"박막증착실험"의 검색결과 입니다.

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cvd 결과보고서 알파 스텝 반도체 공정실험 박막 증착 전기화학 cv 작성 RF-magnetron sputtering PR두께

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"박막증착실험" 검색결과 561-580 / 1,110건

ITO Scribing & Cleaning 예비보고서

로서, 유리기판 위에 코팅하면 색깔이 투명하고 전도성을 띄어 TNㆍSTN 평판 디스플레이 제품 구동을 위한 투명전극 기능으로 사용되고 있다.◇ITO 박막 증착=일반적으로 ITO 박막 ... 은 스퍼터링(sputtering)에 의하여 형성된다. 현재 사용되는 LCD용 ITO coated glass는 표면거칠기가 약 20∼30Å 정도이므로 상부에 유기물 다층박막이 증착 ... ※ 실습과제 : ITO Scribing & Cleaning· 학과 :· 학번 :· 이름 :· 조 :· 공동실험자 :1)실험목적◦OLED/PLED/OPV device의 투명전극

리포트 | 6페이지 | 2,000원 | 등록일 2012.02.23

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구리필름의 전기적 특성 분석 실험

μΩ-㎝ 로 매우 낮으며 이러한 특성으로 인해 RC delay에 따른 신호지연 및 응답속도 차이를 극복하는데 이용할 수 있는 좋은 재료이다.본 실험에서는 이러한 Cu 박막의 전기 ... 하다.C의 개선은 k 값이 작은 물질을 사용하는 것으로 현재 여러 가지 물질이 연구되고 있다.3. 실험 방법*Cu 전기적 성질:비저항,접촉저항* 증착방법:PVD(sputtering ... 로)③ 구리 박막의 비저항 변화(four-point probe)④ 입자크기(XRD) 및texture(FESEM) 조사4. 실험 결과 및 고찰1) 열처리 온도에 따른

리포트 | 7페이지 | 1,500원 | 등록일 2010.07.04

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금속 박막증착

1. 금속 박막의 증착장비 종류 및 특성- 금속박막 증착에는 일반적으로 물리 기상 증착(PVD)을 많이 사용한다.실험장비는 DC 스퍼터, RF 스퍼터, 마그네트론 스퍼터, E ... -beam evaporator 등이 있다.화학 기상 증착(CVD) 에서도 일부가 금속 박막 증착에 사용하는데 실험장비는 MOCVD,PECVD 등이 있다.- 물리 기상 증착(PVD ... (Sputtering): 주로 Ar과 같은 불활성 기체를 박막증착용 챔버에 투입하고 기판을 장착한 부분의반대쪽에 증착물질을 target으로 둔다.target부에 음전하를 인가하면 기판부

리포트 | 10페이지 | 1,500원 | 등록일 2010.08.24 | 수정일 2015.02.12

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반도체공정실험 예비보고서(Photo lithography)

은 시간에 소자의 대량 생산이 가능하다. 물론 Photolithography 공정만으로 3차원 구조가 만들어지는 것은 아니고 박막증착과 식각 등 여타 단위공정과 조합하여야 가능 ... 반도체공정실험 3조1. Photolithography 개요Photolithography는 원하는 회로설계를 유리판 위에 금속패턴으로 만들어 놓은 마스크(mask)라는 원판에 빛 ... 를 사용한다. 일반적인 경우 현상 시간은 약 60초 정도이나 감광제의 두께가 낮아지면 현상 시간을 줄이는 것이 유리하다. 실험실 수준에서는 주로 큰 통에 현상액을 담고 웨이퍼를 넣

리포트 | 3페이지 | 5,000원 | 등록일 2014.09.23 | 수정일 2021.04.11

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다층 박막 분석 및 평가

재료설계 및 평가실험 ⅡTi/Si 다층박막의 열처리에 따른형성 평가 및 분석 실험1.실험목적-PVD(Physical Vapor Deposition) 방법 중의 하나인 E-Beam ... Evaporation방법을 통해 증착된 Ti/Si 다층박막의 열처리 온도에 따른 Titanium Silicide형성에 대해서 평가하고 분석하는 것이었다. Titanium ... 에서 이론과 다른 결과가 나온다. 원래 증착횟수가 많을수록 낮은 비저항을 가지는 Titanium Silicide가 더 많이 생겨 비저항값이 작아야 하는데 실험결과는 다르게 나온다

리포트 | 6페이지 | 2,000원 | 등록일 2010.12.17

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[공업화학실험] 식각실험 예비보고서

1. 실험제목SiO2 박막의 식각 및 PR 제거2. 실험목적여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 세가지 공정으로 나뉘어 지는데 첫째로 증착 ... 다. 본 실험에서는 마스크에 의하여 형성된 패턴을 증착된 박막위로 전달하는 식각공정에 대하여 이해하고 그에 따른박막의 표면과 두께의 변화등에 대하여 고찰하고자 한다.3. 실험내용가장 ... 공정 둘째로 마스크의 패턴형성 그리고 셋째로 식각공정으로 나뉘어 진다. 이러한 공정 가운데서 중요한 공정은 박막의 식각공정으로서 마스크 패턴을 가지고 증착된 박막을 식각하는 것이

리포트 | 12페이지 | 2,000원 | 등록일 2010.07.23

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SiO2 박막의 식각 및 PR 제거 [결과]

< SiO2 박막의 식각 및 PR 제거 >1. 실험목적여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 세 가지 공정으로 나눠지는데 첫째로 증착공정 둘째 ... 로 마스크의 패턴형성 그리고 셋째로 식각공정으로 나눠진다. 이러한 공정 가운데서 중요한 공정은 박막의 식각공정으로서 마스크 패턴을 가지고 증착된 박막을 식각하는 것이다. 본 실험 ... 에서는 마스크에 의하여 형성된 패턴을 증착된 박막위로 전달하는 식각공정에 대하여 이해하고 그에 따른 박막의 표면과 두께의 변화 등에 대하여 고찰하고자 한다.2. 실험내용가장 널리

리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.11.07 | 수정일 2014.02.02

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[발광디스플레이 실험] CNT 성장을 위한 기본 기판 만들기

CNT 성장을 위한 기본 기판 만들기1. 실험목적Photolithography를 이용하여 CNT 성장하기 위한 기본 기판을 만들고Photolithography의 공정을 알 수 있 ... 다.2. 실험기구와 장비Spin Coater, UV 노광장치, Baker, N2 Purge, PR (Positive), CPD, Di-water, MASK, Si wafer ... , Nickel etchant (HNO3, HCl, Di-water), 광학현미경3. 실험과정1) Patterning 된 OHP Film을 준비한다(MASK).2) Si wafer에 PR

리포트 | 9페이지 | 5,000원 | 등록일 2012.01.01

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미소질량_및_미소이온전류_측정

PH 252미소질량 및 미소이온전류 측정1. 실험목적실험을 통해 진공을 얻는 펌핑 기술과 진공 측정, 진공증착에 관해 알 수 있다. 그리고 Rotary pump ... 와 Diffusion 펌프를 이용하여 수분도 없이 진공증착으로 얻어진 박막의 두께를 이용해 미소질량을 측정해본다. 또한 ion gauge를 이용하여 미소이온전류를 측정해본다.2. 측정① 수정 진동자 ... 이 된다.5. 실험결과 및 해석5.1. 미소질량 측정5.1.1.구리 박막의 저항을 측정하여 두께를 계산하고 질량을 계산챔버 위를 덮는 유리판에 slide glass를 테이프로 붙일 때

리포트 | 9페이지 | 3,000원 | 등록일 2011.01.11

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Nano imprint lithography의 이해 및 응용(예비)

재공 실험 4 예비 ReportNano imprint lithography의 이해 및 응용이헌 교수님1.Nono imprint Lithgraphy에 대해 조사(장단점 및 특징 ... 은 전자빔 노광장치를 통해, 나노스케일의 구조를 갖는 스탬프(stamp, 템플릿 또는 몰드라고도 칭함)를 제작하는 것이다. 이 제작된 스탬프를 고분자 박막에 각인하고 고분자막 ... 다. NIL용 블랭크마스크는 일반적으로 실리콘, 니켈 기판에 레지스트막을 코팅하는 방법이 사용된다. 특히, 석영기판 위에 150Å 이하의 Absorber Llayer를 증착 하고 그

리포트 | 4페이지 | 1,500원 | 등록일 2013.04.23

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ICP ( 고주파유도결합플라즈마)

들은 가속된다.(우리가 한 실험에서는 13.56MHz를 사용했다.)가속된 이온은 원자들과의 충돌에 의하여 모든 기체에 에너지를 전이시킨다.한번 이 과정이 시작되면 이온들은 6,000 ... 성 물질(금속, TiN 등)이 코팅되면 전혀 전력 전달이 되지 않아 플라즈마를 유지할 수 없다는 단점이 있다. 따라서 현재 일부 개발된 장비들도 유전체 박막 등 제한적으로만 응용 ... 화에의 적용에 많은 어려움을 안고 있다. 최근 ICP 발생 코일을 Sputtering 장치 내부에 삽입하여 실리콘 기판 위에 금속물질을 증착하였는데 이때 금속의 이온화 율이 기존

리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2013.05.30

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열증착

에서 도출된다.진공증착실험에 있어서 충분히 고려해야 할 것은 증발재료 대부분이 다른 분자 등과 충돌하지 않고 직진성을 가지면 기판에 도달해하여야 한다는 것이다. 박막을 형성 ... 1.실험목적Thermal Evaporation법을 사용하여 발광박막의 제조를 통하여 박막재료 제조 공정의 이해를 돕는다.2.실험이론박막이란, 두께가 단원자층에 상당하는 0.1nm ... 적 기술의 하나로서 이후에도 이 기술의 중요성이 한층 더 심화되고 있다.2-1) 진공증착증착 증착된 박막을 얻는 방법은 1857년에 Faraday가 처음으로 시행하였으며 그는 불활성

리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.02.08

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[발광디스플레이 실험] CNT소자의 제작과 특성평가

에서 생긴)는 증착표면에서 heterogeneous한 반응을 일으키고 이로 인해 박막이 형성되게 된다. 이어서 기상의 부산물들은 reaction chamber를 빠져나간다.그림 SEQ ... 실험 제목: CNT 소자의 제작과 특성평가실험 날짜: 2011. 11. 24.실험 목적CNT 소자를 제작하기 위해 cathode와 anode를 각각 제작하면서 각 공정들을 이해 ... 하고, CNT소자의 특성을 평가한다.4. 실험 도구 및 실험 방법1) Experimental instruments and SamplesCathode 제작RF sputtering

리포트 | 16페이지 | 5,000원 | 등록일 2011.12.28

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현대중공업 연구원(연구개발직) 서류합격 자기소개서

‘고민할 시간에 행동하자’라는 마음가짐으로 행동했습니다. 초기 실험이었음에도 불구하고 연구했던 결과를 바탕으로 증착 시간을 초까지 계산함에 따라서 상당한 시간이 걸린 적이 있 ... 와 신입생 부족으로 인한 업무 과중이 있던 시기였습니다. 2주 뒤 워크숍 통보에 실험 결과를 확인해보니 데이터가 충분하지 않았고 주어진 시간은 2주였습니다. 실험 계획을 위해서 자습 ... 과 함께 CZTS를 공부하는 박사 과정의 선배와 상의하여 실험을 계획하였습니다. 그리고 하루 정도의 토의에 걸쳐 실험 계획이 완성되고 난 후부터 혼자서 실험 시작하였습니다. 준비

자기소개서 | 3페이지 | 3,000원 | 등록일 2012.09.11

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홀센서를 이용한 자석으로 열리는 자동문 / 자석으로 닫히는 자동문

을 미치는지 실험을 통해 알아본다.3. 사전지식(1) Hall Sensor홀 소자는 옆의 그림과 같이 반도체편에 리드선을 4 개 부착한 간단한 구조이다. 반도체에 전류 I 를 흘리 ... 소자가 용도 특성이 우수하여 주목받고 있다.홀 소자의 구조로서는? 단결정 재료를 박편화한다.? 반절연 재료에 에피텍시얼법과 이온 주입법으로써 활성화 영역을 만든다.? 진공 증착 ... 으로서 박막 소자를 IC기술을 이용하여 제작한 것 등이 있다.홀 소자 이용법에는 다음의 3 가지가 있다.? 센서에 일정 전류를 흘려 놓고 자계와 자계로 변환된 다른 물리량을 검출

리포트 | 8페이지 | 1,500원 | 등록일 2014.01.12

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투명전극의 광학적 전기적 특성

해본다.4. 실험 도구 및 실험 방법1) Experimental instruments and Samples-면저항 측정원리: 4 probe system-박막의 투과/흡수/반사 측정 ... 은 플라스틱 필름의 웹코팅 등에 사용하는 광학 박막은 Sputtering으로 증착된다. Sputtering에서는 glow discharge에 의해 생성한 이온빔을 과녁에 충돌시킬 때 ... 가 높아 진공 열 증발 박막보다 조밀하고 기계적 특성이 뛰어난 광학박막을 증착할 수 있다.*glow discharge Sputtering - Sputtering은 glow

리포트 | 9페이지 | 2,000원 | 등록일 2011.09.30

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진공 증착기를 이용한 Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착 예비보고서

Ⅵ. 진공 증착기를 이용한Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착(예비 보고서)신소재공학부1. 실험 목적진공증착 장비를 이용한 박막증착 실험을 통하여 진공 및 진공 ... 장비의 원리를 이해하고, 박막의 제조와 분석을 통해서 진공과 박막의기본개념을 이해한다.2. 실험 예비 문제1) 진공에 대해서 조사하시오.진공의 사전적 의미는 물질이 전혀 존재하지 않 ... 는 기체를 이것에 흡착시킨다.현재 전구나 각종 진공관을 비롯하여, 진공 속에서 물질을 증발시켜 그 속에 놓아 둔 물체 표면에 균일한 막을 입히는 진공증착법(眞空蒸着法))이 개발

리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.09.28

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[발광디스플레이 실험] TCF의 전기적광학적특성

실험 제목: ITO, FTO, TCF의 전기적, 광학적 특성평가실험 날짜: 2011. 9. 8. / 2011. 9. 15.실험 목적ITO, FTO, TCF의 전기적 특성(면저항 ... /균일도)과 광학적 특성(투과/흡수)를 측정하고 분석하여 평가한다.4. 실험 도구 및 실험 방법1) Experimental instruments and SamplesUV ... \* ARABIC 7 위의 순서로 저항을 측정한다.4. 면저항 측정이 완료되면 균일도를 계산하여 기록한다.5. 실험 장비의 작동 원리 및 실험 이론면저항(Sheet Resistance)면저항

리포트 | 9페이지 | 5,000원 | 등록일 2011.12.28

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thermal evaporation법을 이용한 박막의 제조 레포트.

이 제안되고 있으며, 각 방식들은 서로 특징 상 큰 차이점을 나타내고 있다. 따라서, 증착되는 박막의 특성과 용도 등에 맞는 최적의 박막제작법을 선택하는 것이 중요하다. 그림 ... 에 각종 박막제작법을 나타내었다. 박막을 증착시키는 방법으로 크게 물리적인 방법(PVD, Physical Vapor Deposition)과 화학적인 방법(CVD, Chemical ... 2. Thermal Evaporation법을 이용한 박막의 제조1 목적Thermal Evaporation법을 사용하여 발광박막의 제조를 통하여 박막재료 제조 공정의 이해를 돕

리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.11.15

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SiO2 박막의 식각 및 PR 제거 [예비]

< SiO2 박막의 식각 및 PR 제거 >1. 실험목적여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 세 가지 공정으로 나눠지는데 첫째로 증착공정 둘째 ... 로 마스크의 패턴형성 그리고 셋째로 식각공정으로 나눠진다. 이러한 공정 가운데서 중요한 공정은 박막의 식각공정으로서 마스크 패턴을 가지고 증착된 박막을 식각하는 것이다. 본 실험 ... 에서는 마스크에 의하여 형성된 패턴을 증착된 박막위로 전달하는 식각공정에 대하여 이해하고 그에 따른 박막의 표면과 두께의 변화 등에 대하여 고찰하고자 한다.2. 실험내용가장 널리

리포트 | 13페이지 | 1,500원 | 등록일 2010.11.07

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