경지 -001-01(REV.0) 작업표준 (SOP) 문 서 번 호 : ** – ** – *** 제 / 개정일자 : 201.. ACQC (Automatic Clean Quick ... 토 자 승 인 자 제 정 1 차 개 정 2 차 개 정 3 차 개 정(SOP) ACQC (Automatic Clean Quick Coupler) 0 2 / 4 작업 목적 ACQC ... ) 배관 部 1. N2 用 MQC(20A) 2. Chemical 用 ACQC (50A) 1. Chemical 세정 V/V / 2. N2 건조 V/V / 3. N2 가압 4. N2
, ACQC 반자동 설비 개발, Auto Filter 개발, Sampling Auto System 개발, Slurry Drum Auto Coupler System 개발, 물류 자동 ... 화, ACQC 자동화, 유기 폐액 자동화(3) 연혁2. 사업 내용(1) 개요- 초고순도(UHP; Ultra High Purity) 특수설비사업. 고순도(UHP) 특수설비사업은 초고