HMDS UNIT내 CANISTER TANK에서 가압동 일MARK-7▶ FOLW METER 로 CHEMICAL 유량 조정ACT - 8▶ 유량측정/ 조정 가능 - MOTOR의 ENCOhow} ... 개수 MAPPING 기 능 LOAD / UNLOAD CASSETTE 기능 WAFER HANDLING 진행 WAFER수 지정 기능 특정 SLOT WAFER 선택 후 진행 기능4
전 설치 기준 ..........................................(5~7)3. 기초 설계3-1 유량 결정 ... 1,700 이상의 비율에 해당하는 증기를 발생하게 된다. 즉 물의 비등점에서 측정한 체적 1in³ 물은 1,728in³ 또는 1ft³의 체적을 갖는 증기로 팽창하게 된다.이 ... 주택과 조립식 주택다중 이용 업소,근린 생활시설,교육 연구 시설내의 합숙소헤드의 방수량 기준2개 개방 시 각각 50LPM 이상좌동개방헤드의 개수2개좌동헤드의 방호면적이하좌동헤드간