"고진공 및 잔류가스 분압 측정"의 검색결과 입니다.

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thermal evaporation 스퍼터링 잔류가스측정 슐리렌 thermocouple 측정

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"고진공 및 잔류가스 분압 측정" 검색결과 1-15 / 15건

고진공및잔류가스분압측정 물리 실험리포트 (물리학실험2, KAIST)

고진공 및 잔류가스분압 측정(1) 개요◦ 초고진공 를 얻는 과정과, 그 과정에서 잔류가스 변화를 질량분석기로 관찰한다.(2) 측정◦ Mass spectrometer ... 로 baking 시간에 따른 고진공 및 잔류 가스 분압 측정.(3) 센서◦ quadrupole mass spectormeter(4) 실험장치◦ Heater, UHV chamber(Ultra ... , 자기장을 같이 병행해서 사용한 이중 수렴형의 장치가 개발되었으며, 고분해능 장치로 원자량의 상대값 측정정밀도가 1억분의 1까지도 되는 분해능을 가지게 되었다.【장치의 주요부분】 이

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| 리포트 | 6페이지 | 1,500원 | 등록일 2020.12.31

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고진공_및_잔류가스_분압_측정

PH 252고진공 및 잔류가스 분압 측정1. 실험목적초고진공(torr)를 얻는 실험을 해보고, 그 과정에서 잔류가스의 분압 변화를 질량분석기로 관찰한다. 그리고 Leak test ... 를 연습해 본다.2. 측정① Mass spectrometer로 고진공 및 잔류 가스의 분압을 측정한다.② 진공도에 따른 잔류 가스 분포를 관측한다.3. 실험방법3.1. 실험장치 ... 수 있으니, mass spectrometer를 꺼야 한다.3.2.1. 진공도에 따른 잔류 기체 분압 측정① 냉각수를 확인하고, Rotary pump를 켜기 전에 Turbo

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| 리포트 | 10페이지 | 3,000원 | 등록일 2011.01.11

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[물리실험]고진공 및 잔류가스 분압 측정

실험 10. 고진공 및 잔류가스 분압 측정1. 개요 : 초고진공 {10^-7 Torr를 얻는 과정과, 그 과정과, 그 과정에서 잔류가스 변화를 질 량분석기로 관찰한다.2. 측정 ... : Mass spectrometer로 baking시간에 따른 고진공 및 잔류 가스 분압 측정3. 센서 : quadrupole mass spectrometer4. 실험 방법 ... 을 30분한 후 베이킹 을 끄고 진공측정을 하라. 그리고 잔류가스도 분석한다.9> 이러한 과정을 되풀이하여 가장 낮은 진공을 얻어본다. 또한 베이킹 후 식는 동안 진공 변화를 관측

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| 리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.06.07

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A+ 받은 단증류 결과 레포트 입니다.

는 실험이다. 시간에 따라 잔류액과 유출액의 부피와 질량을 측정하여 비중을 계산하고 계산된 비중을 토대로 table에서 조성을 구한다. 실험을 통해 단증류 실험장치의 setting ... 에서 18. → 유출액을 비중병에담아 질량을 측정하고 비중병의 부피로 나누어 밀도를 구한 뒤, 온도에따른 유출액의 조성을 구한다.9. 둥근바닥플라스크에 남아있는 잔류액의 질량을 측정 ... 한다. → 잔류액을비중병에 담아 8번과 같이 밀도를 구한 뒤, 온도에 따른 잔류액의조성을 구한다.10. 손실된 양을 확인한다. → 오차를 적는다.5. 토론 및 고찰-고찰 : 오차가 심하

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| 리포트 | 11페이지 | 1,500원 | 등록일 2017.03.29 | 수정일 2017.07.08

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반도체 공정 진공 게이지 발표

의 분압 을 측정 가능하다 고진공 , 초고진공 범위에서 작동한다 잔류기체의 이온 전류 신호 를 나타내는 스크린과 컴퓨터를 가짐 구형 장치는 오실로스코프 사용진 공게이지와 원리 -R ... G auge Of Vacuum 반도체 공정 및 실습 1 5 조1 진공과 압력 2 진공게이지와 원리 3 게이지 제원 I NDEX진공과 압력 1진 공과 압력 - 진 공이란 ? 라 틴 ... ? 대기압 부근의 압력 을 측정하는데 사용 정확도는 높지 않으나 간단 하다 대기압보다 높은 진공 작업에 사용 1 ~ 0.1torr 범위에서 주로 읽힌다- Bourdon Gauge

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| 리포트 | 38페이지 | 2,000원 | 등록일 2015.11.05 | 수정일 2022.08.02

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제출용 고진공

[4]고진공 및 잔류가스 분압 측정2012 봄학기 물리학 실험 I A반 3조20110744 이충형공동실험자: 진태혁, 강문석1.AbstractRotary pump와 Turbo ... 고, 그 과정에서 잔류가스의 분압 변화를 질량분석기로 관찰한다. 그리고 Leak test를 연습해 본다. 그리고 Mass spectrometer로 고진공 및 잔류 가스의 분압을 측정 ... 기는 수증기>수소>질소>이산화탄소>산소였다. 한편 기체별 분압의 크기는 분자량이 증가하는 순서와는 큰 관련이 없었다.2. 실험목적 및 측정초고진공(torr)를 얻는 실험을 해보

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| 리포트 | 10페이지 | 4,000원 | 등록일 2012.10.20

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PVD의 종류와 특성, 응용분야

는 최대 증발 속도는 으로 주어진다.⑶ 증착 속도의 측정막의 밀도, 저항, 응력, 결정성 등은 evaporant와 잔류 가스의 분자가 기판에 도달하는 속도에 의하여 좌우 ... 에 도금이 된다.① 진공 증착법,② 스패터링법,③ 이온 플레이팅법으로 분류된다. PVD법은 알루미늄, 티탄이나 고융점 재료의 도금이 가능하고, 진공 중에 금속과 비금속 원자를 이온 ... 박막을 D.C 스퍼터링법으로 형성할 수 있다. 반응성 스퍼터링법에서 가장 주의해야할 것은 반응가스의 분압을 정확히 조절해야 한다는 것인데, 이것은 정확한 화학양론비를 맞추기 위해

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| 리포트 | 21페이지 | 2,500원 | 등록일 2015.01.08 | 수정일 2023.04.29

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Thermal Evaporation법을 이용한 박막의 제조 결과

를 위해 증착장치의 배기능력은 증발분자의 분압이 잔류가스의 분압에 비해 충분히 높게 하지 않으면 안된다.⑵ 스퍼터링진공용기 속에서 Ar 등의 가스를 감압해서 방전을 일으키고 그 속 ... 여 목열분해 온도는 728~840°C이며 750~800°C부근의 반응온도가 이용되다. Carrier gas를 이용하지 않고 진공 중으로 TEOS를 증발시켜 열분해 하는 방법도 있 ... 시키는 플라즈마 CVD법이 있다. 원료가스를 플라즈마 상태에서 분해하고, 화학적으로 활성화한 상태의 원자 및 분자로 있기 때문에 300°C전후의 저온에서 막의 형성이 가능하다. 감압하의막

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| 리포트 | 12페이지 | 2,000원 | 등록일 2013.03.08 | 수정일 2015.06.29

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대체연료의 분무 및 연소 가시화 실험

40 mm의 강화유리를 설치하였다. 연소기내의 잔류가스를 제거하기 위한 진공펌프를 설치하였고, 배기파이프에 감압탱크를 통해 잔류가스를 제거한다. 정적연소기의 구성은 실제 기관에서 불 ... 화를 위하여 초당 2000 frame까지 촬영 가능한 고속 카메라를 사용한다.□ 진공펌프정적연소기내의 잔류가스를 제거하기 위하여 0.25 ~ 0.3 KW의 1400 ~ 1660 ... 한다.□ 휴대용 배기가스 측정기정적연소기내의 연소에 따른 배기가스를 측정하기 위하여 CO, HC 및 NOx의 측정이 가 능한 Horiba의 휴대용 가스분석기 모델 (MEXA-554

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| 리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.03.26

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Thermal Evaporation법을 이용한 박막의 제조(결과)

로 진공실내의 가스의 분압을 측정한다.라. 피처리물 지지장치단순히 피처리물을 지지하는 것으로부터 다량의 피처리물을 처리시 회전시키는 장치까지 필요에 따라 설계된다. 이는 진공장비 ... 의 재료가 함계 증발하고, 박막중에 불순물로서 혼입하는 수가 있다. 그 외, 진공장치중의 잔류가스 분자도 불순물로서 박막중에 들어갈 염려도 있다.※ 진공증착법의 특징가. 이온 스커터 ... 법(Vacuum Evaporation)진공 증착법은 1939년경 최초 소개되었으나 진공기술이 충분히 개발된 1949년 이후에야 산업에 응용되기 시작하였으며, 전자빔을 이용하여 고

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| 리포트 | 11페이지 | 1,500원 | 등록일 2010.12.11

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No.22 진공 관련 강좌 자료 현황

펌프저온펌프3. 진공 측정진공계의 분류전압 측정분압 측정극고진공 진공도 측정4. 진공 재료진공용기의 재료와 표면리스테인리스 강알루미늄 합금세정용접 및 접합기술5. 진공부품플랜지 ... 진공 관련 이론기체 법칙전도표면 물리학진공의 제작 : 진공펌프펌프의 성능에 관련된 용어진공 펌프의 종류 및 사용저진공 펌프고진공 펌프초고진공 펌프그 밖의 펌프진공의 측정 : 진공 ... 압력계진공 게이지의 분류진공 게이지의 선택 및 사용직접 측정 게이지기체의 열 특성을 이용한 게이지기체의 이온을 이용한 게이지Spin rotor 게이지그 밖의 게이지잔류 기체 분석기

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| 리포트 | 4페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.11.28

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멤브레인 예비보고서

용해물질한외여과법수용액 중의 유기물 분리압력차(10~70kg/cm)물염류저분자유기물헌탁물질콜로이드고분자중의 유기물 유지기체분리막기체분리수소분리천연가스 분리Palladium 막을 이용 ... 방법을 습득한다.◎ 실험이론① 막이란?막은 두개의 삼차원 균일상을 분리시키고 있는 상(phase)으로, 상의 물리화학적 성질에 의해 물질 및 에너지의 교환 속도가 좌우되는 제3 ... 의 물성, 구조, 막의 응용분야 및 역할 등에 의하여 분류될 수 있다.(1) 세공막 (Microporous membranes)세공막은 공경 (pore diameter, 0.1~10m

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| 리포트 | 9페이지 | 1,500원 | 등록일 2011.10.19

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[기계공학실험]열전대(Thermocouple)를 이용한 온도 측정

공기 중 및 O2, N2, Co2 가스(gas)중에서 기전력은 안정되어 있다. 그러나 환원성(H2, Co)가스 중 또 산소분압이 낮은 조건에 대해서는 크로멜(chromel)선의 열화 ... %)의귀금속을 사용하고 있기 때문에 KS 규격에 의한 0.25%의 오차를 충분히 만족시키는 고정도를 갖고 있다. 이 열전대를 진공중 및 환원성 분위기중, 금속증기, 분위기 중에서 직접 ... 로 셋팅을 하여 항온조의 온도가 일정해지면 데이터 처리 유닛의 전압 및 온도를 측정하는 방식으로 약 2시간가량 시험을 진행하였다. 그 결과 온도 증가와 함께 전압도 증가하는 선형적인

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| 리포트 | 17페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.09.20

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[화학공학]기액평형

, 온도T 및 압력 π의 관계를 기-액 평형이라 한다.일반적으로 비점이 낮은 성분에서는 yi>xi이고, 때로는 yixi의 성분을 가벼운 성분이라 함). 이와같이, 기상과 액상 ... ), T와 x, T와 y를 각각 plot한 것을 비점곡선, 노점곡선이라고 한다. 그리고 각각의 T에 대하여, x와 y를 plot한 것을 x-y곡선이라한다. 비점곡선 및 노점곡선이 최소 ... 과 같은결과를 얻는다.성분 a, b로 액체 혼합물이 어떤 온도에서 기체-액체 평형 상태에 있을 때액상에서 저비점 성분의 MOLE분율을 X라 하면 고비점 성분의 MOLE 분율은(1-X

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| 리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.04.21

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[진공공학] 진공공학 요약

와 배기용량(Throughput) 측정으로 알수가 있다.2) 기체의 양: 시스템 내에 존재하는 기체의 양은 압력(torr)×체적(liter)으로 정의한다.이것을가스로드(gas ... 의 구분1) 영국방식: 760~25torr(저진공), 1~torr(중, 중 고진공),~torr(고진공),~torr(초고진공)2) 미국방식: 760~25torr(저진공), 25~torr ... (중진공),~torr(고진공),~torr(초고진공)(F: 힘, A: 단위 면적의 입자의 수)* 1 atm (단위 면적당 수은기둥 760㎜의 무게에 해당)= 0.76 meters

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| 리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.07.19

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