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"스퍼터링원리" 검색결과 1-20 / 401건

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    투명전극(ITO)과 진공펌프 및 게이지와 스퍼터링의 종류들과 원리
    전자재료 물성실험 예비 레포트투명전극(ITO)과 진공펌프 및 게이지와 스퍼터링의 종류들과 원리목차1.투명전극1.1투명전극의 정의 및 조건1.2투명전극의 종류1.3투명전극의 원리2 ... .진공펌프2.1진공펌프의 정의2.2전공펌프의 종류2.3진공펌프의 원리3.진공 게이지3.1진공 게이지의 정의3.2진공 게이지의 종류 및 원리4.스퍼터링4.1스퍼터링의 정의4.2 ... 스퍼터링의 종류4.3스퍼터링원리1.투명전극투명전극은 통상 80% 이상의 고투명도와 면저항 500 Ω/sqm 이하의 전도도를 가지는 전자 부품으로 LCD 전면 전극, OLED 전극 등
    리포트 | 22페이지 | 2,500원 | 등록일 2019.07.03 | 수정일 2019.07.04
  • [박막공학]반응성스퍼터링원리
    스퍼터링고에너지의 입자를 원하는 박막과 동질인 물질로 이루어진 기판에 충돌시켜 그곳으로부터 원자와 분자가 떨어져 나와 박막을 만드는 방법을 말한다.(에너지가 수백 eV ~ 수십 ... keV 인 이온이 타겟에 입사되면 이온과 타겟 원자의 충돌에 의해서 타겟 표면에서 방출되는 방향의 운동량 성분을 가진 타겟 원자가 나타나 타겟에서 탈출한다스퍼터링의 장단점장점 넓
    리포트 | 7페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.11.03
  • [박막공학]이온빔의 원리스퍼터링
    발생원리+고주파 가열 플라즈마 (RF) 전자파의 진동 전계에서 흔들린 전자가 기체 분자와 충돌하고 전리가 진행하여 방전이 유지왜 RF를 이용하는가? 저 주파수에서 이온은 single ... 의 방출Target그림3. Sputtering 원리투사입자방출입자그림4. Target에 미치는 영향에너지를 갖는 이온 입자를 이용하여 어떤 특정 기판위에 박막의 형태로 고품위 재료 ... 적그림 10. 이온빔 보조 DC 반응이온 마그네트론 스퍼터링 장비 모식도PlasmaTarget-Ion Beam source그림11. 증착시 이온빔의 역활그림12.보조이온빔의 역활
    리포트 | 17페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.12.27
  • 스퍼터링(sputtering deposition)의 이론 및 원리
    조성을 갖지 못한다.Sputtering (DC sputtering)• 원리 - 충분한 기체농도(1~500×10-4 mbar)에서 큰 직류전압(300~5000V)을 걸어 줄 때 ... puttering이 불가능Sputtering (RF sputtering)• 원리 - 고주파의 주파수 영역 : 공업용 해당 주파수인 13.56 MHz - 고주파 전위를 전극에 걸어주었을 때 음 ... sputtering)• 원리 - 금속 필라멘트를 가진 제 3의 전극(simple biased conductor of thermionic electron source)을 달아 열전자
    리포트 | 24페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.12.24
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    재료공학실험(세라믹) 최종 보고서
    1. 실험 목적Magnetron 스퍼터링을 이용하여 각각의 웨이퍼에 재료를 증착시킨 후 박막 형성 결과에 대한 다양한 특성 평가를 진행한다.2. 실험 원리2.1 DC ... 안 일어난다. 따라서 원활한 스퍼터링을 위해선 높은 파워(전원)과 적당한 챔버 내 가스 압력이 필요하다.[스퍼터링 현상]2.2 XRD의 원리XRD는 단파선의 회절을 이용하여 재료 ... 를 사용할 시 타겟으로 부도체를 사용할 경우 타겟 표면에서의 Ar 양이온들의 charging 에 의해 스퍼터링이 어렵기 때문에, 타겟이 어떤 물질인지 먼저 파악하는 것이 중요하다.또한
    리포트 | 12페이지 | 2,000원 | 등록일 2022.09.08
  • 스퍼터링, 알파스텝과 시편 관련 조사 보고서
    원리에 대해 알아보고 직접 실험해 본다.2. 실험 목적ion coater를 사용하여 기판(OHP, Al, Si wafer, Glass)에 백금을 스퍼터링하고, 알파스텝을 통해 단차 ... 스퍼터링보고서목 차1. 실험 주제22. 실험 목적23. 관련 이론 및 실험 방법21) sputtering22) Alphastep33) scratch tester34. 기판 특성 ... 를 알아본다. 또한, 스크래치 테스트를 통해 밀착력을 구해 다양한 재료의 특성을 분석한다.3. 관련 이론 및 실험 방법1) sputtering*원리 : 우선 sputtering이란
    리포트 | 6페이지 | 1,500원 | 등록일 2020.11.24 | 수정일 2021.05.26
  • 진공공학 스퍼터링 과제
    , 전자, 중성분자들이 섞여 있어 준 중성을 띄게 된다. 스퍼터링 시에는 일반적으로 반응시키는 기체로 Ar(아르곤)을 이용한다.스퍼터링의 기본적인 원리는 위의 플라즈마를 이용하는데 ... SputteringSputtering(스퍼터링)이란 반도체 제조 공정에서 박막을 형성하기 위해 사용되는 플라즈마를 이용하는 박막 형성 공정이다.플라즈마란 고체, 액체, 기체외 ... 물질의 결합에너지보다 큰 충분한 에너지를 가지고 있었다면 음극을 구성하고 있는 물질이 표면으로부터 떨어져 나오게 된다. 이러한 현상을 스퍼터링이라고 하며 떨어져 나온 음극 물질
    리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2022.06.03
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    [박막공학실험]이온스퍼터링과 탄소코팅
    이온스퍼터링과 탄소코팅1. 실험 목적가. 실리퍼 웨이퍼 기판 위에 진공증착법을 이용한 탄소코팅과 이온 스퍼트링법을 이용한 금코팅을 성막함에 있어 진공증착과 이온스퍼터링원리 ... 에 대해 알아보고, 횟수와 시간 변수에 따른 박막의 형태와 두께와의 상관관계를 알아봄에 있다.2. 실험 이론 및 원리가. 박막박막이란 진공증착이나 형상화 등을 이용하여 절연화 된 유리 ... 성이 나쁘다.그림 1 진공증착의 원리.그림 1에 진공증착이 일어나는 원리와 구조를 간단히 나타내었다. 챔버는 펌프를 사용하여 높은 진공상태를 유지시키고, 아래쪽에는 증발시킬 재료인 소스
    리포트 | 9페이지 | 3,500원 | 등록일 2023.03.07
  • Evaporator_Sputter 레포트
    구조 및 원리 [5]장점으로는 스퍼터링 효율이 증가하고, 전자의 와류운동으로 전자의 기판 및 박막으로의 충돌을 감소 시킬 수 있기 때문에 기판 온도 상승 효과가 적다. 또한 절연 ... 의 진공 증착의 형성 원리를 간단히 말하면 금속, 화합물, 또는 합금을 가열해서 증발시킴으로써 Evaporated된 입자들이 기판의 표면에 박막을 형성하는 방법이다.Evaporator ... 의 장점은 장치 전체의 구성이 비교적 단순하고, 많은 물질에 적용이 가능하다. 또한 박막의 형성 원리가 비교적 단순하여 박막 성장이나 핵생성 및 성장이론에 대응하거나 형성된 박막
    리포트 | 7페이지 | 2,500원 | 등록일 2021.11.08
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    [재료공학실험]투명전극재료의 합성 및 물성 평가
    Sputtering 제조공정 학습을 통한 공정설계 능력 배양.다. ITO박막의 물성 (두께, 비 저항, 투과율) 측정을 통한 측정원리, 사용 방법 및 데이터분석 능력 배양.라. 고효율의 투명 ... 전극을 제조하기 위한 성막 방법에 따른 요소 설계 능력 배양.2. 실험 이론 및 원리가. 투명 전극재료투명전극재료는 평판디스플레이, 및 태양전지 등의 소자에서 투명전극으로 사용 ... 에는 저항 가열법(thermal evaporation) 과 전자선 가열법(eletron beam evaporation) 그리고 스퍼터링(sputtering) 법의 물리적 증착
    리포트 | 6페이지 | 2,500원 | 등록일 2022.02.20 | 수정일 2022.02.22
  • [엘티소재 합격 노하우 ] 면접질문 리스트 + 합격자 답변 템플릿 <<기밀 자료>>
    1 역대 면접 기출 질문2 WVTR 의 정확한 뜻을 말해봐라2 유기물과 무기물 중 WVTR 효율이 더 좋은 것은?3 OLED 의 구동원리에 대해 말해봐라4 DC 스퍼터링원리
    자기소개서 | 29페이지 | 8,500원 | 등록일 2023.02.13
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    SK하이닉스 양산기술 직무 자기소개서
    에서 ○○○○에 관한 논문을 읽어 구동 원리와 주요 파라미터, 도출해야 하는 데이터에 대해 익혔고, 교수님과 함께 소자를 제작하는 방향성에 대해 토의했습니다. 이후 A, B를 달리하여 조건별로 5개 ... 하였습니다. 또한, 공정 실습으로 단위 공정에 대한 이해도를 높였습니다.○○○○○○ 과목을 수강하면서 CVD, 플라즈마, 스퍼터링, ALD에 대해 배우고, 전반적인 내용을 익히기 위해 ... 실습에서 금속 배선을 형성하는 실습을 하였습니다. 습식 세정을 통해 자연 산화막을 제거하고 Cu를 스퍼터링 하여 증착했습니다. 이후 포토와 Cu 에칭 과정을 진행하여 패턴을 형성
    자기소개서 | 4페이지 | 4,000원 | 등록일 2024.11.14
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    정보디스플레이학과 광전자공학 1차 결과 보고서 Mechanoluminescence(ML)
    1주차 결과 보고서 – Mechanoluminescence(ML)ㅇㅇㅇ실험 목적Phosphor film을 제작하여 물리적 자극을 가한 뒤에 빛이 나오는 ML의 발광 원리를 이해 ... /Mechanoluminescenc광과 흡수추가 실험: Ni Sputtering 장비의 운용과 주사전자현미경(SEM)을 통한 텅스텐 필라멘트 관찰 결과Sputtering스퍼터링은 물질에 이온 충격을 가했을 때 그 ... 여 기판 위에 막을 형성한다.실험에서는Sputtering장비의 사용법과 전자 현미경의 원리를 이해하기 위하여 머리카락 위에 Pt sputtering을 하였다. 일반적으로 머리카락
    리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2024.01.30
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    고려대학교 일반대학원 신소재공학부 연구계획서
    및 아크 공정 효율성에 미치는 영향 분석 연구, 고융점 무연 솔더, 무연 솔더 합금의 방법 및 이의 용도 연구, RF 스퍼터링된 SnS 박막의 특성과 SnS 기반 태양전지의 광 ... , 제강분진의 재활용과정 중에서 발생된 Clinker의 전기로에서의 용해거동에 대한 연구 등을 하고 싶습니다.저는 또한 첫 번째 원리 계산을 통해 Hf1-xZrxO2의 상 분
    자기소개서 | 1페이지 | 3,800원 | 등록일 2023.09.28
  • CMOS 제조 공정 실험 레포트(예비,결과)
    주입에 의해서 파괴된 결정구조를 열처리 과정을 통해서 복원시킨다. 확산(Diffusion)법은 농도가 높은 쪽에서 낮은 쪽으로 퍼지는 원리를 이용한 공정이다. 불순물을 열 확산 ... 는 공정을 해야하는데, 이러한 공정을 금속화(Metalization)이라고 한다. 금속화의 방법에도 필라멘트 증착, 전자빔(e-beam), 스퍼터링 증착이 있다. 필라멘트 증착 ... 의 경우 알루미늄을 증착할 때 오염도가 높아지기 때문에 사용하지 않고, 전자빔 증착은 낮은 오염도를 갖으나 결정이 손상되어 어닐링 과정을 거쳐야 한다. 스퍼터링 증착은 증착 속도는 낮
    리포트 | 6페이지 | 2,500원 | 등록일 2021.11.08
  • ALD 예비보고서
    에 증착하는 PVD는 비교적 단순한 메커니즘과 저온의 상태에서 공정을 하지만 박막의 치밀성 및 접합성이 안좋다. PVD는 열증발법, 전자빔증발법, 스퍼터링법으로 나뉜다. PVD 종류열 ... 증발법(thermal evaporation)전자빔증발법(e-beam evaporation)스퍼터링법(sputtering)증착 시키고자 하는 물질을 보트 위에 올려두고 보트를 가열 ... 고 있어 flexible display의 실용화 가능성에 한 몫을 한다. ALD의 표면에서의 반응2) ALD (Atomic Layer Deposition)의 원리‘전구체
    리포트 | 4페이지 | 1,500원 | 등록일 2020.12.16 | 수정일 2021.04.08
  • 반도체 PVD 공정의 종류와 원리
    성을 가진 상태가 된다.PVD의 종류PVD증착(Evaporation)스퍼터링(Sputtering)DC SputteringBias SputteringRF ... 할 수 있는 평균 거리를 말하며, 플라즈마의 이온화 정도에 영향을 준다.Rotary Pump 작동 원리Rotary Pump 구조기본적으로 흡입-고립-압축-배기의 순서로 이루어진다
    리포트 | 9페이지 | 2,000원 | 등록일 2020.11.09
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    원익 머트리얼즈 생산공정 합격자소서
    많은 노력을 기울였습니다.둘째, 맡은 일을 완벽하게 하기 위해 노력했습니다. 인턴을 하면서 제가 맡은 일은 시약채우기, RF 스퍼터링으로 수소 센서 소자 제작하기, probe s ... 에 대해 본인이 보유한 전문성(지식과 경험)을 서술해주세요 (최소 100자, 최대 500자)학부연구생으로 활동하면서 센서 소자의 원리와 장비 사용법을 배웠고, 소자 제작 시 발생한 문제
    자기소개서 | 2페이지 | 3,000원 | 등록일 2023.06.18
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    [신소재공학실험]미세 조직 관찰 및 화상분석
    )의 사용법과 이를 위한 시편 준비 방법, 미세조직의 화상분석 방법 등을 배운다.2. 실험 이론 및 원리가. SEM(scanning electron microscope)의 구조1 ... 하면, 반응성 이온빔 스퍼터링이 가능하다. 이 기술은 자성물질의 박막을 필요로 하는 용도에 매우 성공적이었다.(일반적인 마그네트론 스퍼터링의 자기장은 부분적으로 혹은 전체적으로 자성
    리포트 | 4페이지 | 1,500원 | 등록일 2022.03.21
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    금오공대 화학적 특성평가 "졸겔" 보고서
    reorganizat법으로 많이 사용되는 스퍼터링이나 화학기상증착법(CVD) 등에 비해 유리하며 그 외에도 공정의 제어가 쉽고, 다양한 기능성을 현장에서 조절하면서 생산효율을 높일 수 있는 특징 ... 가 가능? 미세하고 균일한 입자로 이루어진 다결정질 세라믹스 합성이 가능? 스퍼터링(sputtering)이나 화학기상증착법(CVD : Chemical vapor deposition ... 어 스퍼터링, CVD에 비하여 생산 비용이 저렴하다. 비교적 넓은 면적의 균일한 제조자 가능하다.(2) 졸겔법의 단점출발원료가 고가이며 공정중에 수축이 발생한다. 그리고 수산기(-OH
    리포트 | 10페이지 | 4,000원 | 등록일 2023.05.01
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2025년 08월 01일 금요일
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