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스퍼터링 sputtering 스퍼터 원리 투명전극 반도체 스퍼터링 진공펌프 IGZO

EasyAI “스퍼터율” 관련 자료

+[반도체 관련 장비] 스퍼터 원리와 ..등록일 2004.12.06 | 총 1,303자 | 3페이지 | 1,000원
+반도체 - CVD, PVD등록일 2021.01.28 | 총 3,575자 | 18페이지 | 2,500원

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"스퍼터율" 검색결과 1-20 / 256건

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공정 압력에 따라 스퍼터된 Al 도핑 ZnO 박막의 광학적, 전기적 특성

RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 Al 도핑 ZnO 박막을 공정 압력에 따라 증착하고 박막의 구조적, 광학적, 전기적 특성을 연구하였다. 공정 압력 의 최적화를 위해 공정압력을 0.07 Torr, 0.02 Torr, 그리고 0.007 Torr로 변화하였다. 공정압력..

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.02.12 | 수정일 2025.02.15

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(주)메가스퍼터 (보고서 2건)

대표자명	박성철	사업자번호	318-81-*****	설립일	2014-11-20
기업규모	중소기업	업종분류	그외 기타 전자부품 제조업
제공처

RF 마그네트론 스퍼터 방법에 의한 다결정 NiO 박막의 비저항 변화 (Colossal Resistivity Change of Polycrystalline NiO Thin Film Deposited by RF Magnetron Sputtering)

NiO 산화물 타겟을 이용한 RF 마그네트론 스퍼터 방법으로 유리 기판 위에 NiO 박막을 Ar 가스만을 사용하여 증착하였으며, 증착 온도에 따라 NiO 박막 특성에 미치는 영향

논문 | 8페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.09 | 수정일 2025.05.08

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UBM 마그네트론 스퍼터 시스템을 이용한 구리 타겟의 이온전류밀도 향상 연구 (Development of UBMS(Unbalanced Magnetron Sputtering) System and Ion Current Density Measurement of Copper Target)

A 6-way-cross consisting of a 2.75-inch CF flange was used as a main chamber on a PFEIFFER VACUUM TMP station based on a 67 l / sec turbo molecular pu..

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.17 | 수정일 2025.03.28

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스퍼터 금속 박막 균일도 예측을 위한 딥러닝 기반 모델 검증 연구 (Verified deep learning-based model research for improved uniformity of sputtered metal thin films)

As sputter equipment becomes more complex, it becomes increasingly difficult to understand the parameters that affect the thickness uniformity of thin..

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.16 | 수정일 2025.05.10

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버퍼 층을 이용한 RF 마그네트론 스퍼터 방법에 의한 Al:ZnO 박막의 성장 (Characterization of Al-Doped ZnO Thin Film Grown on Buffer Layer with RF Magnetron Sputtering Method)

Al이 도핑된 투명 전도성 Al:ZnO (AZO) 박막에 대한 RF magnetron sputtering증착 법을 이용한 저온 최적공정조건을 연구하였다. 투명전극 재료로써의 AZO박막의 전기적, 결정학적 물성을 최대한 향상시키기 위해서, in-situ상태에서 유리기판상..

논문 | 8페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.04 | 수정일 2025.03.06

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SnO/Sn 혼합 타겟으로 스퍼터 증착된 SnO 박막의 열처리 효과 (Study of the effect of vacuum annealing on sputtered SnxOy thin films by SnO/Sn composite target)

SnO:Sn(80:20 mol%) 혼합 타겟을 이용한 RF 반응성 스퍼터링으로 투명하고 전도성이 있는 SnxOy 박막을 증착하였다. 혼합 타겟은 화학적으로 안정한 조성과 높은 투과도를 주는 세라믹 타겟과 Sn과 산소의 반응성 증착으로 박막내 구조적 결함 조절이 용이한 ..

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.17 | 수정일 2025.03.28

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단일 복합 타겟으로 스퍼터 코팅된 CIGS 박막의 형성과 열처리에 따른 미세구조 변화 (The Formation of CIGS Thin Films by Sputter Coating Using Single Composite Target and Change of Microstructure with Heat Treatment)

Thin film solar cells have attracted much attention due to their high cell efficiency, comparatively low process cost, and applicability to flexible s..

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.17 | 수정일 2025.03.28

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폴리머 기판에 스퍼터법으로 경사 증착한 Cr박막의 특성

한국재료학회 배광진, 최인균, 정은욱, 김동용, 이태용, 조영래

논문 | 6페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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스퍼터로 성장된 알루미늄 박막의 공정 변수와 박막 두께에 따른 물성

한국재료학회 오일권, 윤창모, 장진욱, 김형준

논문 | 6페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.10.11 | 수정일 2023.04.05

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스퍼터 원리와 종류

스퍼터의 원리와 종류*스퍼터의 원리Sputtering은 chamber내에 공급되는 gas cathode에서 발생되는 전자 사이의 충돌로부터 시작된다.그 과정을 보면 진공 c ... 이용가능, 박막의 밀착력 우수단점- 성막 속도가 낮다, 박막이 UV, 전자, 이온 등에 노출되어 가열된다, 성막 조건이 민 감하고 서로 영향을 끼친다.*스퍼터의 종류-DC ... )에서도 스퍼터 증착이 가능하도록 한 장치이다. 자기장(대략 25 G)을 인가해 주면 전자가 나선형 운동을 하기 때문에 더욱 많은 기체 입자를 이온화시킬 수 있어 플라즈마 밀도가 높아질

리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2013.06.30

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스퍼터 조건에 따라 TiO2/Ag 계 박막의 결정구조 및 광학특성

한국재료학회 차영원, 이경준, 김영환

논문 | 8페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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롤투롤 스퍼터 시스템을 이용하여 PET 기판위에 성막 시킨 ITO 박막의 특성 연구

한국재료학회 조성우, 최광혁, 배정혁, 문종민, 정진아, 정순욱, 박노진, 김한기

논문 | 6페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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In-line 마그네트론 스퍼터 장치를 사용하여 산소 분위기에서 제작한 Ag 박막의 특성

한국재료학회 구대영, 김원목, 조상무, 황만수, 이인규, 정병기, 이택성, 이경석, 조성훈

논문 | 8페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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롤투롤 스퍼터를 이용하여 PET 기판 위에 제조된 ITO 박막의 색도(b*) 및 투과도 연구

한국재료학회 서성만, 강보갑, 김후식, 임우택, 최식영

논문 | 6페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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RF 마그네트론 스퍼터를 이용하여 제작한 MGZO 박막의 구조적 및 전기적, 광학적 특성에 미치는 스퍼터링 전력의 영향

한국재료학회 김인영, 신승욱, 김민성, 윤재호, 허기석, 정채환, 문종하, 이정용, 김진혁

논문 | 6페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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RF 마그네트론 스퍼터로 증착된 In2O3 박막의 질소분위기 열처리에 따른 특성변화

한국재료학회 공영민, 이영진, 허성보, 이학민, 서민수, 김유성, 김대일

논문 | 5페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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ICP 스퍼터를 이용한 TMR 소자 제작에서 절연막의 플라즈마 산화시간에 따른 미세구조 및 자기적 특성 변화

한국재료학회 이영민, 송오성

논문 | 7페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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DC Magnetron Sputtering 법에 의해 ATO 박막 제조시 스퍼터전력 및 산소유량이 전기적 성질에 미치는 영향

한국재료학회 이환수, 이환수, 이혜용, 윤천

논문 | 5페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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Transfer Matrix를 사용하여 예측한 TiO2/Ag/TiO2 박막의 광학적 성질 및 스퍼터 증착된 박막과의 특성 비교

한국재료학회 김진일, 김진현, 김영환, 오태성

논문 | 9페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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