, 절단
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 17페이지 | 1,500원 | 등록일 2010.01.26
  • 분광광도계의 종류와 스펙트럼 측정법
    treching)과 굽힘(bending)진동으로 나뉜다. 신축진동은 2원자 사이의 결합축에 따라 원자간의 거리가 계속적으로 변하는 운동으로 대칭과 비대칭 운동이 있다 굽힘진동은 2결합사이 ... 수준까지 전하가 충전되어 있으며 광자가 광다이오드에 도달하면 자유전자가 생성되고 이들이 축전기에 저장된 전하를 방전시킨다. 따라서 각각의 광다이오드에 부착된 축전기의 재충전에 사용 ... 를 흘려 주면서 유도코일에 들뜸전원으로 부터의 고주파전력을 공급하여 토치위에 플라즈마를 생성시킨다. 플라즈마가 안정된 다음 시료도입부로부터 분무기를 통하여 시료용액을 플라즈마에 도입
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.05.02
  • Reactive magnetron sputtering을 이용한 ZnO박막증착
    35특성에 대한 기판의 온도 영향을 조사하고자 한다. 본 실험의 목적은 유도결합형 플라즈마를 이용한 반응성 스퍼터링을 사용하여 ZnO 박막을 증착하고 특성을 분석하는데 있다. 스퍼터 ... 전기장이 형성된다. 유도결합 플라즈마를 사용할 경우 증착 금속 입자들을 높은 분율로 이온화시킬 수 있는 장점을 가지고 있다. 플라즈마와 유도결합 플라즈마의 발생원리를 Fig. 5 ... )132.2.4. 스퍼터링을 이용한 박막형성의 영향요소142.2.5. RF 스퍼터링152.2.6. Magnetron 스퍼터링182.2.7. RF 마그네트론 스퍼터링192.3. 플라즈마
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 57페이지 | 3,500원 | 등록일 2008.12.06
  • [다윈의 블랙박스] 독후감
    의 발걸음은 빨라졌다. 갈수록 많은 자연학자들이 아리스토텔레스가 세워놓은 모범을 따랐다. 과학자들이 아리스토텔레스의 폭넓은 관찰과 하비의 명확한 추론을 결합시킴에 따라 생물학은 17 ... 기록을 꾸준히 수집한 결과를 보면 수 백 만년에 걸쳐 변화라고는 지그재그 형태와 매우 사소한 변동 그리고 가끔 아주 약간씩 축전되는 변화 정도가 나타날 뿐이며, 그 진행속도도 진화 ... , 성냥, 도화선, 대포, 대포알, 깔때기, 톱, 로프 그리고 전신주 따위는 이름이 다소 어렵게 들리는 ‘혈장 트롬보플라스틴전구물질(plasma thromboplastin
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 6페이지 | 1,500원 | 등록일 2013.10.12
  • 세라믹8조탄소나노튜브
    . * T-CVD 에 의해 생성된 CNT 의 SEM 사진 * T-CVD 에 의해 생성된 CNT 의 TEM 사진플라즈마 화학기상증착법 (Plasma CVD) 열화학 기상증착법과 유사 ... 모양 ) 을 변형시켜 만든 것으로 탄소로 이루어진 탄소동소체로서 하나의 탄소가 다른 탄소원자와 육각형 벌집무늬로 결합되어 튜브형태를 이루고 있는 물질 나노기술 중에서 가장 많 ... 튜브의 합성 기술 전기방전법 (arc-discharge) 레이저 증착법 (Laser vaporization) 열 화학기상증착법 (Thermal CVD) 플라즈마 화학기상증착법
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 30페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.06.08
  • 특수가공 완결~
    -방전 가공-전자빔 가공-플라즈마 가공▶전기 광학적 가공-레이저 가공▶전기 화학적 가공-전해 가공-전해 연삭▶전기 기계적 가공-초음파 가공▶기계적 가공-분사 가공▶기 타 가공 및 ... 에 의한 열로 공작물을 녹여서 가공WEDM전자빔 가공전자빔을 공작물 위에 접속 조사해 국부적으로 발생하는 고열로 공작물 가공EBM플라즈마 아크 가공PAM전기 광학적 에너지레이저 가공 ... 【금속 가공】▶ 금속 가공① 축전기법그림은 축전기법의 대표적인 회로의 예로서, 직류전원으로부터 가변저항을 지나 condenser C를 축전하고, 이 전류가 방전하는 사이에 가공부
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 69페이지 | 3,000원 | 등록일 2008.11.21
  • 콘크리트 마켓 시사회
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2025년 11월 27일 목요일
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