"건식진공펌프"의 검색결과 입니다.

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진공펌프 ITO Scribing 건축설비기사 소방설비기사 ITO Scribing 결과 cvd 식각공정

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"건식진공펌프" 검색결과 161-180 / 217건

[공학]플라즈마와 투명전극, 투명전극 재료

시스템은 고가의 진공 장비를 필요로 하지 않기 때문에 경제적이며 펌핑(pumping) 시간이 없고, 인라인 형태로 공정이 가능하므로 생산성을 극대화할 수 있는 플라즈마 시스템을 개발 ... 이하의 기체 압력에서 작동되는 플라즈마 시스템을 의미한다. 진공 플라즈마 시스템을 이용하는 응용분야로는 일반 반도체 공정에서 사용되는 건식 식각 공정, 증착 공정, 에싱(ashing ... -discharge 시스 템, RF&MF 대기압 방전 시스템, μ-wave 방전 시스템, Induction & DC Torch 시스템 등으로 구분된다.- 진공 플라즈마 시스템 기술

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| 리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.03.13

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[신소재]진공증착법

게이지여러 가지로 개선된 게이지가 개발되고 있지만 대기압에서 초고진공까지를 측정할 수 있는 진공 게이지는 아직 없다. 따라서 진공 펌프의 경우처럼 진공 영역에 따라 2~3개의 게이지 ... 펀의 부위에 놓는다. 증착됨에 따라 수정 Wafer위에 건식 film이 형성. 그 물질의 무게, 조밀도, 두께에 따라 파수(진동수)가 변화한다.⑥진공펌프: 어떤 Pump도 단독 ... 해 나가고 있다.- 본론 -1. 박막제작에 필요한 진공장치(1) 물리적인 방법에 의한 박막 제작물질에 열에너지나 역학적 에너지 특별한 경우는 전자기적 에너지를 가해 공간 중에서 원자

Non-Ai HUMAN
| 리포트 | 102페이지 | 3,000원 | 등록일 2006.09.13

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[건축설비] 난방설비

펌프를 많이 사용)로 보일러에 송수하는 방식이므로 보일러의 위치는 방열기와 동일한 바닥면 또는 높은 위치가 되어도 지장이 없다.ⓒ 진공 환수식 : 저압 증기난방에서의 기계환수의 한 ... 환수 주관보다 높은 위치에 진공펌프를설치할 때는 그림과 같이 리프트 이음을 사용하면 환수관의응축수를 끌어올릴 수 있다. 이 수직관은 주관보다 한 치수가느다란 관으로 하는 것이 보통 ... 축수 환수방에 따른 분류ⓐ 중력환수식 : 응축수를 펌프를 사용하지 않고 중력만으로 보일러에 환수하는 방식으로, 소규모의 저압 증기설비로서 보일러와 방열기의 높이차를 충분히 유지

Non-Ai HUMAN
| 리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.09.17

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LCD 제조공정 비용절감 기술 및 특허동향

스은 PR을 Ashing 공정을 통해 제거한 후 다시 S/D layer를 습식식각함.6. N+layer 식각 공정7. PR strip 공정N+layer를 건식식각함.PR을 완전히 ... 가무해하고 또한 대기 중에 흘러도 관계없는 gas를 사용 → 친환경- 화학적 라디칼 생성에서 다른 종류의 발생방식보다 월등히 높은 효율을 나타낸다.- 별도로 고가의 진공 장비 ... 를 필요로 하지 않기 때문에 경제적이며 펌핑(pumping) 시간이 없고, 인라인 형태로 공정이 가능하다. - 생산성 극대화- Wet cleaning과는 다르게 One-step방식

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| 리포트 | 21페이지 | 3,000원 | 등록일 2010.03.25

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페놀수지란...

는름알데하이드와 암모니아로 합성되는 헥사메틸렌테트라민(헥사민)이 공업적으로는 전적으로 이용되고 있고 이 노볼락을 경유하는 경우는 건식법 또는 2단법 수지라고 부르고 있다.촉매 ... 이 끝나면 조용히 놓았다가 상부의 물층을, 용기를 기울이든가 사이폰을 이용하여 제거하고 진공증류용의 냉각기로 바꾸어 가열을 다시한다. 진공도 50～120mm Hg에서 수지온도가 약 ... 하는 일도 자주 있다.페 놀+포름알데하이드산촉매(페놀과잉)염기성촉매(포름알데하이드 과잉)노 볼 락2단법1단법레 졸(건식법)(습식법)가열가압또는산촉매경화제경 화 수 지그림. 페놀수지

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| 리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.11.22

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반도체, 진공펌프, TFT

, 측정 기술, 플라즈마의 물성을 측정하는 플라즈마 진단법의 개발이 이루어질 것으로 전망된다.1. 진공 펌프의 분류펌프의 종류는 사용 가능한 압력에 따라 저진공, 고진공, 초고진공 ... 게 positi키는데 이 경우 루츠펌프와 동시에 사용을 하면 이상적이라 하겠다.2.3 오일 확산 펌프(Oil diffusion pump)(B)그림4. 오일확산 펌프의 구조(A) 및 작동 원리 ... 펌프 배기속도, PMP: 배출구압력, PDP: 흡입구압력)2.4. 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump)그림5. 터보분자 펌프의 배기 원리(pumping

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| 리포트 | 21페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.04.01

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건축설비(난방설비)

에 쓰이하여 응축수를 이 탱크에 모아 펌프로 보일러에 송수 하는 방식이므로 보일러의 위치는 방열기와 동일한 바닥면 또는 높은 위치가 되어도 지장이 없다.응축수 환수 방법에 따른 분류진공 ... 환수식저압 증기난방에서의 기계 환수의 한 방식 환수관의 말단에 진공펌프를 접속 증기 트랩 이후의 환수관 내를 진공압으로 만듬 응축수의 흐름을 촉진 환수의 흐름이 원활해짐 환수 ... 점 - 방열기의 방열량 제어가 힘들다. - 방열기의 표면온도가 높아 쾌적성은 온수난방보다 못하다. - 응축수 배관이 부식되기 쉽다.중력 환수식응축수 환수 방법에 따른 분류건식

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| 리포트 | 30페이지 | 2,000원 | 등록일 2006.12.06

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이장주입 성형법을 이용한 세라믹 제조

화)을 보여 뛰어난 최종제춤을 구현하는 것을 가능하게 한다.실험실에서 행할 수 있는 정수압성형법은 다음과 같다.①가성형한 시편을 비닐팩이나 고무성분으로 된 용기에 담은 후, 진공펌프 ... 를 야기한다. 이러한 오염을 줄이기 위해 폴리우레탄이나 뛰어난 내마모성을 지닌 내벽제가 사용되고 있으며, 이는 건식분쇄와 물을 용매로 한 분쇄에 널리 사용되고 있다.분쇄는 통상 ... 건식과 습식방법으로 분류된다. 건식 밀링은 분쇄된 분말을 용액으로 분리하지 않아도 되는 장점이 있다. 건식 밀링은 가장 큰 문제는 분말이 분쇄기의 구석에 쌓이지 않으므로 분쇄가 되

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| 리포트 | 17페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.07.20

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[건축]연약지반의 지반개량 공법

100mm의 드레인 paper를 특수 기계로 타입 하여 연약 지 반 중에 설치하는 공법 (사용 paper : 크리프트지, 케미칼보드)③Pack drain공법ⓐ진공해머로 케이싱 ... 을 형성, well point를 설치.ⓑ투수성이 좋기 때문에 주로 사질지반에서 많이 사용.ⓒ간극수의 투수성이 좋은 층에서는 건식 시공도 가능하다②siemens well 공법③Deep ... well공법->지름30~100cm의 구멍을 기초바닥까지 굴착하여 우물관을 설치하여 수중 pump로 배수하는 공법5)고결안정공법 : 시멘트나 약액을 주입하여 지반을 강화시키는 공법

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| 리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.12.06

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[기계적공학]집진에 대하여

·원심력에 의한 것, 음파를 이용한 것, 세정에 의한 것 등 종류가 많은데, 크게 나누어서 기계식과 전기식이 있다. 기계식에는 건식과 습식이 있다.세정에 의한 집진장치는 스크러버 ... 종류는 많다. 습식과 건식에서는 습식이 보통 효율이 좋다. 가장 효율이 좋은 것은 전기식이며, 전기식 집진기의 대표적인 것은 코트렐이다. 관·판·막대·철사와 같은 집진전극에 고전압 ... -volume air sampler)-부유분진을 한꺼번에 대량으로 모아서 분석 측정하는 대용량 공기 집진장치이다.분당 300ℓ정도의 공기를 빨아들이는 펌프에 유리섬유로 만든 필터가 장치

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| 리포트 | 14페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.04.22

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[건축]공조기기(공조기,냉동기,송풍기)

을 위해 작업용 공기조화도 포함해 고려해야 한다.。공기조화 설비의 구성항 목기 기기 능열 원 설 비냉동기, 보일러, 히트펌프냉각, 가열을 위한 열매(냉수,온수,냉매,증기 및 온풍 등 ... )을 만든다열 교 환 설 비공기조화기, 열교환기공조 공간에 보내는 공기의 온습도, 청정도를 조정 송풍한다. 공조 공간에 보내는 열매를 만든다.열 매 운 송 설 비송풍기, 펌프 ... 의 진공도가 높아 추기(bleeding)을의 조작이 필요하다.④ 스크루 냉동기와 로터리 냉동기왕복식 압축기는 전동기의 회전운동을 왕복운동으로 바꾸어 냉매 가스를 압축하지만 스크루

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| 리포트 | 21페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.04.05

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난방방식

으로 환수, 습식과 건식이 있음 진공펌프로 환수중력식 진공식환수 방식증기관과 응축수관을 한관으로 사용 증기관과 응축수관을 분리 공급증기의 흐름이 상향 공급증기의 흐름이 상향단관식 ... 증기해머로 인한 소음을 일으키기 쉽다. - 보일러 취급기술자가 필요하다..증기 난방 방식의 분류중력으로 보일러에 보급 펌프 등 기계력에 의하여 보급중력식 기계식보일러 보급수 방식중력 ... 복교환기, 배관, 방열기기, 순환펌프, 팽창탱크로 구성된다.온수 난방장점- 방열면의 온도가 그다지 높지 않으므로 비교적 높은 쾌감도를 얻을 수 있다. - 온수온도의 조절이나 방열

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| 리포트 | 45페이지 | 3,000원 | 등록일 2007.10.16

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[공학실험] 양극희생실험

펌프의 종류각기 다른 진공 영역에 따라 진공을 발생시키는 진공펌프의 종류가 다르다. 진공펌프의 종류를 좀더 상세히 구분해보면, 아래와 같다.-건식 로타리 베인 펌프 (DRY ... -RUNNING ROTARY VANE PUMP)-만유식 로타리 베인 펌프 (OIL FLOODED ROTARY VANE PUMP)-순환 급유식 로타리베인 펌프 (OIL CIRCULATED ... INJECRED ROTARY VANE PUMP)-배출 급유식 로타리 베인 펌프 (ONCE -THROUGH OIL INJECTED ROTARY VANE PUMP)-로타리 피스톤 펌프

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| 리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.12.02

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[대기방지] Air sampling method

째 임핀저는 표준팁의 그리인버그 스미드형을 사용한다.⑻ 가스흡인 및 유량측정부· 진공게이지, 진공펌프, 온도계, 건식가스미터 등으로 구성되며 등속흡인유량을 유지하고 흡인 가스량을 측정 ... (%)ma: 흡습 수분의 질량(ma2-ma1)Vm: 흡인한 습한 가스량(습식 가스미터에서 읽은 값)(ℓ)V'm: 흡랧나 건조 가스량(건식 가스미터에서 읽은 값)(ℓ)θm: 가스미터 ... 를 설정하고 평균동압과 일치하는 지점을 측정 지점으로 선정한다.-등속흡인이 되도록 흡인펌프의 용량과 배출속도를 비교하여 적절한 흡인노즐을 결정한다.2) 측정-굴뚝부에는 여지를 끼우

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| 리포트 | 8페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.09.21

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[전자전기] 에칭(Etching)

이 일식에칭에서는 용액중에 용해되고 건식에칭에서는 가스의 흐름에 의해서 운반되거나 진공중에서는 증발되어 펌프에 의해 제거된다. 이 반응생성물의 제거가 순조롭게 진행되지 않으면 에칭 ... 게되지 않도록 한점과 전 과정을 용액을 사용하지 않고 가스 또는 진공중에서 행할시 감광재료의 팽창 등에 기인되는 정밀도의 저하를 피한 점이 그 특정이다. 건식에칭은 다음의 세 종류 ... 에서는 에칭의 방향이 등방적으로 일어나지 않으며 이온의 입사방향에 영향을 받아서 이 방향에 선택적으로 에칭이 일어나도록 된다. 이러한 건식에칭 장치에서는 방전용기내의 진공도, 방전전극

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| 리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2003.08.10

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[건축설비] 소방설비

에 압력계, 흡입측에 진공계(연성계)설치 할 것3.6 소화펌프1) 방수압력이 1.7㎏/㎠이상2) 유량이 130ℓ/min 이상3) 방수노즐 압력이 1.7㎏/㎠이상인 경우 호스 접결구 ... ) 소화설비 : 소화기 및 간이소화기 (양동이, 건조사, 소화수통, 팽창질석 등), 옥내외소화전, 스프링클러, 물분무설비 ( 포말분무, 이산화탄소, 할로겐소화설비포함), 동력소화펌프 등 ... 하는 소화곳소화펌프와 양수펌프 겸용 소화펌프와 양수펌프 각각연결송수관 설치3.3 수원1) 수원의 양 : N *2.6m3이상 (N은 최대 5개)2) 옥상수원 : 수원의 양 *1 / 3이상3

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| 리포트 | 16페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.06.16

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최근의 공조방식 및 사례

연결시를 대비)진공 온수히터 2,000,000kcal/h×2 연관식 스팀보일러 2,000kg/h×2노통연관식 보일러 5,000kg/h×2 콘덴싱보일러 2,500kg/h×1노통연관스팀 ... (하이브리드), 외기냉방, 공조 등 네 가지의 환기 - 냉수는 3.5~13℃(∆t=9.5℃)의 저온의 대온도차 반송으로 펌프 운전동력비 절감 - 공조시스템은 냉방시 11℃의 온도로 취출 ... 의 유입, 고층부에서 외기가 유출 • 공조, 환기시스템의 에어 밸런스가 흐트러짐 • 엘리베이터나 계단 등의 종샤프트나 건식공법에 의한 각종 틈이 있어 초고층 빌딩내는 상하 방향

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| 리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.05.02

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[공학]디스플레이 재료및 공정

process)진공이란 말은 희랍어로“비어 있다”라는 뜻이다. 용기 내의 공기가 펌프와 같은 수단으로 배기되면 진공이 일어진다. 그 용기에서 얼마나 공기가 제거되었느냐에 의해 진공도 ... Contents (목차)1. 진공공정(Vacuum Process)2. 디스플레이 및 반도체 전체공정3. 박막공정기술(Thin film process)1)CVD - PECVD2 ... )PVD -Vacuum evaporation-sputtering4. 리소그래피공정(Lithography Process)1)식각 - Plasma etching진공공정(vacuum

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| 리포트 | 33페이지 | 2,500원 | 등록일 2006.02.22

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[정밀화학]저온 플라즈마 처리를 이용한 나노 은이온 코팅

을 반응기의 중앙에 놓고, 반응기의 뚜겅을 잘 맞추어 덮는다. 압력게이지를 열고, 기타 다른 밸브들이 잘 잠겨있는지 확인한다. 반응기 내부에 진공을 걸기위해 진공펌프를 작동 ... - 전자빔이나 글로 방전 플라즈마를 이용하여 공장의 배기 가스 중 NOx, SOx를 제거하는 건식 처리 기술은 환경분야에서도 플라즈마가 중요히 쓰여짐을 보여준다.이밖에 최근에는 차세대 ... 는 진공용기의 벽면과 같은 도체 경계면이 있을 때 이온보다 전자의 운동속도가 크기 때문에 전자가 먼저 도체 표면에 도착하게 된다. 도체 면에 멀리 떨어진 지역은 상대적으로 이온이 많

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| 리포트 | 21페이지 | 1,500원 | 등록일 2006.04.25 | 수정일 2021.03.24

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박막재료의 표면처리 및 PR실험

화합물을 생성하면서 식각이 진행된다.SiO2 + (F) → SiF4 + O2 + F2 (5)이 때 생성된 휘발성 화합물은 진공펌프에 의해 밖으로 배출시킴으로 쉽게 제거할 수 있 ... chemical etch)과 건식식각(dry etch or plasma etch)으로 나눌 수 있으며 감광막제거 공정도 포함된다.그림9-11*습식식각습식 식각이란 식각하고자 하 ... 식건식식각이란 특정한 가스를 두 전극사이에 넣고 강한 전장을 형성시키면 전기적인 충격에 의하여 가스가 이온화된다. 이 때의 이온화된 가스는 반응성이 매우 강하기 때문에 식각기

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| 리포트 | 13페이지 | 1,500원 | 등록일 2006.11.24

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