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"증착공정" 검색결과 41-60 / 2,869건

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[반도체공정]전자 빔 물리적 증착법(E-beam evaporator) 발표자료

E Beam Evaporator 특징 4 Evaporator( 진공 증착 ) 의 특징 1. 증발원은 등방적으로 이동하기 때문에 , 모든 방향으로 균일하게 증착이 이루어진다 . 2 ... . 증발원이 아래에 위치하게 된다면 기판으로 균일하게 증착하기 어려우며 , 불규칙한 증착으로 step coverage 가 낮다 . 3. 균일하게 증착하기 위해 기판이 자전 , 공전 ... 시키며 기판을 기울여 증착이 이루어지도록 한다 .2 E Beam Evaporator 특징 5 E Beam Evaporator 특징 E-beam evaporator E-beam

리포트 | 8페이지 | 1,500원 | 등록일 2023.03.08

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국내 장비기술을 활용한 YSZ 소재 전자빔 물리기상증착코팅 공정 개발 (Development of Electron Beam Physical Vapor Deposition Coating Process for YSZ Material Using Domestic Equipment Technology)

한국추진공학회 김기근, 이충렬, 이상문, 홍일선, 김유일, 김진형

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.17 | 수정일 2025.05.22

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빔 위치 관련 제어인자가 집속이온빔 패턴 증착공정에 미치는 영향 (The Influence of Parameters Controlling Beam Position On-Sample During Deposition Patterning Process with Focused Ion Beam)

대한기계학회 김준현, 김윤제, 송춘삼

논문 | 8페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.17 | 수정일 2025.05.22

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용액 공정으로 증착된 HfOx 감지막을 갖는 Electrolyte-Insulator-Semiconductor 소자의 두께 의존성 (Thickness Dependence of Solution Deposited HfOx Sensing Membrane for Electrolyte-Insulator-Semiconductor (EIS) Structures)

한국센서학회 이인규, 조원주

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.13 | 수정일 2025.03.28

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공정변수와 후속 열처리가 저압화학증착 다결정 실리콘 박막의 특성에 미치는 영향 (The effect of process variations and post thermal annealing on the properties of LPCVD polycrystalline silicon)

한국진공학회 황완식, 최승진, 이인규

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.07.07 | 수정일 2025.07.10

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스퍼터 공정을 이용한 SiZnSnO 산화물 반도체 박막트랜지스터의 증착 온도에 따른 특성 (Effect of Deposition Temperature on the Electrical Performance of SiZnSnO Thin Film Transistors Fabricated by RF Magnetron Sputtering)

한국전기전자재료학회 고경민, 이상렬

논문 | 4페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.07 | 수정일 2025.05.17

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반도체 공정 설비 정비 작업 안전보건 가이드: 증착, 식각, 이온주입 (Development of a General Occupational Safety and Health (OSH) Guide for Maintenance in Etching, Deposition, and Ion Implantation Facilities)

한국산업보건학회 조경이, 한택현, 문재진, 정인균, 황영우, 권세영, 고경윤, 이민건, 장재필, 박동욱

논문 | 9페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.06 | 수정일 2025.05.17

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DRAM 집적공정 응용을 위한 전기도금법 증착 구리 박막의 자기 열처리 특성 연구 (A Study on the Self-annealing Characteristics of Electroplated Copper Thin Film for DRAM Integrated Process)

한국마이크로전자및패키징학회 최득성, 정승현

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.07.05 | 수정일 2025.07.10

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증착공정 및 환원분위기 열처리가 Sb-Te 박막의 열전특성에 미치는 영향 (Effects of Evaporation Processes and a Reduction Annealing on Thermoelectric Properties of the Sb-Te Thin Films)

한국마이크로전자및패키징학회 배재만, 김민영, 오태성

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.06.11 | 수정일 2025.06.16

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졸-겔공정/광증착법을 이용한 Ag-Doped TiO2 합성 및 광촉매 특성 (Photocatalytic Properties of the Ag-Doped TiO2 Prepared by Sol-Gel Process/Photodeposition)

한국재료학회 김병민, 김정식

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.16 | 수정일 2025.03.28

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유한요소해석과 최적설계 기법을 활용한 증착용 산화물타겟 접합공정에서의 열변형 최소화 연구 (Thermal displacement minimization of an oxide target for bonding process by finite element analysis and optimal design)

한국결정성장학회 차한영, 정찬엽

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.17 | 수정일 2025.03.28

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반도체 공정 중 식각 및 증착에 이용되는 플라즈마의 원리 및 발생방법 정리

이 옳다.보통 반도체 공정에서 사용하는 플라즈마는 GLOW DISCHARGE2. 플라즈마의 특징1) 전체적으로 기체의 성질을 갖지만 전기 전도체이며 자기장의 영향을 받음. (전기장 ... . 플라즈마의 이온화율플라즈마는 중성원자,라디칼,전자,양이온으로 구성됨. 이온화율은 주로 플라즈마 안의 전자 에너지에 의해 결정되는데, 대부분 반도체 공정용 플라즈마의 이온율은 0 ... 게 움직여 계속 플라즈마 안에 같힘. 이로 인해 전위차가 발생하며, 이를 이용하는 것이 플라즈마 공정.플라즈마 내 존재물질 : 분자>원자>라디칼>이온>전자플라즈마 생성 :1. 중성가스

Non-Ai HUMAN
| 리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2021.06.20 | 수정일 2021.07.06

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텅스텐 화학적-기계적 연마 공정에서 부식방지막이 증착된 금속 컨디셔너 표면의 전기화학적 특성평가 (Electrochemical Characterization of Anti-Corrosion Film Coated Metal Conditioner Surfaces for Tungsten CMP Applications)

한국마이크로전자및패키징학회 조병준, 권태영, 김혁민, prasannavenkatesh, 박문석, 박진구

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.27 | 수정일 2025.05.14

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OLED의 Thin Film Encapsulation을 위한 MgO 박막의 원자층 증착 장치 및 공정에 관한 연구 (Study on the Atomic Layer Deposition System and Process of the MgO Thin Layer for the Thin Film Encapsulation of OLED)

한국반도체디스플레이기술학회 조의식, 권상직

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.07.11 | 수정일 2025.07.19

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저온 선택적 원자층 증착공정을 이용한 유기태양전지용 AZO 투명전극 제조에 관한 실험적 연구 (Experimental Study on Fabrication of AZO Transparent Electrode for Organic Solar Cell Using Selective Low-Temperature Atomic Layer Deposition)

대한기계학회 김기철, 송근수, 김형태, 유경훈, 강정진, 황준영, 이상호, 강경태, 강희석, 조영준

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.07.11 | 수정일 2025.07.19

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높은 전자 이동도의 바륨 스테네이트 박막 증착 최적화와 전자 이동도 극대화 열처리 공정 개발 (Optimization of High Electron Mobility Barium Stannate Thin Film Deposition and Development of Thermal Treatment for Electron Mobility Maximizatio)

한국세라믹학회 윤다섭

논문 | 14페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.29 | 수정일 2025.06.05

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디지털 소자용 방열판 제작을 위한 초고속 금속필름 증착장치 및 공정기술 개발 (The development of ultra high-speed metal film deposition system and process technology for a heat sink in digital devices)

한국산학기술학회 윤효은, 안성준, 한동환, 안승준

논문 | 9페이지 | 무료 | 등록일 2025.07.16 | 수정일 2025.07.20

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CIGS 태양전지의 윈도우 층에 적용 가능한 스퍼터링으로 증착한 AZO 박막의 공정압력의 영향에 따른 특성 연구 (A Study on the Effect of Process Pressure on AZO Thin Films Sputtered for the Windows Layers of CIGS Solar cells)

한국반도체디스플레이기술학회 윤여탁, 조의식, 권상직

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.06.15 | 수정일 2025.06.17

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스퍼터 공정을 이용하여 얇은 글라스 및 두꺼운 플라스틱 기판에 증착된 ITO 투명 전도막의 광학 및 전기적인 특성 분석 (Optical and Electrical Properties of ITO Transparent Conductive Film Deposited on thin Glass and Thick Plastic Substrates using Sputtering Process)

대한전기학회 김경보, 정금관, 김신우, 김무진

논문 | 8페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.27 | 수정일 2025.05.14

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공정압력이 SiO2 버퍼층을 갖는 PES 기판위에 증착한 ITZO 박막의 전기적 및 광학적 특성에 미치는 영향 (Effect of Working Pressure on the Electrical and Optical Properties of ITZO Thin Films Deposited on PES Substrate with SiO2 Buffer Layer)

한국전자통신학회 정양희, 최병균, 강성준

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.13 | 수정일 2025.03.28

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