[물리실험]고진공 및 잔류가스 분압 측정

최초 등록일
2006.06.07
최종 저작일
1999.05
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KAIST 물리학과 99학번입니다.

학점은 Ao입니다.

목차

1. 개요
2. 측정
3. 센서
4. 실험 방법
5. 이론적 배경
6. 실험결과 및 분석
.

본문내용

1. 개요 : 초고진공 를 얻는 과정과, 그 과정과, 그 과정에서 잔류가스 변화를 질 량분석기로 관찰한다.
2. 측정 : Mass spectrometer로 baking시간에 따른 고진공 및 잔류 가스 분압 측정
3. 센서 : quadrupole mass spectrometer

4. 실험 방법
// Setting //
1> 냉각수를 확인한다. Rotary pump를 켜기 전에 Turbo molecular pump ( normal speed : )의 venting valve를 꼭 밀착되게 닫아야 한다.
2> 로타리펌프를 켜고 피라니 게이지로 진공도를 확인하여 이하가 될 때 까지 기다린다. (약 10분정도 소요)
3> 냉각수를 다시 확인하고 Turbo pump의 controller의 파워 On Switch를 눌러 노 란색 불이 들어오는 것을 확인한다. 이 때, Frequency LED에 마지막까지 불이 들어오고 Power LED에 절반이하로 빨간불이 들어오는 것을 확인한다. 그 렇지 않으면 System 에 leck를 의심해야 한다. 이렇게 초기진공을 뽑고 약 5분 후 Low speed switch를 On한다. Power LED는 더 줄고 Frequency LED는 절반 정도 올 때까지 약 30분 정도 기다린다.
4> 컴퓨터를 켜고 RGA program을 시작한다.
1) RGA의 ECU의 Power를 On시킨다.
2) Utility의 RS 232 Setup을 클릭하고 connect시킨다.
3) Head filament를 On한다.
4) Scan을 Start한다.
처음의 analog scan에서 chamber안에 있는 잔류가스의 질량을 확인하고 utility의 library search에서 가스에 대한 정보를 얻는다. 그리고 mode를 table을 선택하고 scan에서 table parameter에 가스의 정보를 넣어 기록한다. 잔류가스는 산소, 물, 질소, 이산화탄소, 수소가 대부분을 차지하므로 적절히 찾고자 하는 잔류가스를 parameter에 넣는다.
// Determination of data //
5> 진공도가 에서 잔류가스를 분석한다.
6> 시간을 기다려서 에 도달했을 때, 잔류가스를 분석한다.
7> 시간을 다시 기다려서 에서 잔류가스를 분석한다.
8> 옆에 잇는 슬라이닥스에 전원을 넣고 전압을 올려 베이킹을 30분한 후 베이킹 을 끄고 진공측정을 하라. 그리고 잔류가스도 분석한다.

참고 자료

없음

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