감마선 조사에 의한 반도체 패킹용 플라스틱의 분출가스 특성 (Characteristics of the Gases Emitted from Semiconductor Packing Plastics due to γ-ray Radiations)

서지정보

· 발행기관 : 한국물리학회
· 수록지 정보 : 새물리 / 67권 / 11호 / 1308 ~ 1311페이지
· 저자명 : 오동훈, 차덕준

초록

본 연구에서는 반도체 패킹용 플라스틱 재료에 감마선을 조사하여 분출되는 가스의 종류 및 그 양을 측정하였다. 분출 가스를 측정하기 위하여 반도체 패킹용 플라스틱 재료를 환봉의 형태로 제작하였다. 제작된 플라스틱 시료는 유리관 넣고 밀봉한 후 Co-60 (Cobalt-60) 선원으로 감마선을 조사하였다. 조사된 선량은 1 Gy, 1$\times$10$^2$ Gy, 1$\times$10$^4$ Gy, 1$\times$10$^6$ Gy, 1$\times$10$^7$ Gy 단계를 나누어 조사하고 그 후 각 조사량에 따른 시편을 구분하였다. 감마선에 조사된 유리관을 유기 화합물 혼합체 분석법 (gas chromatography, GC) 분석기가 장착된 설비에 넣고 유리관 내부에 분출된 기체의 양과 종류를 분석하였다. 분출된 가스를 분석한 결과 일산화탄소, 메탄, 이산화탄소 및 탄화수소가 발생 되었음을 확인하였다. 가스 분출은 낮은 선량에서는 관측되지 않았으나 1$\times$10$^4$ Gy부터 가스 분출을 시작하여 1$\times$10$^6$ Gy에서 급격하게 증가하였다.

영어초록

We measured the type and the amount of gas emitted by the plastic packing material for semiconductor packing when it was irradiated. In order to measure the gas emitted from the plastic material, we produced the plastic material in the form of a round bar. The plastic material was sealed with a glass tube and then irradiated with gamma rays from Co-60 (Cobalt-60) source. The irradiated gamma doses were 1 Gy, 1$\times$10$^2$ Gy, 1$\times$10$^4$ Gy, 1$\times$10$^6$ and 1$\times$10$^7$ Gy, and the tubes were classified according to the dose. Gamma-irradiated glass tubes were placed in a facility equipped with a GC analyzer to determine the amount and the type of gas in the glass tube according to the gamma dose. An analysis of the emitted gas confirmed that carbon monoxide, methane, carbon dioxide, and hydrogen carbon were generated. No emitted gas was observed at low doses; gas emission was confirmed as starting at 1$\times$10$^4$ Gy and increasing rapidly with increasing dose up to 1$\times$10$^6$ Gy.

참고자료

· 없음