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"스퍼터링의 종류" 검색결과 201-220 / 422건

  • [금속재료공학]스퍼터링
    transfer function)로 특징 지워 진다.(5) 스퍼터링의 종류① 직류 인가 스퍼터링(D.C Glow Discharge sputtering)△ 직류 인가 스퍼터링 시스템 ... 2001170040신소재 공학과최 종 혁1. 실험 제목스퍼터링 (SPUTTER)2. 실험 목적? 스퍼터링법을 이용하여 금속(구리)을 증착시킨다.? 밀착력 측정법을 숙지하고 실제로 ... (GLASS) , 초음파 세척기 ,4 point prove, Target4. 관련 이론(1) 스퍼터링이란?고체의 표면에 고 에너지의 입자를 충돌시키면 target 물질의 원자가 완전탄성
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    | 리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.05.15
  • PVD의 정의 및 공정
    )④ 증금형의 종류나 형상에 따라 이온플레이팅의 응용이 불가능한 경우도 많으므로 이러한 문제점의 개선이 요망된다.① 密着性진공증착이나 스퍼터링에 비해서는 우수한 밀착성이 얻어지지만 확산 ... 진공 환경에서 실험하는 것이다.PVD 방식으로 제조할수 있는 박막재료는, 금속, 합금을 비롯하여 화합물, 비금속 산화물등이 있다.2. PVD의 종류① 이온을 이용하지 않는 진공 ... 화된 원자의 비율)을 높이는 것이 필요하다.-이온플레이팅의 종류진공용기내의 압력을 1×10-2∼1×10-3Torr 정도의 Ar가스 분위기에서 기판에는 증발원 및 진공용기의 벽(접지
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.07.18 | 수정일 2018.06.02
  • PLA의 고유점도와 표면개질 측정
    장력 변화 >처리전 처리후처리전 처리후2-2. 표면개질의 종류1)PVD(물리진공증착)PVD는 증착물질을 증발하고 공작물 표면에 두꺼운 층을 만드는 법이다. 진공 용기 속에서 금속 ... 을 증발시켜 증발입자가 공작물에 도달하기 까지 일부를 이온화, 이온이나 여기입자, 중성입자 등을 공작물에 부착 시킨다. PVD의 종류로는 진공증착, 이온플레이팅, 스패터링이있다. 이 ... 하다. 그 종류의 원소 및 화합물의 증착이 가능하며 공정조건의 제어범위가 매우 넓어서 다양한 특성의 박막을 쉽게 얻을 수 있을 뿐만 아니라 좋은 step coverage를 갖는 등의 특성
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    | 리포트 | 17페이지 | 2,000원 | 등록일 2011.10.16
  • Sputtering 방법을 통해 증착한 Cu-Ti 박막의 후 열처리 온도에 따른 Cu-Silicide 형성과 비저항의 미치는 영향과 특성 평가 실험
    ↓③ sputter의 종류 1) DC sputtering직류전원을 이용한 sputtering 방법이다. DC sputtering에서는 target이 산화물이나 절연체일 경우 s ... pu가 여러 종류의 금속에 대해 거의 일정하다.- 전류량과 생성피막의 두께가 정비례하므로 콘트롤이 쉽다.- RF sputtering에 비해 성막속도가 크다.- 비교적 구석구석 도금 ... 한다.- 기판이 과열되기 쉽다.2) RF SputteringDC sputtering에서는 target이 산화물등 절연물체일 때는 스퍼터링이 되지않는다. 그러나 고주파(RF
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    | 리포트 | 11페이지 | 1,500원 | 등록일 2009.06.25
  • [sputter]sputter 종류와 mechanism
    binding energy,: energy loss)□ Sputtering의 종류● DC 스퍼터링 (2극 스퍼터링)DC 스퍼터링은 diode 스퍼터링 또는 cathode 스퍼터링이 ... 이 만들어지게 하는 방법을 물리 기상증착법(PVD)이라고 한다.크게 스퍼터링(sputtering) 과 증발법(evaporation) 으로 나눌 수 있다.● Sputtering ... (스퍼터링)고체의 표면에 고에너지의 입자를 표면원자와 충돌시켜 고체 표면의 원자나 분자를 표면으로부터 제거하는 현상이다. removal of materials (atoms, ions
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    | 리포트 | 11페이지 | 2,000원 | 등록일 2006.02.26
  • [공학]FCCL
    실험 제목FCCL(Flexible Copper Clad Laminates)실험 목적Polyimide(PI)필름을 전(개질)처리한 뒤 스퍼터링과 도금을 통해 연성동막적층필름 ... 부른다.① FCCL 공정에 따른 특징② FCCL공정과정③ FCCL종류별 용도④ FCCL용도 예3) Peel test 원리시편의 도금한 일부분을 떼어내어 기계에 물린 뒤 일정한 힘 ... 한다.실험 결과상압일 때보다 저압일 때 진공도가 높아 균일한 박막이 이뤄져서 부착력이 더좋은 결과가 나왔다.고 찰이번 실험은 FCCL의 원리와 특징, 스퍼터링의 작동원리, peel
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    | 리포트 | 7페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.01.18
  • [물리]스퍼터링에 의한 박막 증착, 예비보고서
    (증발, 승화, 스퍼터링) 원자, 분자, 크리스터 상태로 해서 기판 표면에 수송하여 박막을 형성하는 방법이다. 한편 CVD는 목적으로 하는 박막의 구성 원자를 포함하는 원료 가스 ... CVD직류 플라즈마 CVD고주파 플라즈마 CVD마이크로파 플라즈마 CVDECR 플라즈마 CVD2. 스퍼터링열 증발법에서는 물질을 열로 녹여 증기 상태의 입자가 진공 중에 날아가 ... 기판에 응집되어 박막이 형성되나, 스퍼터링에서는 글로 방전에 의해 생성한 이온빔을 과녁에 충돌시킬 때 전달된 운동량에 의해 과녁에서 튀어나온 원자가 기판에 도착하여 박막을 형성
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    | 리포트 | 23페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.09.03
  • TCO에 대한 기초 내용 및 현재의 기술동향, 관련 특허 조사 및 분석, 시장 및 기술동향에 대한 전망 발표 자료
    정질 상태에서도 잔류물 생성을 방지. 참고 특허 酸化インジウム-酸化セリウム系スパッタリングタ [ゲット及び透明導 電膜及び透明導電膜の製造方法 (산화인듐-산화세륨계 스퍼터링 타겟 및 투명 ... Patent analysis – 증착방법의 개선증착 방법의 종류와 문제점기판 손상 발생, 고온 공정설비 비용 증가구동 전압이 불안정16Patent analysis – 증착방법의 개선
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 20페이지 | 1,500원 | 등록일 2010.03.02
  • 철 합금도금 (Electrodeposition of Iron Alloys)
    에 유용. 기계기구류, 가구장식, 배관자재, 액세서리, 와이어 제품 등에 사용.철 합금도금의 종류7-1 철-니켈 도금 -전자분야에서 자성합금박막을 이용 -자성합금박막 (80% 니켈 ... 을 포함한 철-니켈합금) -도금욕의 종류 -염화욕, 황산욕, 설파민산욕철 합금도금의 종류 철-니켈 도금전자분야에서 부품의 소형화, 신속화와 신뢰성 향상 등의 목적으로 자성합금박막 ... .철 합금도금의 종류7-2 철-인 비정질(Iron-phosphorus Amorphous) 합금도금 -비정질 합금의 장점 1. 기계적 강도 높음 2. 강성 계수는 결정 금속보다 20
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    | 리포트 | 10페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.11.06
  • PACVD
    되는 유속에 의해 지배되는 증착법 이라고 풀이하였다. 이온플레이팅도 스퍼터링과 비슷하게 플라즈마를 사용한 증착공정이지만 스퍼터링과는 달리 보통 증착하고자 하는 물질을 증발법으로 기상 ... 아서 positive column'부분이 나타나지 않기 때문이다. 그러므로 negative glow는 양쪽의 sheath사이에 해당하는 부분이다.negative glow에서는 세 종류 ... ion-plating 작업에서는 아르곤 기체 외에 다른 종류도 함께 쓰이고 있는데, 이들의 영향에 대해 알아보자.4.1 금속종대부분의 금속 vapour에 대한 이온화 에너지는 5∼8
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    | 리포트 | 8페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.04.04
  • 박막 에칭
    여분의 에너지에 상응하는 운동량을 가지고 표면을 이탈해 나오게 하는 식각 - 일반적으로 이온빔 식각 (이온빔 밀링, 이온빔 스파터링이라고도 함)과 RF 스파터 식각 두 종류 ... 식각 - 스퍼터링 효율 ; 입사 이온이나 분자수에 대한 스파터된 원자들의 수, 질량이 낮은 He+ 보다 큰 질량의 Ar+, 크립톤(Kr+) 또는 세논(Xe+)이온들을 사용할 때 더욱 ... 를 기판 물질과(음극) 충돌하여 식각됨. - DC 스파터링은 단지 도전체만을 스파터 시킬 수 있으나 RF 스파터링은 유전체를 포함한 모든 종류의 고체물질을 스파터 할 수 있다.
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 16페이지 | 2,500원 | 등록일 2010.05.13
  • 박막형 태양전지의 재료인 Cd-Te의 현재 기술과 문제점분석
    이 특징이며, 이 때문에 얇은두께만으로도 반사가 적게 제조할수 있다.Cd는 2족원소이고, Te은 6족원소이므로 여러종류의 결정결함(vacancy나 interstitial)에 의해 ... 로 인하여 발생된 S의 정공이 도너로 작용하므로 불순물을 첨가하지 않더라도 쉽게 0.1Ωcm이하의 비저항을 얻을 수 있다.CdS를 증착하는 방법으로는 진공증착법, 스퍼터링, 화학기상
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    | 리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.02.12
  • 진공의 기초와 증착이론
    라고 부르는 화학증착물리증차의 종류 저항가열식 증착 (Evaporation) 스퍼터링 (Sputtering) 이온플래팅 (Ion Plating)화학증착의 종류 Pack cementation Thermal CVD 플라즈마 CVD{nameOfApplication=Show} ... )10-10 Torr ∼ (Less)104μPa ∼ (Less)- 진공펌프의 종류positive displacement 펌프 로터리 펌프(rotary vane pump) 루츠 펌프 ... 물을 만듦.- 진공 증착의 종류1) Physical Vapor Deposition(PVD)이라고 부르는 물리증착 2) Chemical Vapor Deposition(CVD)이
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    | 리포트 | 7페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.12.10
  • [공학기술]박막
    ) ① 스퍼터링 ② 진공증발법 3. 원자증 증착 (ALD) 4. 분자빔 에피택시 (MBE)1. 화학 기상 증착 (CVD) ① LPCVD ② APCVD ③ PECVD ④ MOCVD 2. 물리 ... 기상 증착 (PVD) ① 스퍼터링 ② 진공증발법 3. 원자증 증착 (ALD) 4. 분자빔 에피택시 (MBE)화학 기상 증착 (CVD)Chemical Vapor Deposition ... 의 종류Furnace type (Warm wall type)Single w/f type (Cold wall type)Laminar flowShower headInjector123
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    | 리포트 | 38페이지 | 2,000원 | 등록일 2007.05.23
  • [화학실험]비정질벌크 및 박막제조(pre레포트)
    더라도 주위의 공기(불순물) 입자밀도가 크면 막이 형성되면서 불순물이 포함될 확률이 높게 되므로 이를 고려한 비교적 고진공을 유지해야 한다.진공을 만들기 위해 다양한 종류의 펌프가 이용 ... 이 펌프동작영역이다.진공상태를 측정할 수 있는 gauge의 종류는 다음과 같다.Borudon게이지: 얇은 금속진공막(diaphragm)이 압력에 따라 움직이는 것을 이 용.direct ... , 각종 완구류, 반사경, EMI용가전제품, 자동차 부품, 장식품 등(1)스퍼터링의 원리진공이 유지된 Chamber내에서 스퍼터 기체로 불활성 물질인 아르곤(Ar)가스를 흘려주
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    | 리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.02.02
  • 마이크로 표면측정2
    . 고찰1) 실험에 사용된 Substrate 종류 Vs Static contact angle의 그래프를 작성하시오.3) 실험에 사용된 substrate의 표면특성을 실험결과인 c ... . 이렇게 쿼럼을 센싱하여 박테리아를 포획 하면, 항생제 없이 몇몇 종류의 박테리아를 조종하여 박테리아를 유용하게 이용할 수 있게 된다.5) Plasma에 대하여 간략하게 조사하시오 ... 으로 이용되는 TiN은 Ti의 반응성 이온 플레이팅이나 스퍼터링, PECVD 방법등을 통해 건식법 으로 만들 수 있다. 또한 고분자의 표면을 질소나 산소 플라즈마 등으로 처리하면 고
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    | 리포트 | 7페이지 | 1,500원 | 등록일 2011.06.24
  • [신소재 설계입문] 생체 세라믹 재료를 이용한 인공뼈의 설계 보고서
    -m를 선택한다.2.1 Coating 재료위의 Ⅰ의 2.1에서 언급한 생체 세라믹의 종류는 HA, Bio glass, 유리 세라믹 등이 있다. Coating 재료로는 생체 친화성 ... 하는 증착법으로는 스퍼터링(Sputtering), 전자빔증착법(E-beam evaporation), 열증착법(Thermal evaporation), 레이저분자빔증착법(L-MBE ... 보다 낮은 온도에서 용이하게 제조할 수 있고, 대량생산이 가능하며 비용이 PVD에 비해 적게 든다. 또한 여러 가지 종류의 원소 및 화합물의 증착이 가능하며 공정조건의 제어범위가 매우
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    | 리포트 | 36페이지 | 2,500원 | 등록일 2011.06.23
  • pvd 실험 보고서
    , 유기금속화합물)증착하고자하는 박막의 종류에 따라서,여러 원료가스를 선택할 수 있는 것이 CVD의 특징인데, 일반적으로는 취급을 용이하게 하기 위해서 상온에서 기체인 것 또는 충분히 ... 의 종류와 반응가스를 표 2에 정리하였으며, 다음에 각각의 기술에 관한 현상과 앞으로의 방향을 설명하겠다.(5) 레이저 CVD레이저 CVD법의 장점은 ①선택적인 반응을 진행 ... Vapor Deposition)이란 진공증착, 스퍼터링 및 이온 플레이팅을 총칭하는 용어이다. 금속재료의 표면경화처리에는 예로부터 여러 가지 방법이 이용되어 왔으나 최근에는 내마모
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    | 리포트 | 10페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.12.03
  • 판매자 표지 자료 표지
    태양전지-차세대 태양전지로써의 박막형 태양전지의 성장성(태양전지의 작동원리 등)
    Module)이라 한다. 그리고 실제 사용부하에 맞추어 모듈을 어레이(Photovoltaic Array) 형태로 구성하여 설치하게 된다.▶ 태양전지의 분류▶ 종류별 태양 전지 ... deposition, CBD 또는 "Dip-Coating") 으로 입히고 투명전극 층인 ZnO를 스퍼터링법으로 증착한 후 금속전극을 입힌다. 이미 4ft2 모듈(module)에서 11%의 효율 ... 등으로 만들어진다. CIS의 밴드갭이 작은 편이므로 다른 종류의 전지보다 Jsc가 크고 Voc가 낮다. 최근의 경향은 Voc를 증가 시키기 위하여 Ga등의 원소를 합금시켜(e.g
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    | 리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.05.10
  • 저항
    1.실험목적-각종 저항을 알아보고, 색띠표에 의한 저항식별법을 공부한다.2.관련지식○저항의종류-도체는 전류를 잘 흘리는 물체이고, 절연체는 전류를 잘 흘리지 못하는 물체이다.이 ... 기로 특히 고주파 특성이 좋으므로 디지털회로에도 널리 사용되고있다. 제조 방법은 세라믹 로드에 니크롬, TiN, TaN, 니켈, 크롬 등의 합금을 진공증착, 스퍼터링등의 방법으로 필름 형태로 부착시킨 후 홈을 파서 저항 값을 조절하는 방법으로 만든다
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.03.25
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