TEM과 SEM 분석

목차

1.전자현미경의 개발배경
2. 배경이론
3.TEM이란?
4.TEM의 기본적 구성
5.TEM의 메커니즘
6.TEM 재료분석 방법
7.SEM이란?
8.SEM의 기본적 구성
9.SEM의 메커니즘
10.SEM의 특징
11.TEM/SEM 비교
12.참고문헌

본문내용

전자현미경의 개발배경

- 광학현미경의 분해능을 결정하는 가시광선 파장의 한계인식
- 전자의 발견 및 전자파동설의 대두
(전자빔의 경우 De Broglie equation에 따라 파동성을 갖는다)
- 전자의 자계에 의한 렌즈작용의 이론화
- TEM의 개발(1931)
- SEM의 개발(1938)

배경이론

독일의 물리학자 압베 (E. Abbe)가 현미경의 분해능은 사용한 빛의 파장과 관계가 있다는 개념을 분명하게 한 때부터 시작되었다.

<중 략>

SEM의 특징

- 금박 코팅을 입힌다.
- 직접 투사한 전자를 이용하는 것이 아니라 그로 인해 발생한 Signal을 검출하는 방식을 이용한다.
- 시편 표면의 형상을 관찰가능
(X-Y이차원방향으로 주사하여 관찰)
- 시편을 구성하는 원소와 화합물의 종류 및 상대적인 양을 분석가능

<이하생략>

참고자료

· 한국전자현미경학회 재료분과위원회, 금동화, 김긍호, 이확주 편저 : 투과전자현미경 분석학 10-15(1999)
· 주사전자현미경의 기초, 황인옥, 김재천 공역 : 1-7(1994)
· http://www.scienceall.com/dictionary/dictionary.sca?todo=scienceTermsView&classid=&articleid=251998&bbsid=619&popissue=
· TEM 구조/ TEM의 이해/ SEM 구조 / 전자현미경 내에서의 역동적인 실험을 통한 물질의 구조, 화학 및 물성 연구
· 투과전자현미경 분석학 : 신소재 분석·평가 / 주사전자현미경 분석과 X선 미세분석
· http://pubs.usgs.gov/of/2001/ofr-01-0429/sem1/wtc01-36.sem.im1.html
· http://www.udel.edu/biology/Wags/b617/sem/sem.htm
· http://cms.daegu.ac.kr/sgpark/microbiology/원핵진핵.htm
· http://www.hansols.com/SEM_principal.htm