"유도결합플라즈마"의 검색결과 입니다.

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EasyAI “유도결합플라즈마” 관련 자료

+기기분석 - 유도결합플라스마 발광광도..등록일 2017.03.19 | 총 10,932자 | 14페이지 | 4,400원
+ICP/MS ( 유도결합 플라즈마 질..등록일 2012.02.19 | 총 4,472자 | 4페이지 | 1,000원

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"유도결합플라즈마" 검색결과 1-20 / 910건

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ZnO 박막의 fluorine-계 유도결합 플라즈마 식각 (Fluorine-based inductively coupled plasma etching of ZnO film)

CF4/Ar 및 SF6/Ar 유도결합 플라즈마을 이용하여 ZnO 박막의 고이온밀도 플라즈마 식각을 수행하였다. 10CF4/5Ar, 10SF6/5Ar 유도결합 플라즈마에서 최고 ... 유도결합 플라즈마에서 Ni mask는 ZnO 에 대해 최고 11의 높은 식각 선택도를 나타낸 반면에 Al은 이보다 낮은 1.6~4.7 범위의 식각선택도를 나타내었다. High ... density plasma etching of ZnO film was performed in CF4/Ar and SF6/Ar inductively coupled plasmas

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.18 | 수정일 2025.03.28

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CFD를 이용한 내장형 안테나 유도 결합 플라즈마 시스템 모델링 (Computational Fluid Dynamic Modeling for Internal Antenna Type Inductively Coupled Plasma Systems)

전산 유체 역학 코드를 사용하여 안테나 내장형 유도 결합 플라즈마 시스템의 가스 유동 특성, 전력 흡수, 전자 온도, 전자 밀도, 화학종의 분포에 대해서 살펴보았다. 복잡한 현실 ... 적 3차원 시스템에 대한 안정한 수치해의 도출을 위해서 최적화된 격자 생성 전략을 구사하였으며, 이를 이용하여 플라즈마 질화 시스템을 한 예로 전력 흡수, 가스 유동, 전자 온도 ... of an internal antenna type inductively coupled plasma system. An optimized grid generation

논문 | 12페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.04 | 수정일 2025.03.06

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유체 모델을 기반으로 하는 유도 결합 플라즈마 시뮬레이터 개발 현황 (The Present Status of Development of Inductively Coupled Plasma Simulator based on Fluid Model)

유체 모델을 기반으로 하는 국내의 유도 결합 플라즈마원의 시뮬레이터 개발 현황을 정리하였다. 전체 시뮬레이터를 구성하는 각 부분으로서, 전자 가열, 하전 입자 및 중성종 수송 ... Plasma (ICP) simulator which is based on fluid model is explained. As each part which composes the

논문 | 13페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.04 | 수정일 2025.03.06

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높은 균일도를 갖는 300mm 공정용 유도 결합 플라즈마 원 개발 연구 (Development of an inductively coupled plasma(ICP) with high uniformity for 300mm plasma processing)

도는 2 $\sim$ 3 eV 였다. 개발된 유도결합 플라즈마는 300 mm 에칭이나 증착 공정에 적합할 것으로 보인다. An inductively coupled plasma ... 13.56MHz에 동작되는 유도 결합 플라즈마를 개발하였다. 안테나는 이층구조로 하나의 안테나의 마디 부분을 다른 안테나가 보완하도록 제작하였다. 단일 량뮤어 탐침으로 플라즈마 ... 진단을 수행했으며 플라즈마 밀도는 10$^{11}$ $\sim$ 10$^{12}$ cm$^{-3}$ 이고 균일도는 300 mm 지름에서 약 $\pm 5 ~\%$ 이내였다. 전 자온

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.13 | 수정일 2025.03.28

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고엔탈피 열유동 발생용 고주파 유도결합 플라즈마 토치의 최적 설계변수 해석 (Optimum design analysis of ICP(Inductively Coupled Plasma) torch for high enthalpy thermal plasma flow)

초음속 플라즈마 풍동 등, 항공우주 응용을 위한 고순도, 고엔탈피 열유동 발생 장치로서 널리 쓰이고 있는 유도결합 플라즈마 토치에 대해, 전기회로 이론과 결합된 해석적 및 수치 ... 에 대해서는 커지는 경향이 있음을 파악하였다. 이로부터, 10 kW 급 고주파 유도결합 플라즈마 토치의 경우, 결합효율을 극대화시키는 최적의 주파수, 가둠관 반지름 및 코일 감은수 ... 해석적 자기유체역학 모델을 이용하여 토치 설계변수(주파수 f, 가둠관 반지름 R 및 코일 감은수 N) 변화에 따른 전기적 특성 변수(등가 저항, 등가 인덕턴스 및 결합효율)의 거동

논문 | 13페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.20 | 수정일 2025.03.28

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BCl3 평판형 유도결합 플라즈마를 이용한 GaAs 건식식각

한국재료학회 임완태, 백인규, 정필구, 이제원, 조관식, 이주인, 조국산

논문 | 5페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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유도결합 플라즈마 (Inductively coupled Plasma )

유도된 전장과 자장이 결합된 Plasma 1 차 coil 에 교류 고주파 전류를 흘리면 표피효과에 의해 코일의 바깥부분이 가열되면서 유도 코일과 평행으로 전기장 직각 방향 ... 상태로 만들어서 정량과 정성을 검출 하는 방법이다 .( 방법에는 AES,MS 방법이 있다 )Inductively coupled 유도결합은 변압기의 원리와 비슷하며 유도코일에 의해 ... Gas 가 이온화가 되면서 Ar 이온과 Ar 전자를 발생시킨다 .( 이때 Ar 전자를 Seed 라고 한다 ) Seed 가 유도된 전자장을 통과하면서 Plasma 가 점화 되고 계속

리포트 | 25페이지 | 2,000원 | 등록일 2014.12.29

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BCl3 기반의 혼합가스들을 이용한 InP 고밀도 유도결합 플라즈마 식각

한국재료학회 조관식, 임완태, 백인규, 이제원, 전민현

논문 | 4페이지 | 3,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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다양한 금속 기판재료에 따른 그래핀의 유도결합 플라즈마 화학기상 성장 특성

한국재료학회 김동옥, 트란남충, 김의태

논문 | 6페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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BCI3/H2/Ar 유도결합 플라즈마를 이용한 GaN의 건식 식각에 관한 연구

한국재료학회 김성대, 정석용, 이병택, 허증수

논문 | 5페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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유도결합 플라즈마 화학기상증착법을 이용한 Ni/SiO2/Si 기판에서 그라핀 제조

한국재료학회 박영수, 허훈회, 김의태

논문 | 5페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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ICP ( 고주파유도결합플라즈마)

ICP1 ) 서론ICP는 ‘inductively coupled plasma(고주파 유도결합 플라즈마)의 약어이다. 고주파 코일의 축을 따라 아르곤 등의 불활성 기체와 분무 시료 ... 으로 분리되어 플라즈마 상태가 되기 때문이다.2. 원리아래의 ICP 버너의 구조를 보면 두 가닥의 라디오 주파수 유도 코일은 열려진 석영 장치의 윗부분 주위를 둘러싸고 있다. 고순 ... 발광 분광분석)을 지칭하는 경우가 많다.??여기상태의 원자의 토오치에 냉각, 보조, 운반 등 3종류의 아르곤 기체를 흘려주면서 유도코일에 여기 전원으로부터의 고주파 전력을 공급

리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2013.05.30

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BCl3및 BCl3/Ar 고밀도 유도결합 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaS 반도체 소자의 건식식각

한국재료학회 임완태, 백인규, 이제원, 조관식, 전민현

논문 | 5페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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유도결합 N2O 플라즈마를 이용한 실리콘 산화막의 저온성장과 다결정 실리콘 박막 트랜지스터에의 영향

한국재료학회 원만호, 김성철, 안진형, 김보현, 안병태

논문 | 5페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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고밀도 평판형 유도결합 BCl3/SF6 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs와 InGaP 반도체의 선택적 식각에 관한 연구

한국재료학회 유승열, 류현우, 임완태, 이제원, 조관식, 전민현, 송한정, 이봉주, 고종수, 고정상

논문 | 5페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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유도결합 플라즈마 화학기상증착법에 의해 활성화된 탄소원자를 이용한 Ni/SiO2/Si 기판에서 그래핀 성장

한국재료학회 람반낭, 김의태

논문 | 6페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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고주파 유도결합 열플라즈마를 이용한 다중벽 탄소나노튜브 합성 (Synthesis of Multi-Walled Carbon Nanotubes by RF (Radio Frequency) Inductively Coupled Thermal Plasma)

한국열환경공학회 남준석, 서준호

논문 | 8페이지 | 3,000원 | 등록일 2016.06.07 | 수정일 2017.02.02

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기기분석 - 유도결합플라스마 발광광도법(Inductively Coupled Plasma)

유도결합플라스마 발광광도법- Inductively Coupled Plasma -1. 유도결합 플라즈마의 원리가. 적용 범위ICP-MS는 유도결합 방법으로 생성된 플라즈마를 이온원 ... 시료도입장치와 진공 및 제어장치들이 장착되어 있다.유도결합플라즈마(ICP)의 원리는 주로 석영 등의 유전체 반응기 외부에 코일을 감아 전기장을 변화시키면 코일의 내부에 유도자장이 ... ^{-}유도결합이란 이와 같이 유도소자인 코일을 통해 에너지가 코일 내부의 하전입자로 전달되는 것을 의미하며 이러한 과정을 통해 생성된 플라즈마 상태의 기체 흐름을 ICP(유도

리포트 | 14페이지 | 4,400원 | 등록일 2017.03.19 | 수정일 2020.08.03

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자화된 유도결합형 C4F8 플라즈마를 이용한 SiO2 건식 식각시 실리콘 표면에 발생하는 손상 및 오염에 관한 연구

한국재료학회 남욱준, 김현수, 윤종구, 염근영

논문 | 6페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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ICP/MS ( 유도결합 플라즈마 질량 분석법 )

ICP/MS (Inductively coupled plasma/mass spectrometer)정의ICP/MS를 이용한 금속원소의 분석(ppb 수준) 동위원소 비 측정유도결합 ... 하게 사용되고 있다.개요화학 분석에서의 미량 원소 분석 방법은 중량법, 발색법, 원자흡광광도법, X선 형광법, 원자발광광도법 등이 발달되었으며, 그 중 유도결합 플라즈마 원자발광분광법 ... (ICP-AES, Inductively coupled plasma - atomic emission spectroscopy)은 현재 가장 널리 쓰이고 있는 분석 방법이다. 유도결합

리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.02.19

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