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sputtering 금코팅 sputtering 탄소나노튜브 스퍼터링 IGZO 반도체 공정 dc 스퍼터 장비 식각공정 진공펌프

EasyAI “스퍼터율” 관련 자료

+[반도체 관련 장비] 스퍼터 원리와 ..등록일 2004.12.06 | 총 1,303자 | 3페이지 | 1,000원
+반도체 - CVD, PVD등록일 2021.01.28 | 총 3,575자 | 18페이지 | 2,500원

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"스퍼터율" 검색결과 1-20 / 298건

(주)메가스퍼터 (보고서 2건)

대표자명	박성철	사업자번호	318-81-*****	설립일	2014-11-20
기업규모	중소기업	업종분류	그외 기타 전자부품 제조업
제공처

DC 스퍼터법과 유도결합 플라즈마 마그네트론 스퍼터법으로 증착된 CrN 코팅막의 물성 비교연구 (A Comparative Study of CrN Coatings Deposited by DC and Inductively Coupled Plasma Magnetron Sputtering)

한국표면공학회 서대한, 전성용

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.26 | 수정일 2025.05.14

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DC 스퍼터법과 비대칭 바이폴라 펄스 DC 스퍼터법으로 증착된 TiN 코팅막의 물성 비교연구 (A Comparative Study of TiN Coatings Deposited by DC and Pulsed DC Asymmetric Bipolar Sputtering)

한국표면공학회 전성용

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.27 | 수정일 2025.05.14

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DC 스퍼터법과 비대칭 바이폴라 펄스 DC 스퍼터법으로 제작된 CrN 코팅막의 물성 비교연구 (A Comparative Study of CrN Coatings Deposited by DC and Asymmetric Bipolar Pulsed DC Sputtering)

한국표면공학회 전성용, 백지원

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.27 | 수정일 2025.05.14

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DC 스퍼터법과 비대칭 바이폴라 펄스 DC 스퍼터법으로 증착된 NbN 코팅막의 물성 비교연구 (A Comparative Study of NbN Coatings Deposited by DC and Pulsed DC Asymmetric Bipolar Magnetron Sputtering)

한국표면공학회 전성용, 오복현

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.27 | 수정일 2025.05.14

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DC 스퍼터법과 비대칭 바이폴라 펄스 DC 스퍼터법으로 증착된 TiAlN 코팅막의 물성 비교연구 (A Comparative Study of TiAlN Coatings Deposited by DC and Pulsed DC Asymmetric Bipolar Magnetron Sputtering)

한국표면공학회 전성용, 이태양

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.27 | 수정일 2025.05.14

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DC 스퍼터법과 유도결합 플라즈마 마그네트론 스퍼터법으로 증착된 수퍼하드 TiN 코팅막의 물성 비교연구 (A Comparative Study of Superhard TiN Coatings Deposited by DC and Inductively Coupled Plasma Magnetron Sputtering)

한국표면공학회 전성용

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.26 | 수정일 2025.05.14

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유도 결합 플라즈마 스퍼터 승화법을 이용한 고속증착 시스템 (High Rate Deposition System by Inductively Coupled Plasma Assisted Sputter-sublimation)

한국표면공학회 최지성, 주정훈

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.26 | 수정일 2025.05.14

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DC마그네트론 스퍼터 기술로 제조된 ITO/Cu/ITO 박막의 특성 (Characteristics on ITO/Cu/ITO Films Deposited by Using DC Magnetron Sputter Technology)

한국물리학회 김미정, 채영안, 박환열, 김현숙, 차덕준, 채영안

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.21 | 수정일 2025.05.13

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DC 스퍼터법과 비대칭 양극성 펄스 스퍼터법으로 제작된 고분자 전해질 연료전지 금속분리판용 CrN 코팅막의 특성 연구 (A Comparative Study of CrN Coatings Deposited by DC and Pulsed DC Asymmetric Bipolar Sputtering for a Polymer Electrolyte Membrane Fuel Cell (PEMFC)Metallic Bipolar Plate)

한국세라믹학회 박상원, 전성용

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.27 | 수정일 2025.05.14

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RF 마그네트론 스퍼터 방법에 의한 다결정 NiO 박막의 비저항 변화 (Colossal Resistivity Change of Polycrystalline NiO Thin Film Deposited by RF Magnetron Sputtering)

한국진공학회 김영은, 노영수, 박동희, 최지원, 채근화, 김태환, 최원국

논문 | 8페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.09 | 수정일 2025.05.08

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직류 마그네트론 스퍼터법에 의한 AlNO 복층박막의 제조와 특성 (Properties and Preparation of AlNO Multi-layer Thin Films Using DC Magnetron Sputter Method)

한국전기전자재료학회 김현후, 오동현, 백찬수, 장건익, 최동호

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.13 | 수정일 2025.05.18

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벌집형 셀 구조를 가지는 스퍼터 이온펌프의 성능 분석 (Pumping speed of a sputter ion pump with a honeycomb anode cell structure)

한국진공학회 하태균, 안병남, 이득진, 김진곤, 정석민

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.09 | 수정일 2025.05.17

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스퍼터 공정변수가 팔라듐 합금 수소분리막의 특성에 미치는 영향 (The Effect of Sputtering Process Variables on the Properties of Pd Alloy Hydrogen Separation Membranes)

한국표면공학회 한재윤, 주새롬, 이준형, 박동건, 김동원

논문 | 10페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.27 | 수정일 2025.05.14

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광검출기 응용을 위하여 스퍼터된 미세결정 SiGe 박막성장 연구 (The Study of Sputtered SiGe Thin Film Growth for Photo-detector Application)

본 연구에서는 광검출기의 활성층으로 사용하기 위한 SiGe을 Si target과 Ge target을 독립형 스퍼터링 방법으로 성장시키는 연구를 진행하였다. 각각의 target은 5N의 고순도 target을 사용하였으며 dc와 rf power를 플라즈마원으로 사용하였다...

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.06.09 | 수정일 2025.06.16

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후열처리에 따른 스퍼터된 ZnO:Al 박막의 전기적, 광학적 특성 (Optical and Electrical Properties of Sputtered ZnO:Al Thin Films with Various Annealing Temperature)

RF magnetron sputtering 법을 이용하여 증착된 ZnO:Al 박막을 열처리하여 열처리 전ㆍ후 ZnO:Al 박막의 전기적, 광학적특성을 연구하였다. 열처리 온도에 따라 ZnO:Al 박막의 특성이 많이 영향 받음을 확인하였다. 열처리 온도가 증가함에 따라Z..

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.06.11 | 수정일 2025.06.16

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UBM 마그네트론 스퍼터 시스템을 이용한 구리 타겟의 이온전류밀도 향상 연구 (Development of UBMS(Unbalanced Magnetron Sputtering) System and Ion Current Density Measurement of Copper Target)

한국표면공학회 강충현, 주정훈

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.17 | 수정일 2025.03.28

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공정 압력에 따라 스퍼터된 Al 도핑 ZnO 박막의 광학적, 전기적 특성 (Optical and Electrical Properties of Sputtered Al Doped ZnO Thin Films with Various Working Pressure)

한국진공학회 김덕규, 김홍배

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.02.12 | 수정일 2025.02.15

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Steel 기판에 듀얼 스퍼터를 이용한 Cr과 Al의 증착 및 열처리 효과 (Deposition and Heat Treatment Effect of Cr and Al using Dual Sputter on Steel Substrate)

In this paper, chromium and aluminum were simultaneously deposited with equipment capable of growing two different metal films for various data relate..

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.06.11 | 수정일 2025.06.16

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스퍼터 증착으로 형성된 AlTiO 선택적 투과막의 표면 균질성에 따른 광학적 특성 (Effects of Surface Homogeneity on Optical Properties of Sputter-deposited AlTiO Selective Transmitting Layers)

한국진공학회 이승윤, 정소운, 임정욱

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.27 | 수정일 2025.05.14

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