박막화기술

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2000.09.23
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초전도재료의 박막화

일반적으로 박막화기술은 (1) 물질을 고온으로 가열하는 방법 (2) 이온공학기술을 이용하는 방법 (3) 화학반응을 이용하는 3가지 방법으로 대별할 수 있다.

(1)의 방법은 가열하는 방법에 따라서 저항가열법, EB법, 레이저법 등으로 나눈다.
(2)의 방법은 sputter법이나 cluster 이온빔법 등 물리적인 에너지를 이용해서 박막을 형성하는 방법이다.
(3)의 방법은 성분원소를 기체형태로 옮겨 기판상에서 분해, 반응시키는 방법이며 분해방식에 따라서 光CVD, ECR플라즈마 CVD 등으로 부른다.

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