SEM (scanning electron microscopy)

소개

SEM (scanning electron microscopy)에 대한 자료입니다.

밑부분에 설명도 자세히 되어있습니다.

목차

개요
- 현미경의 종류
- 분해능
- 전자와 시편의 상호작용

주사전자현미경(SEM)
- 이차전자와 반사전자
- Sample preparations
- SEM 구조 및 영상 형성, 확대
- SEM의 다양한 분석기술

본문내용

현미경의 비교 현미경의 비
구분 광학현미경 주사전자현미경 투과전자현미경 광원 가시광선 전자선 전자선
매질 대기 진공 진공 파장
200 ~ 750nm 0.086nm (20kV) 0.0025nm (200kV)
렌즈 광학렌즈 자계렌즈 자계렌즈
초점심도 Small Large Small 초점심도 Small Large Small
분해능
100 ~ 200nm 0.6 ~ 6nm 0.1 ~ 0.14nm
배율 10 2000 10 1 000 000 50 2 000 000 배율 x10 ~ x2000 x10 ~ x1,000,000 x50 ~ x2,000,000
확대방법
광원과 렌즈에 의한
직접확대
시료의 주사면적변화에 의한
확대
광원과 렌즈에 의한
직접확대
광학계 분해능 광학계 분해능
분해능
(resolution)
이란
?

두 물체가 영상에서 분명히 서로 다른 것으로 구별되는 최소거리로 정의되며 확대 비율과 영상의 질 되는 최소거리로 정의되며, 확대 비율과 영상의 질
을결정
.현미경에서의 분해능
(Abbe’s Law)
d=0.612λ/nsin α d 0.612λ/nsin α

파장이 짧을수록 분해능
(resolution)
증가

사람의 눈
:
약
100
μ
m

광학현미경
:
약
1
μ
m (
가시 광선
)

전자현미경
:
약
1
A (전자빔)
Spatial Resolution LimitsSpatial Resolution Limits
전자의 특성 전자의 특성

가속된 전자는 입자
인 동시에 파장과 진동수를 가진
파동
(즉
,
물질파
)

전자를 파동으로 취급할 때 속도가
ν
인 전자파장
de Broglie 법칙 λ= h / mν de Broglie 법칙 λ h / mν

전위차가
V
인 전기장내에서 가속된 전자의 파장은 상대성 이론으로 보정됨
가속 전자를 물질파로 취급하면 물질과의 산란 빛의 반사 굴절과 회절 현상 가속 전자를 물질파로 취급하면, 물질과의 산란, 빛의 반사, 굴절과 회절 현상
해석 가능
.

참고자료

· 없음