"박막증착실험"의 검색결과 입니다.

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cvd 결과보고서 알파 스텝 반도체 공정실험 박막 증착 전기화학 cv 작성 RF-magnetron sputtering PR두께

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"박막증착실험" 검색결과 761-780 / 1,111건

졸겔법을 이용한 ZnO용액제조

1.실험 목적졸-겔법을 이용하여 ZnO용액을 제조하고 Spin coating법을 사용하여 발광 박막의 제조를 통하여 박막재료 제조공절 및 졸-겔법 이해를 돕는다.2.실험 이론 ... 의 제조로 각광받기 시작하여 최근에는 박막 코팅공정의 발전으로 여러 산업분야에 응용되어지고 있다.1)졸-겔법의 분류 ①일반적으로 졸-겔법은 colloidal sol-gel 공정 ... 가 비교적 작은 경우에 많이 사용된다.3. 실험장치 및 방법3.1 실험장치 및 시약spin coater, convection oven, glass substrate, beaker

리포트 | 12페이지 | 1,500원 | 등록일 2009.12.21

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화학공학과의 미래와 전망에 대한 발표자료(PPT)

을 처리할 수 있는 플라즈마 화학증착장치에서 증착된다. 대형 기판에 균일한 박막을 입히기 위해서는 장치를 어떻게 설계하는지가 중요하다. 화학 증착 공정은 정보전자소자에 사용되는 수많 ... 으로 작동한다. 최근 개발되고 있는 디스플레이 기술은 전계 방출 디스플레이(FED), 플라스마 디스플레이 패널(PDP), 박막 트랜지스터 액정 디스플레이(TFT-LCD), 전자종이 ... , 유기 박막 트랜지스터, 유기 전계발광 소자(유기 EL) 등이 있다. 이 중 박막 트랜시스터 액정 디스플레이는 널리 상업화되어 있다. 현재 LG필립스와 삼성전자가 생산하는 액정

리포트 | 20페이지 | 2,500원 | 등록일 2009.05.01

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[일반물리 및 실험] LR회로

) 등의 절연물 표면에 증착 또는 구워붙여 박막을 만든 것이므로 박막 두께가 ㎛ 단위까지 있다. 박막저항은 대량생산에 적합하다. 전동기나 발전기의 주전류 또는 계자전류(界磁電流 ... Report- LR 회로 -과목: 일반물리학(2) 및 실험학번:이름:학과:1.어떻게 생각하는가?유도기-저항기 회로에서 유도기를 거친 전압과 저항기를 거친 전압의 관계는 어떠 ... 은 온도변화에 대한 저항 변화가 극히 작은데, 1℃에 1/10∼10/10이다. 통신기기용, 특히 최근의 집적회로용 저항기로 사용되는 박막 저항기가 있다. 이는 유리 또는 자기(瓷器

리포트 | 8페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.03.11

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배향막 코팅, 배향막 imidization (경화)

하며, 증착공정(deposition) 및 사진식각공정(Photolithography), 식각공정(Etching)을 반복하여 유리 기판 위에 박막트랜지스터를 배열하여 제작하는 공정이 ... LCD 표준 셀 제조실험 3: 배향막 코팅, 배향막 imidization (경화)1. 실험목적표준 셀 제작 좌정 중 배향막 코팅과 imidization 과정에 대해 알아보 ... 의 표면에서 받는 배향규제력(Anchoring force)의 정도는 배향의 안정성과 밀접하게 관련되어 있다.1) 배향막 형성 공정고분자 박막 형성과 Rubbing 공정, 그리고 고

리포트 | 10페이지 | 2,000원 | 등록일 2007.11.03

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SiO2 박막의 식각 및 PR 제거_예비

1. 실험제목SiO2 박막의 식각 및 PR 제거2. 실험목적여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 세 가지 공정으로 나눠지는데 첫째로 증착공정 ... 실험에서는 마스크에 의하여 형성된 패턴을 증착된 박막위로 전달하는 식각공정에 대하여 이해하고 그에 따른 박막의 표면과 두께의 변화 등에 대하여 고찰하고자 한다.3. 실험내용가장 ... 둘째로 마스크의 패턴형성 그리고 셋째로 식각공정으로 나눠진다. 이러한 공정 가운데서 중요한 공정은 박막의 식각공정으로서 마스크 패턴을 가지고 증착된 박막을 식각하는 것이다. 본

리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.11.07

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전기변색소자 (electrochromic) 물질 합성 및 색 변화 관찰

1. 실험 제목 : 전기변색소자 (electrochromic) 물질 합성 및 색 변화 관찰2. 실험 목적전기증착법 (electrodeposition)을 통하여 기판 (ITO ... 면 증착시킨 비정질 V2O5 박막은 V2O5 mole 당 여덟 개의 equivalent Li이 삽입된다고 알려졌다.지금까지 알려진 a-V2O5 박막의 Li 삽입에 의한 전기채색 현상 ... glass) 위에 오산화바나듐 (V2O5) 박막을 합성하고, 순환전압전류법 (Cyclic Voltammetry)을 통하여 합성된 박막의 전기적 특성을 파악하여 전기변색소자 장치

리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.09.19

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진공증착

1.실험제목 : 진공층착법을 이용한 박막제작 및 특성 평가2.실험목적 : 진공증착법의 원리를 알고, 실험을 통하여 유기물 및 금속물을 박막으로 제조3.실험기구, 장비, 재료 ... 에 위치한 기판에 박막이 형성된다.Electron beam evaporation의 특징(장점)- 증착속도가 빠르다. (50 A/sec 가능)- 고융점 재료의 증착이 가능하다. ... .실험 결과 및 고찰-Thermal evaporation의 원리를 알고, 주요 환경요인을 알아본다.-환경요인의 변화에 따라 발생되는 결과는?진공증착법은 진공중에서 금속, 화합물

리포트 | 2페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.12.24

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건식도금(pvd, cvd)

최대가 되어 증착이 이루어진다.증발원 재료를 증기압을 고려하여 선택함에 있어서 고려해야 할 것은 고온에서는증발원의 재료와 박막재료가 어느 조합에 대해서 반응이나 확산을 일으켜 ... 이 힘들때는 증발원의 온도를 낮추든가, 증발원 재료의 양을 박막재료의 양보다 훨씬 많게 하여 증발원의 소모를 조금이라도 억제해야 한다.이 전기저항열을 이용한 진공증착방법에서는 공급 ... ource를 이용할 수 있는장점이 있다.증발원으로부터 기판에 증착되기까지의 박막증착 형성과정은 크게① 재료의 증발에 의한 기체상으로의 상변화② 증발원으로부터 기판까지의 원자 또는

리포트 | 21페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.10.17

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태양전지의 종류

의 두께를 혁신적으로 줄이는 기술, 또는 유리와 같이 값싼 기판위에 박막형태의 태양전지를 증착시키는 기술이 주목을 받고 있다. 기존의 박막 제조공정을 이용할 경우 보다 값싼 방법 ... 고, 또한 초기 열화현상이 없는 등 비교적 안정성이 높은 태양전지로 현재 CdTe는 대규모 전력용으로 사용을 위한 실증시험 중에 있다. CuInSe2는 실험실적으로 만든 박막 태양전지 ... 2 모듈(module)에서 11%의 효율이 기록된 바 있으며 실험실에서는 17%를 상회하는 효율이 재현성 있게 기록되고 있다. CIS층은 진공증착 또는 금속막을 증착한 후 s

리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.12.06

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laser Interferometer를 사용한 계측실험

로 쓰이며, 파장이 비슷한 복합광의 분광이나 스펙트럼선의 미세한 구조를 연구할 때 쓰인다. 면을 칠할 때는 은 또는 간섭박막층을 증착시켜 반사면을 만든다.(9) 레일리의 간섭계기체 ... 분을 가지고 있으므로 고해상도의 3차원정보를 얻을 수 있다.(5) 박막 두께 측정용 간섭계박막의 두께를 측정하기 위한 장치이다. 평행광을 박막의 경계 부분에 비춰주면 박막에서 반사 ... 된 빛과 기판에서 반사된 빛 간에는 박막의 두께의 두 배 길이에 대응되는 위상 차이를 갖게 된다. 이 탐사광과 기준광을 간섭시키면 아래와 같은 간섭무늬를 얻게 된다.< 박막 두께

리포트 | 8페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.12.18

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박막재료의 표면 처리 및 PR제거

1. 실험제목박막재료의 표면 처리 및 PR제거2. 실험목적여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 (1) 증착공정, (2) 마스크의 패턴형성 ... 그리고 (3) 식각 공정으로 구분된다. 이러한 공정들 가운데서 중요한 공정은 박막의 식각공정으로서 마스크 패턴을 가지고 증착된 박막을 식각하는 것이다. 본 실험에서는 마스크에 의하 ... 여 형성된 패턴을 증착된 박막위로 전달하는 식각공정에 대하여 이해하고 그에 따른 박막의 표면과 두께의 변화등에 대하여 고찰하고자 한다.3. 실험내용가장 널리 사용되는 실리콘 산화막

리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.10.20

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유기태양전지

measurement, I-V measurement, 증착기2.2. 실험방법ITO glass를 준비하여 앞뒷면을 구분해서 정렬하고 세척하였다. 먼저 아세톤으로 ITO glass 표면 세척 후 ... [신·재생에너지 실험]유기 태양전지수 강 과 목담 당 교 수실 험 일 자제 출 일 자실 험 조작성자 이름조 원TABLE OF CONTENTSTABLE OF CONTENTS --- ... -------------------------------72.1. 실험기구 및 시약 -----------------------------------------------72.2

리포트 | 19페이지 | 2,000원 | 등록일 2010.10.02

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[공업화학 실험]박막 재료의 표면 처리 및 PR 제거

1. 실험제목박막 재료의 표면 처리 및 PR 제거2. 실험목적여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 세 가지 공정으로 나눠 지는데 첫째로 증착 ... 다. 본 실험에서는 마스크에 의하여 형성된 패턴을 증착된 박막위로 전달하는 식각공정에 대하여 이해하고 그에 따른박막의 표면과 두께의 변화 등에 대하여 고찰하고자 한다.3. 실험내용가장 ... 공정 둘째로 마스크의 패턴형성 그리고 셋째로 식각공정으로 나눠진다. 이러한 공정 가운데서 중요한 공정은 박막의 식각공정으로서 마스크 패턴을 가지고 증착된 박막을 식각하는 것이

리포트 | 13페이지 | 2,500원 | 등록일 2008.01.28

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SBT 박막제조와 누설전류, 정전기용량 측정 결과 보고서

REPORTSBT 박막제조와 누설전류,정전기용량 측정 결과 보고서■ 실험목적SBT 박막 증착과정을 통해 유전체의 성질을 알고, 반응 온도 및 두께를 설정하여 온도 및 두께에 대한 ... ℃로 실험을 하여 열처리 온도에 가 달라서 나타나는 결과에 대해 알아보고 싶어 어느정도 오차가 있는 온도로 결정했다..실리콘 웨이퍼 위의 SBT 박막의 증착을 위해서 여러 Defect ... 성 측정방법을 알아보고 전자부품의 소형화, 경량화, 직접화를 가능하게 하는 박막 공정을 공부한다.강유전체 물질을 Si 기판위에 박막으로 증착하고 이들 박막의 유전 및 절연 특성

리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.11.20

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ZnO and Method of Deposition

precursor의 열분해 반응이 일어남. 반응물의 유량과 공정온도가 박막 균일도에 많은 영향을 끼침. Precursor의 양이 중요. 증착두께 조절이 까다로움 ... 는 박막의 특성에 큰 영향을 미치지 않음. 불순물이 매우 적음.0.5Å~2Å/cycle의 낮은 증착률로 인해 높은 두께의 박막 증착에 시간이 오래 걸림. Source와 반응gas ... , 기존 ALD 공정시 같은 공정 온도에서 증착 할 수 없었던 박막을 하나의 반응기에서 동일한 온도로 증착 할 수 있게 함. → 다양한 성분의 다층 유전막을 PEALD로 증착

리포트 | 35페이지 | 3,000원 | 등록일 2010.07.29

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CVD법에 의한 CNT의 증착 및 특성

Filament 화학기상증착법(HF-CVD)162-4-3. 수소원자의 역할172-5. 스퍼터링(Sputtering)183. 실험 방법 및 분석193-1. Magnetron ... burization)반응을 30시간 실시하였다.3-2-1. 실험방법촉매금속이 증착된 기판은 반응기 내부에 설치된 filament 바로 아래 Substrate holder의 위에 올려놓고 CNT ... 증착실험을 수행하였다.우선, 촉매금속이 증착된 기판을 장입한 뒤 반응기 내부를 고진공(10-6Torr)으로 1시간 이상 유지한 후 H2(50sccm)가스를 흘려 압력을 30Torr

리포트 | 73페이지 | 3,500원 | 등록일 2008.05.10

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ZnO CNT 소자 제작 LED 리소그래피 실험

류리험에서는 NMP를 사용하여 lift-off를 수행한다.80~150 정도로 가열시킨 NMP에 박막증착까지 완료된 샘플을 넣고 PR이용해되도록 한다.lift off가 끝난 후 ... 나노공정 및 측정 실험(최종 보고서)2009. 6. 10제 1 장 서론제 2 장 LED2.1 LED란 무엇인가?2.2 LED의 재료2.3 LED의 구조2.4 LED의 응용제 3 ... 장 Photo lithography3.1 Lithography의 종류3.2 포토리소 그래피3.2.1 포토리소 그래피의 이론3.2.1 포토리소그래피를 이용한 실험방법제 4 장 ZnO

리포트 | 32페이지 | 4,000원 | 등록일 2010.04.03

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기존 PRAM의 문제점 해결방안

를 바탕으로 PRAM의 기억재료로서 응용가능성을 고찰해 보고자한다.II. 실험방법붕소를 Ge2Sb5Te5박막내에 고르게 주입하기 위해서 co Sputtering 방법으로 박막을 형성 ... Sputtering으로 증착하였다. 또한 4인치 웨이퍼상의 균일한 GSTB박막을 얻기위해 각 건은 약 30도정도 기울였으며 웨이퍼는 균일한 두께와 붕소의 양을 얻기 위해 증착하는 동안 회전을 시키 ... 면서 GSTB박막을 얻었다.Table3은 GSTB의 박막을 얻기 위한 증착조건이다. DC power를 3W로 고정하였으며 주입되는 붕소의 양을 조절하기위해 RF power를 0W

리포트 | 11페이지 | 무료 | 등록일 2007.10.08 | 수정일 2018.11.24

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칸티레버 센서

한 미소변위소자를 제작하는 것으로서 미세 구조물의 형태는 칸티레버 형태이며 , 전압인가 시 잔류응력에 의한 변위를 갖지 않도록 박막의 증착 및 식각 공정을 최적화 하여 우수한 성능 갖 ... 는 소자 제작2. Nano-storage를 위한 미소압전 (PZT) 박막의 증착기술 확보 및 구동소자의 개발 칸티레버 센서의 응용 Nano -storage 응용을 위해 칸티레버 ... 로 적합하지만 동일한 실험에서도 휘어짐의 변화가 매번 상당히 다름 MEMS 공정을 통하여 칸티레버 만드는 경우 모양과 크기는 관리되지만 제작조건에 따라 발생하는 잔류응력은 제대로

리포트 | 19페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.06.03

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기계공학실험(엔코더)

신호의형태로 출력 주스케일은 일반적으로 유리가 널리 사용, 유리위에 크롬박막의 증착에 의한 격자모양 형성 격자는 명선(빛을 통과 시키는 선)과 암선(빛을 통과시키지 않는 선 ... 을 위한 Rotary Encoder가 있다.이 실험에서는 모터가 무엇을 하고 있는지를 나타내주는 역할을 하는 기구이다. 모터의 회전속도, 회전방향등 을 나타내주는 유닛이

리포트 | 8페이지 | 3,000원 | 등록일 2012.08.19

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