박막 저항 측정 4포인트 프로브 실험 보고서
2024.10.11
1. Four Point Probe
1.1. Four Point Probe란 무엇인가?
Four point probe는 안쪽 두점 사이의 전압과 바깥쪽 두점 사이의 전류를 측정하여 박막(thin layer) 및 쉬트(sheet)의 저항치를 측정하는 계측기이다. 측정원리는 전류가 흐르는 바깥 두점에서 발생한 전압을 안쪽 두점에서 검출하여 저항을 계산하는 방식이다. 이를 통해 표면 저항치(sheet resistance)와 체적 저항치(bulk resistivity)를 측정할 수 있다. 특히 네 개의 정렬된 탐침을 사용하여 샘플의 표면...
2024.10.11