"Segregation coefficient"의 검색결과 입니다.

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wafer 제조공정 웨이퍼 제조 공정

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"Segregation coefficient" 검색결과 1-5 / 5건

수직경사응고(VGF)법에 의한 Si 도핑 GaAs 단결정 성장시 B2O3 첨가에 따른 캐리어 농도 변화 (Control of carrier concentrations by addition of B2O3 in Si-doped vertical gradient freeze (VGF) GaAs single crystal growth)

한국결정성장학회 배소익, 한창운

논문 | 4페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.09 | 수정일 2025.05.08

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Estimation of the impurity segregation in the multi-crystalline silicon ingot grown with UMG (Upgraded Metallurgical Grade) silicon (Estimation of the impurity segregation in the multi-crystalline silicon ingot grown with UMG (Upgraded Metallurgical Grade) silicon)

한국결정성장학회 정광필, 김영관

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.08 | 수정일 2025.05.08

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웨이퍼제조공정 및 시장

구경)? 시간이 오래 걸려 생산성은 떨어짐2. Segregation Coefficient용융상의 도펀트의 농도와 성장중인 결정의 불순물 농도의 비를 분리계수(segregation c ... 와 실리카 성장기를 사용하지 않는다는 점 외에는 Cz법과 유사하다. 열은 한 순간에 단지 봉의 일정한 부분만을 용융시키는 단선의 RF(radio frequency) 코일(coil)로 제공 ... 이 오래걸림? 소량생산? 내부의 저향률 분포가 고르지 않음? 균일한 도펀트가 어려움Ⅲ. Pull Speed & Segregation Coefficient1. Pull

Non-Ai HUMAN
| 리포트 | 8페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.11.11

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[재료공학]웨이퍼제조공정

(segregation coefficient)라고 부른다.k = Cs/ Cl여기서 Cs는 성장하는 결정에 존재하는 도펀트의 평형농도이며, Cl은 용융상내에 존재하는 도펀트의 평형농도 ... , SiH장초기에 결함이 표면에서 모두 제거될 때까지는 단결정의 직경을 키우지 않고 성장을 진행하게 되는 것이다.결함이 모두 제거되면 온도를 약간 내리고 끌어올리는 속도를 약 2.5 cm ... 는다는 점 외에는 Cz법과 유사하다. 열은 한 순간에 단지 봉의 일정한 부분만을 용융시키는 단선의 RF(radio frequency) 코일(coil)로 제공된다(그림 5.5.2

Non-Ai HUMAN
| 리포트 | 13페이지 | 2,000원 | 등록일 2007.03.13

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인장실험

) Segregations of Cu atom in the saturated (Al) at {100} cubic plane(4∼6Å Thick, 80∼100ÅDiam)3) γCu γ ... : Strength coefficientεu : 진균일 변형율Necking현상이 인장 변형 중 최대하중점에서 시작된다고 가정하고, logσ-logε 곡선에서 n(Stress-hardening ... . 결과 및 고찰8. 참고문헌1. 제목Carbon steel(0.45%C), Al 6061(Mg 0.8∼1.2, Si 0.4∼0.8, Cu 0.15∼0.4, Cr 0.04∼0.35

Non-Ai HUMAN
| 리포트 | 30페이지 | 2,000원 | 등록일 2000.12.14

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