된다. electron beam 소스인 hot filament에 전류를 공급하여 나오는 전자 빔을 전자석에 의한 자기장으로 유도하여 증착재료에 위치 시키면 집중적인 전자의 충돌로 증착 ... 진공 증착기 기본구조(3) Evaporation sourceEvaporation source의 대표적인 것은 저항가열식 source와 전자빔 source이다. 먼저 저항가열식 s ... 상태로 만든 후 증착하고자하는 증발 원을 전자빔으로 가열해서 기판위에 증발원을 증착시키는 방법이다. 증발에너지는 전자빔을 사용하고 표면개질을 위한 표면에너지를 제공하기 위해서 Ion