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"웨이퍼공정" 검색결과 141-160 / 2,759건

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    반도체공정 중간정리
    Orientations흔한 웨이퍼의 구조는 다이아몬드 큐빅 (테트라하드릴 구조) 이다.· Wafer Cleaning포토공정을 하기전 웨이퍼는 화학적인 방법으로 깨끗하게 유지되어야만 한다 ... Trench Isolation공정 과정1) PR을 에칭하고 웨이퍼를 세정2) Pad Oxide undercut :산화막을 undercut하고https://blog.naver.com ... · Wafer SizeWafer가 커지면 장비도 커지고 칩의 개수도 몇 배씩 늘어남. 값은 감소함.· Moore’s Law마이크로칩 기술의 발전속도에 관한 것으로 마이크로칩
    리포트 | 8페이지 | 3,000원 | 등록일 2022.10.22 | 수정일 2024.04.30
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    SK하이닉스 메인티넌스 오퍼레이터 반도체 전공 질문 대비 최종 요약본
    적 증착 방법 -. C&C (Cleaning & CMP) : 이전 공정에서 Wafer 위에 남겨진 Defect 을 깨끗하게 날려주기 위한 Cleaning 공정과, 웨이퍼가 평탄해 ... 공정을 마친 웨이퍼를 가져와 제품 형태로 패키징(Packaging)하고, 고객 요구에 맞게 동작하는지 테스트(Test)하는 역할을 한다. 즉, 300mm Wafer 형태를 각각 ... 위에 노광을 해서 원하는 패턴을 Wafer 위에 새기는 작업이다. -. Etch : Photo 공정 이후에 남은 불필요한 감광액을 날려주는 작업이다. PR Strip 이
    자기소개서 | 2페이지 | 6,800원 | 등록일 2025.02.18 | 수정일 2025.02.26
  • 인하대 패터닝 결과보고서
    다. 이러한 변화의 폭은 전자기술에 의해 결정되고, 반도체 산업은 기술혁명의 중심에 놓여있다. 반도체 공정 중에 설계한 회로패턴을 웨이퍼로 옮기는 Lithography 공정과 그 패턴 ... 며, 이러한 웨이퍼는 대부분 조각이 나버린다. 그 결과 회사의 입장에서는 반도체의 상품성이 현격히 저하되거나 없어지기 때문에 이 공정은 더욱 중요하다. 이에 따라, 본 실험에서는 마스크 ... 되거나 가속화된 Ar+, Ar*, C2F5 등의 분자가 웨이퍼에 physical sputtering effect를 일으켜 wafer를 etching 한다.#2번 실험을 진행하여 미처 제거
    리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2020.09.15
  • 기계공학응용실험-MEMS기초
    - 리소그래피는 마스크에 그려져 있는 제작될 마이크로머신의 평면 형상을 실리콘 웨이퍼상에 옮겨놓는 사진작업을 의미한다. 일반적인 반도체 IC의 제작공정에서 기본적인 공정에 해당 ... 하며, 반도체 산업의 발달과 함께 발전되어 있는 공정이다. 한 장의 실리콘 웨이퍼로부터 많은 수의 동일한 칩의 생산을 가능하게 하는 것도 리소그래피 공정의 기본 원리에 근거하고 있 ... 다. 각 공정의 단계를 살펴보면 다음과 같다. (a) 우선 웨이퍼 표면에 실리콘 산화막을 입힌다.(b) 그 표면에 PR(photoresist-감광제)을 바른다 (c) 별도로 만들
    리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2020.08.11
  • 150 mm GaAs 웨이퍼의 플라즈마 식각에서 식각 깊이의 균일도에 대한 가스 흐름의 최적화 연구 (Effect of Gas Flow Modulation on Etch Depth Uniformity for Plasma Etching of 150 mm GaAs Wafers)
    대면적 GaAs 웨이퍼의 플라즈마 식각 공정에서 식각 깊이의 좋은 균일도를 얻기 위해 반응기 내의 가스 흐름을 조절하는 진보된 기술을 실험하였다. 유한차분수치법(Finite ... 된 자료와 실제의 것이 상당히 일치한다는 것이 BCl3/N2/SF6/He ICP 플라즈마의 실험 결과로 확인되었다. 대면적 GaAs 웨이퍼의 플라즈마 식각 공정 중에서 포커스 링 ... Difference Numerical Method)은 GaAs 웨이퍼의 건식 식각을 위한 반응기 안의 가스 흐름의 분포를 시뮬레이션하기에 유용한 방법이다. 이 방법을 이용해 시뮬레이션
    논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.26 | 수정일 2025.05.14
  • 매엽식 세정장비의 동작순서 시뮬레이션 및 웨이퍼 처리량 측정에 관한 연구 (Study on Measurement of Wafer Processing Throughput and Sequence Simulation of SWP (Single Wafer Process) Cleaning Equipment)
    본 연구에서는 웨이퍼의 식각, 세정, 연마 공정에 사용되는 매엽식 세정장비의 동작순서의 시뮬레이션과 단위 시간당 처리량 측정 방법에 대해 연구한다. 유한상태기계를 바탕으로 스케쥴 ... tudy, we study measurement of wafer processing throughput and sequence simulation of single wafer type ... for wafer cleaning equipments that were used for etching, cleaning and polishing of wafer. Based on
    논문 | 10페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.29 | 수정일 2025.05.15
  • ALD 결과보고서
    결과보고서1. 실험제목 : ALD2. 실험날짜 : 2020-05-153. 실험목적 : ALD 공정의 원리를 이해한다.4. 시약 및 기기Silicon wafer, PEN ... ) Si wafer에서 같은 공정 조건으로 ALD 600 cycle을 수행하였을 때, Al2O3 박막의 두께는 몇 nm로 예상되는지 예측하고, 그렇게 생각한 이유는 무엇인지 쓰 ... wafer와 PEN(Polyethylene naphthalate) film을 준비한다.② Si wafer는 1TIMES 1cm2로, PEN film은 3TIMES 3cm2로 잘라서
    리포트 | 4페이지 | 1,500원 | 등록일 2020.12.15
  • 숭실대학교 신소재공학실험2 Oxidation 공정 결과보고서
    1. 실험 제목Oxidation 공정2. 실험 날짜23.11.163. 실험 목적? 반도체의 전반적인 공정에 대한 이해? ALD를 통한TiO _{2}박막 형성 (p-Si, p++ ... wafer, p++ type Silicon wafer, Ti-precursor, Oxygen source- 실험장비Diamond Knife, ALD, XRF, Ellipsometry5 ... . 실험 방법① Silicon wafer를 diamond knife를 활용하여 1 cm x 1 cm로 자른다.② ALD를 통해 원하는 두께의 박막을 증착한다. [Ti(Me _{5
    리포트 | 4페이지 | 2,500원 | 등록일 2024.08.26
  • (특집) 증착공정 심화 정리2편. 증착공정에서의 주요조건 4가지
    < (특집) 증착공정 심화 정리2편. 증착공정에서의 주요조건 4가지 >두번째 시간은 '증착공정의 주요 조건 4가지'에 대해서 소개하겠습니다.?증착공정의 주요 조건 4가지는 다음 ... ] Step coverage?* Step coverage : 어떤 면이 있을 때 그 위에 증착되는 두께를 이야기합니다.다음 공정을 생각할 때는 Step coverage 수치가 안 ... 좋은 것이 좋습니다.→ Step coverage 수치가 안 좋은 것이 좋은 이유는 맨 윗단이 평평하게 쌓이는 게 좋습니다. 그렇게 되면 CMP공정을 후속에 따로 진행안해도 되
    리포트 | 3페이지 | 2,000원 | 등록일 2021.11.02
  • 판매자 표지 자료 표지
    [반도체공정및응용] HW3 _ RTP, Furnace, Ellipsometer, Surface Profiler, CMP
    )◎ Mattson technology주로 반도체 웨이퍼 처리 장비를 생산하는 회사로, 본사는 미국 캘리포니아 주에 위치하고 있으며, 제조사는 독일과 중국 등에 위치하고 있다. 한국 ... 다. 웨이퍼를 양면으로 가열하는데, 200C ~ 1300C의 넓은 번위의 온도를 케어할 수 있다.◎ Applied materials전세계 반도체 장비 회사 중 매출액 1위로 반도체 ... 로 경기도 평택시에 공장과 본사가 위치하고 있다. 좌측은 300mm웨이퍼에 대응이 가능한 Vertical Furnace로 VF-5900이라는 제품이다. 대용량 스토커를 갖추어 짧
    리포트 | 4페이지 | 2,500원 | 등록일 2022.12.19
  • TSMC 운영전략
    )를 추가하는 것이지만, 또한 웨이퍼(wafer)생산량을 3000개 추가함으로써 그들의 전체적인 주문량을 늘리는 것이다. LC는 TSMC의 첨단 65nm 웨이퍼 여분 생산 능력 ... 제조되고 있는 300nm의 웨이퍼 판 사진이다.N90과 N65 공정 그룹은 TSMC Fab 12에서 가장 수요가 많은 300nm 웨이퍼 생산 공정이다. 그 당시의 최신 공정 ... wafer를 매달 맞춰야 했을 뿐더러, 다음 몇 달 동안에는, 고객사들의 최신 기술의 변화로 인하여 이 웨이퍼들과 기존 주문 3000개, 총 6000개의 생산에는 두 개의 금속 간
    리포트 | 12페이지 | 2,000원 | 등록일 2020.07.28
  • MEMS/NEMS의 이해와 활용사례
    움직이는 기계요소들이 포함되어 3차원 구조를 가지며 기존 반도체 공정보다 확장된 개념의 공정과정 필요? 일반적인 반도체칩 공정과정① 웨이퍼(실리콘기판) 위에 디포지션이라는 과정 ... 는 포토리지스트를 제거하면 웨이퍼 위에 회로 패턴 형성? MEMS 공정과정- 표면 마이크로 머시닝(surface micro machining)① 웨이퍼 위에 디포지션을 통해 희생층(s ... 가 발생하는 반도체 물질을 널빤지 형태로 만들고 그 끝에 추를 달아 차가 급감속할 때 이 추로 인해 널빤지가 휘어지면서 전기가 발생해 에어백 사출 신호 발생? 공정기술? 등장배경
    리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2021.10.09
  • 산업공학과에서 통계학의 사용
    적으로 예를 들자면 반도체 칩의 원자재가 되는 웨이퍼를 생산하는 공정이 있고 공정별 세부 작업의 흐름을 살펴 비효율적인 부분을 찾아내는 작업을 맡게 되었다고 가정해보겠습니다. 웨이퍼 ... 를 생산해내는 일련의 시스템을 ‘라드(lod)’라고 부르며, 라드 부위에 따른 일부 웨이퍼들의 뒤틀림 정도를 수치화한 표를 히스토그램으로 나타내어 공정조건에 맞춰 히스토그램을 분석 ... 합니다. 이를 통해 뒤틀림이 심한 라드 즉, 불량 라드를 찾아내어 장비를 교체하라고 지시할 수 있습니다. 위의 예에서는 간단한 히스토그램의 분석 이외에도 전체 웨이퍼(모집단)가 아닌
    리포트 | 1페이지 | 1,000원 | 등록일 2020.09.04
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    SOC(software on chip) 조사하시오
    Circuit) 설계 플랫폼: 특정 애플리케이션에 맞춘 SOC 설계8. SOC 제조 공정SOC 제조 공정은 매우 복잡하고 정밀한 과정입니다.웨이퍼 제조: 얇은 실리콘 원판을 만드는 과정 ... 입니다. 설계 단계에서는 시스템 요구사항 분석, 기능 설계, 아키텍처 설계, 회로 설계, 검증 및 테스트 등의 과정을 거칩니다. 제조 단계에서는 웨이퍼 제조, 칩 제조, 패키 ... 으로 분류될 수 있습니다.기능별: 애플리케이션 프로세서(AP), 모뎀, 메모리, 인터페이스 등용도별: 스마트폰, 태블릿, 사물 인터넷(IoT), 자동차, 산업용 등제조 공정
    리포트 | 3페이지 | 8,500원 | 등록일 2024.03.11
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    [수업자료][반도체][반도체사전] 반도체 용어 영어 번역본입니다. 국내에서 하나밖에 없는 자료입니다.
    ]마스크에 빛을 통과시켜 웨이퍼에 회로를 그려 넣는 공정.The process of drawing a circuit on a wafer by passing light through a ... 을 통해 웨이퍼 표면에 있는 불순물을 제거하는 공정.The process of removing impurities from the wafer surface through ... 하나. 단위는 CRI.One of the properties of the light source. The unit is CRI.웨이퍼 [Wafer]반도체 집적회로를 만드는데 사용
    리포트 | 9페이지 | 3,000원 | 등록일 2021.08.05
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    중국 반도체 장비 업체 현황
    매출 상위 10 개 기업에 미국 (4 개 ), 일본 (4 개 ), 네델란드 (2 개 ) 기업이 포함되어 있음 . 독과점 시장 형성된 까닭은 ‘ 반도체 미세 공정 ’ 을 진행 ... / 개발을 시작으로 산하 45 개 연구소를 두고 연구개발에 매진 . 주로 반도체 장비 후공정 신형 FPD 장비 , 태양전지 장비 생산 . 상하이마이크로전자장비그룹 (SMEE) ’02 ... 베이징칠성화전과기그룹 설립 후 , ’10 년 선전주판에 상장 . ETCH, CVD, PVD, 열처리 , 세정 장비 등 모든 반도체 제조공정 장비 생산 중국 내부 반도체 기업에 장비
    리포트 | 14페이지 | 7,000원 | 등록일 2023.11.06
  • 인하대학교 집적회로공정(전자공학과) DRAM레포트
    적으 웨이퍼의 뒷면에 BackGrinding과 CMP(Chemi-mechanical polish)공정을 함으로써 웨이퍼가 50um로 얇아진다. 웨이퍼 뒷면을 보호하고 고립시키기 위해 ... bump공정이 진행되고 유리 지지대가 제거되면 웨이퍼는 하나의 chip이 된다.4. 그 외 공정방법에 대한 비교 및 논의4.1 Stacked Capacitor 공정방법절연막 형성 ... 는 bit line의 level을 증폭하여 정보를 읽고 이를 증폭시켜 다시 cell로 보낸다. 이 과정을 row refresh라고 한다.3. 공정과정(Trench Capacitor
    리포트 | 6페이지 | 4,900원 | 등록일 2021.09.26
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    1-2 AMOLED Tooling Process & 막 두께 측정 report (A+)
    이론- 진공 ( Vacuum )웨이퍼 제조 공정 간의 많은 화학 반응들은 진공상태에서 수행된다. 진공은 밀폐된 공간에서 주변의 압력보다 낮은 압력으로 유지된다.진공의 이점진공 조건 ... 한다. 또한 알파스텝에서 탐침이 웨이퍼를 긁으며 지나갈 때 오차가 생길 수도 있을 것 같다.일반적인 반도체 및 Flat Panel Display 공정은 여러 가지 유전체 박막 ... AMOLED 소자 및 공정 실험 캡스톤 디자인 실험 제목 : Tooling Process & 막 두께 측정 ( α-step ) 실험 목적 : 진공의 기본적 이론알파 스텝을 통한
    리포트 | 10페이지 | 5,000원 | 등록일 2023.07.30
  • MOS Capacitor 제작 및 분석 실험
    했다. Oxide층 두께는 200Å을 목표로 Oxidation을 진행했으나, 결과적으로 SEM 측정결과 200Å보다 훨씬 두꺼운 783.8Å으로 형성되었다. 산화공정이 완료된 웨이퍼 이미지 ... 고, 박막 두께의 균일성이 좋지 못하다. 그러나 공정속도가 빠르고 단순하여 본 실험에서는 소자에 Metal을 증착시킬 때 Thermal evaporation 방식을 사용했다. 다음 ... coverage나쁨매우 나쁨좋음Metal DepositionMetal Deposition은 유전체 막 위에 전도성을 띤 금속 박막을 증착시키는 공정으로 집적회로의 모든 금속선
    리포트 | 22페이지 | 2,500원 | 등록일 2021.11.24
  • 웨이퍼 다이 위치 인식을 위한 명암 영상 코너점 검출 (Corner Detection in Gray Lavel Images for Wafer Die Position Recognition)
    본 논문에서는 웨이퍼 영상에서 다이 위치를 인식하기 위한 새로운 코너점 검출 방법을 제안한다. 웨이퍼 다이 위치 인식은 WSCSP(Wafer Scale Chip Scale ... Packaging)기술에 필수적인 과정으로서 웨이퍼 윗면의 다이 패턴을 얼마나 정확히 인식하느냐에 따라서 후 공정의 정확도가 결정된다. 본 논문에서는 정확한 다이 위치를 인식하기 위하 ... introduce a new corner detector for the wafer die position recognition. The die position
    논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.02.27 | 수정일 2025.03.06
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2025년 05월 16일 금요일
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