포토 공정과 에치공정

*동*
개인인증판매자스토어
최초 등록일
2011.12.10
최종 저작일
2011.11
3페이지/한글파일 한컴오피스
가격 800원 할인쿠폰받기
다운로드
장바구니

소개글

반도체 포토공정과 에치공정에 관한 레포트 입니다.

목차

없음

본문내용

photo 공정

1. 반도체 포토리소그래피 공정의 개요
포토리소그래피(Photolithography)는 원하는 회로설계를 유리판 위에 금속패턴으로 만들어 놓은 마스크(mask)라는 원판에 빛을 쬐어 생기는 그림자를 웨이퍼 상에 전사시켜 복사하는기술이며, 반도체의 제조 공정에서 설계된 패턴을 웨이퍼 상에형성하는 가장 중요한 공정이다.
빛을 사용하여 노광하는 포토리소그래피 장비의 기본적인 형태는 사용되는 광학계에 따라서 결정되는데, 크게 나누어서 근접 노광 방식과 투영 노광 방식이 있다. 반도체 생산 초기에는 주로 밀착 노광(contact printing) 또는 근접 노광(proximity printing) 방식을 사용하였는데, 이 두방식은 마스크와 웨이퍼 사이의 gap 유무에 따라 구분되며, 일반적으로 마스크와 웨이퍼가 균일하게 밀착되어 일정한 양의빛이 고르게 감광제(photoresist)와 반응하는 것이 기술의 핵심이다. 그러나 접촉식의 경우 감광제가 묻어남에 따라 마스크의수명이 짧아지는 단점이 있고, 근접 노광 역시 노광 중에 감광제에서 발생하는 gas로 인하여 분해능이 급격히 감소하고 재현성이 저하될 뿐만 아니라 해상도의 한계도 문제점으로 지적되었다. 따라서 마스크와 기판의 접촉이 없어서 마스크의 수명이길고 분해능이 높으며 생산성이 높은 장점이 있는 투영 노광방식(projection printing)이 반도체 제조의 주력 기술로 사용되어왔다.

참고 자료

없음
*동*
판매자 유형Silver개인인증

주의사항

저작권 자료의 정보 및 내용의 진실성에 대하여 해피캠퍼스는 보증하지 않으며, 해당 정보 및 게시물 저작권과 기타 법적 책임은 자료 등록자에게 있습니다.
자료 및 게시물 내용의 불법적 이용, 무단 전재∙배포는 금지되어 있습니다.
저작권침해, 명예훼손 등 분쟁 요소 발견 시 고객센터의 저작권침해 신고센터를 이용해 주시기 바랍니다.
환불정책

해피캠퍼스는 구매자와 판매자 모두가 만족하는 서비스가 되도록 노력하고 있으며, 아래의 4가지 자료환불 조건을 꼭 확인해주시기 바랍니다.

파일오류 중복자료 저작권 없음 설명과 실제 내용 불일치
파일의 다운로드가 제대로 되지 않거나 파일형식에 맞는 프로그램으로 정상 작동하지 않는 경우 다른 자료와 70% 이상 내용이 일치하는 경우 (중복임을 확인할 수 있는 근거 필요함) 인터넷의 다른 사이트, 연구기관, 학교, 서적 등의 자료를 도용한 경우 자료의 설명과 실제 자료의 내용이 일치하지 않는 경우

찾던 자료가 아닌가요?아래 자료들 중 찾던 자료가 있는지 확인해보세요

  • 한글파일 MEMS/NEMS의 이해와 활용사례 3페이지
    시작되어 잉크젯 헤드, 가속도 센서 등이 개발 ? 반도체 공정과 ... 기계로 가공하였으나, 마이크로/나노미터의 초소형 부품은 반도체공정과정을 ... 응용한 MEMS/NEMS 등장 - 1980년대 초 반도체공정
  • 한글파일 Top down, Bottom up 공정 4페이지
    ) 반도체 위에 패턴을 새기는 공정을 ‘포토리소그래피’라고 하는데, 이는 ... 반도체 표면 위에 그림을 새겨 넣는 과정을 말한다. 포토 ... 이상 필요가 없어진 감광 물질을 제거하면 반도체 표면에는 포토
  • 한글파일 반도체의 개요 9페이지
    산학협동강좌 레포트 Title : 반도체 공정의 최신 기술 현황 ... , 반도체용 고순도 화공약품 가스류 등으로 나눌 수 있으며, 구조재료는 ... 등의 가공공정을 통해 만들어지며, 메모리 반도체용으로 가장 널리 사용하고
  • 워드파일 8대공정 요약 2페이지
    중요합니다. 5) 증착 이온주입 공정 반도체 칩의 미세하고 수많은 층 ... 키징공정으로 나눌수있습니다. 1) 웨이퍼 제조 반도체 집적 ... 시키는 방법으로 현재 반도체공정에서는 CVD를 주로 사용하고 있습니다
  • 한글파일 조선대 나노공정-리소그래피란 무엇이고, 반도체 공정에서 리소그래피는 어떻게 발전하였는가 2페이지
    반도체, 금속, 절연층의 박막증착과 에칭 공정을 같이 사용하여 IC를 ... 리소그래피란 무엇이고, 반도체 공정에서 리소그래피는 어떻게 발전하였는가 ... 터닝 할 수 있습니다. 즉, 반도체 소자나 집적회로에 사용되는 복잡한
  • 파일확장자 반도체 제조 공정 보고서 22페이지
    1. 소개반도체공정을 주제로 반도체 제조 공정에 중심적인 내용을 다루고 ... 반도체의 역할과 종류, 반도체 관련 장비 기술, 반도체산업의 시장과 ... 체가 정공(h+)이 된다.3. 반도체 제조 공정3.1 반도체 8 대 공정 반도체
  • 한글파일 메모리 반도체의 제조공정 5페이지
    메모리 반도체의 제조공정반도체란? ○ 전기전도도에 따른 물질의 ... 나라가 주력해왔다. □ 메모리 반도체의 제조공정반도체의 제조공정은 매우 ... )* 을 확산시켜 반도체층 일부분의 전도형태를 변화시키는 공정. 산화와 열
더보기
최근 본 자료더보기
상세우측 배너
포토 공정과 에치공정