형식으로 구름 베어링, 유정압 베어링, 하이브리드 베어링, 공기 베어링, 자기 베어링 등이 연구되고 있으며, 지금까지는 강성, 고속성, 경제성, 신뢰성 등에서 비교적 특성이 좋 ... ,고정밀 이송제어2um이하▷look ahead해석▷고속, 고정도 윤곽제어▷Feed Forward 제어주축 회전속도12000rpm이상▷고정밀, 고강성 주축설계▷내장형 스핀들모터▷세라믹 ... 베어링▷정밀 예압제어▷주축계의 동특성 해석위치결정정밀도1.5um이하▷Liner scale에 의한▷Closed Loop 위치제어반복위치 정밀도1.0um이하열변위10um이하▷열대칭