증착 법 & 전자 증착 법)제출일전공과목학번담당교수이름서론Thermal & E-beam evaporator?진공 증착법은 1857년에 Faraday가 처음으로 행한 방법으로 이 ... 방법은 박막제조법 중에서 널리 보급된 방법이라 할 수 있다. 원리는 간단하고, 진공 중에서 금속, 화합물, 또는 합금을 가열하여 용융상태로부터 증발시켜 evaporated 입자 ... 들을 기판 표면에 증착시키는 방법이다. 증발과정이 열 교환 과정을 이용한다.Themal & E-beam evaporator의 설명에 앞서 상위 개념인 PVD에 대해 알아보자화학적 박막