"박막두께측정"의 검색결과 입니다.

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"박막두께측정" 검색결과 821-840 / 1,164건

LCD패널제작

(Photolithography)은 mask에 그려진 Pattern을 박막이 증착된 Glass위에 전사시켜 형성하는 일령의 공정으로 일반 사진 현상의 공정과 같다. 감광액 도포 ... 에서는 이와 같은 공정이 In-Line화된 자동화 설비에서 이루어 진다.4) 식각기술물리적, 화학적인 반응을 이용하여 Glass 상에 PR에 의하여 형성된 Pattern대로 박막 ... 을 선택적 제거함으로써 실제의 박막 Pat tern을 구현하는 방법으로, Pattern이 형성된 부분의 박막은 남게 되고 PR이 없는 부분의 박막은 제거된다. 식각 공정에는 Gas P

리포트 | 17페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.03.25

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발광예비

1.실험제목발광박막의 제조(Fabrication of Light Emitting Thin Films)2.실험목적발광특성이 있는 물질을 사용한 간단한 발광박막의 제조를 통하여 박막 ... 필라멘트는 색온도는 절대온도 2700도 정도이며, 푸른 빛을 내는 할로겐 금속 전구는 색온도가 6000도 가량이다. 새로 만들어진 유기 다이오드는 고분자 막의 갯수와 두께에 따라 색 ... 온도는 방법이다. 유기 단분자를 사용한 유기발광박막의 제조에 있어서는 이들 방법 중 일반적으로 진공증착법이 널리 사용되고 있는데, 이는 기판에 손상을 주지 않으면서 고진공 하

리포트 | 9페이지 | 3,000원 | 등록일 2008.04.14

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[공학]BULK보고서

film diffractometry)X선은 수 ㎛ 이상 깊이까지 침투하여 회절하므로 박막 두께가 수 천Å이하로 얇을수록 회절감도가 상대적으로 감소하기 때문에 박막의 peak가 잘 ... 에 이용2) 결정화도 (crystallinity)의 측정, 결정의 크기, strain 측정3) 박막의 조성 및 구조 해석4) 온도에 따른 상변화 및 결정 구조의 해석5. 장점과 단점 ... 는 두께가 두껍고 외부와 내부가 같은 물질로 이루어져 있기 때문에와 2모두 유동할 수 있다.실험결과를 살펴보면, 위 그래프에서 가장 넓은 구간(20 ~ 80도)을 측정한 것을 보

리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.01.18

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[재료공학실험]thermal evaporation system

한 주파수로 진동함. 수정진동자의 전극 표면에 흡착이나 탈착에 의한 질량의 변화가 일어나면 진동수가 변하게 됨 , 이 변화를 측정하여 박막의 두께변화로 해석압력 측정 장치 ... 율과 두께, 시간을 표시. 증착물질의 종류에 따라 프로그램 설정.-Vacuum gauge controller: 게이지로 측정한 압력 표시-Shutter: 1, 2, 3 각 셔터 조절 ... )이 불량하고 기판과 박막의 접합 강도가 약한 단점이 있다. 박막의 두께는 기판과 금속 물질 사이의 거리 만큼에 존재하는 기화된 물질의 기화 속도나 양으로 결정할 수 있다.물질

리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.06.03

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[전자재료]E-beam operator와 Sputter

질이 매우 높은 온도까지 올라가면 증기상태로 되어 증착하고자 하는 박막에 증착되게 된다.박막 증착시 박막 두께 측정 센서를 통해 박막의 두께를 확인하며 공정을 진행할 수 있다.이 때 ... : Electron beam을 이용한 증착기. 각종 금속(Au, Al, Ti, Cr)등의 박막을 기판위에 증착할 수 있는 장비E-beam evaporator의 모습->원리E ... , 금속원자들이 직선이 아니라 임의의 방향으로 쌓이게 된다는 사실이 중요한데, 이는 시료를 여러 각도에서 충돌하게 되어 불규칙하게 생긴 시료의 파단면도 일정한 두께로 coating이 되도록 해준다.

리포트 | 4페이지 | 2,000원 | 등록일 2006.09.10

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[공학]박막 재료의 물성 측정

urveNanoindentation은 최근의 경도 측정방법으로 박막과 같은 수 m order 이하의 미소영역에서의 물성평가를 위해 새로 개발된 시험법이다. indentor의 압입 과정을 전기적인 방법 ... 면 (탄성깊이는 시편표면의 휜 부분)(소성 깊이= hmax - w(hmax-hi), w : 압입자 형태에 따른 보정 상수)2. 박막의 Adhesion 측정"adhesion - 동종 ... 인장시험기 이용해 핀을 수직으로 당기는 시험법.박막이 모재로부터 분리된 순간의 응력을 측정함으로써 계면접합특성을 평가할수 있다.{(2) Scratch test{ 그림 2

리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.11.19 | 수정일 2016.03.21

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세라믹재료(업체,개선방안)

의 집적도가 증가함에 따라 다결정 실리콘 박막과 그 산화막 두께가 얇아지게 되면서 고농도로 도핑 된 다결정 실리콘으로부터의 불순물과 다결정실리콘과 다결정 실리콘 산화막 계면에 형성 ... hip 저항은 삼성전기에서, SMD 저항기는 동서, 성요사에서 생산중이며, 고정밀급 칩형 또는 박막형 저항은 일본의 마루와, 에이와, 교세라 등과 독일의 세람텍이 국내시장에서 치열 ... 저주파수 영역에서 측정온도가 높을수록 tanδ값이 커지는데 이것은 시료가 공기중에서 온도 증가로 인한 산화가 발생시 이때 Si-C결합이 끊어지고 실리콘오일의 분자 간 이어짐

리포트 | 12페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.11.17

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전자부품의 종류 (저항, 콘덴서 등)

기기들에는 대부분 이러한 칩 형태의 저항기가 사용됩니다.(11) 박막형칩 저항기◎ 박막형 칩 저항기는 후막형 칩 저항기와 거의 같은 모양을 가지고 있지만 저항체 막의 두께가 훨씬 얇 ... 는 매우 정확한 저항값을 요구하는 경우도 있는데 이 경우에는 보다 높은 정밀도의 선별된 저항을 구입하거나 여러 개의 저항을 구입하여 자신이 원하는 치수에 맞는 저항을 측정기로 찾아내 ... 고 저항체 금속으로 Ni-Cr계, TiN, TaN 등이 주로 사용된다.◎ 박막형 칩 저항기는 후막저항기보다 저항값 허용차와 저항온도계수특성이 정밀하고 전류노이즈특성, 고주파특성

리포트 | 69페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.11.12

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[화학실험]ALD공정의 기본원리를 이용한 박막제조 및 특성평가(final)

구조에 계단 도포성이 매우 우수한 증착 기술이며 박막의두께의 정밀한 조절이 용이하다는 것을 알 수가 있었다.Cycle을 200회 이외의 다른횟수에서는 측정하지는 않았지만 박막 ... 이 없다.· 대면적의 박막증착 균질성이 우수하다.· 박막 두께의 정밀 조절이 용이하다: Cycle의 횟수에 의해 조절된다.· 박막 내 불순물이 적게 포함한다.· Step c ... 의 두께는 cycle의 횟수가 증가할수록 선형적으로 증가하리라는 것을 예측할 수 있다. 다른 실험의 자료에 의하여 박막과 cycle와의 관계를 나타내는 그래프는 다음과 같다.그림 5

리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.02.02

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[실험보고서]Rutherford 산란

현미경 M에 의한 관측된다.(a). 방사는 붕괴로부터 나오는 8 MeV 알파입자 원천을 써서 Geiger와 Marsden은 산란각을 약 25°로 고정시키고 여러 두께 t의 산란 박막 ... .11 세 개의 다른 산란박막에 대한 산란율의 박막 두께 의존성이 결과는 Thomson 모형 원자와 Rutherford 핵 원자에 의한 산란 사이의 뚜 렷한 차이를 부각시킨다. 즉 ... 여 그려졌다.(c). Rutherford 산란공식의 이 예측을 검증하기 위하여 Geiger와 Marsden은 산란 박막의 두께를 고정시키고 알파입자의 속력을 변화시켰다. 그 들은 운모

리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.03.20

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반도체

SYSTEMCommon Problems about RTP 박막에 따라 RTP 의 온도 교정 필요 Furnace 에 비해 Wafer 전체에 균일한 열을 전달하기 힘듬 패턴화된 Wafer 의 경우 ... 공정 중 정확한 온도를 측정하기 어려움 Better Design NEEDHow does we design RTP System? Wafer 교체하여도 항상 같은 온도 - 시간 함수 ... ) 텅스텐 할로겐 램프의 균일한 주파수 성분 정확한 온도 측정 및 제어D ifference between Furnace and RTP Vertical Furnace RTP 로딩방식

리포트 | 24페이지 | 3,500원 | 등록일 2008.10.04

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[공학]박막특성 측정방법 예비보고서

. indentation load-depth curve & log plots of unloading curveNanoindentation은 최근의 경도 측정방법으로 박막과 같은 수 μ ... 을 측정함으로써 계면접합특성을 평가할수 있다.(2) Scratch test전단응력을 통해 계면접합특성 평가하는 시험법. 철필에 하중을 주어 박막 표면을 긁어 박막이 모재로부터 분리 ... 된 순간의 응력 측정한다. 이때 박막의 분리는 압입응력, 마찰력, 잔류응력의 복합적인 작용에 의해 발생하므로 이러한 응력 및 모재의 성질, 압입자의 반경, 마찰력 등을 고려

리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.11.19

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mbe(molecular beam epitaxy) 원리와 특징

을 성장시키는 방법.MBE 시스템의 개략도(1)질량분석기센서열차폐이온화 검출센서전자층 Si소스온도센서석영-크리스탈두께측정센서가열기판기판장착기창셔터Sb 셀터보-분자펌프Ti승화펌프 ... 로 기판에 박막 물질을 가함.MBE의 정의(1)10-10 Torr 이하 초고진공 상태의 적정온도에서 결정 작용으로 생긴 표면과 박막을 구성하는 요소의 분자 빔 사이의 작용에 의해 박막 ... 시킬 수 있다. 분자가 기판 위에서 soft landing한다. 분자선 단속셔터를 통해 막두께 제어가 용의하다. 고순도의 원료와 고진공을 이용하여 고순도, 고품질의 결정성장이 가능

리포트 | 22페이지 | 2,000원 | 등록일 2007.06.11

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Sputter

한다.6.실험 결과 및 고찰-물질의 비저항, 면저항?박막의 평가및 분석을 하기위해 비저항과 면저학을 측정한다.?보통 웨이퍼가 제조 공정에 들어가기에 앞서 육안 및 현미경을 통해 검사 ... 되고 비저항이 측정된다. 집적회로 공정에서 가자많이 고려되는 확산에 관한 측정변수는 접합 깊이, 표면 농도및 평균비저항 등이다.-Sputter를 이용하여 ITO박막을 증착 방법 ... 표준적인 sputter 장치이다.? 성막속도가 여러 종류의 금속에 대해 거의 일정하다.? 전류량과 박막두께가 거의 정비례하므로 조절이 쉽다.? RF sputtering에 비해 성막

리포트 | 2페이지 | 1,500원 | 등록일 2006.12.24

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반도체 레이저 다이오드

전극도, 반도체의 극성을 얻기 위한 재료와 구성을 선택한다.일반적인 반도체레이저는, 활성층은 0.1-02um, 클래드 층 두께는 수um정도, 기판은 100um정도 이다. 그리고 ... 용으로 절연기판이 사용되기도 한다.캐리어의 농도는 홀 효과를 이용하여 측정한다.- 결정결함: 대표적이 결정결함인 전위는 에칭 파트 밀도(EPD)를 이용하여 나타낸다.이때 무전위화가 되 ... 도록 요구된다.- 표면결함: 적층하는 박막의 결함이기 때문에 매우 중요한데, 이는 피트, 부착물 등을 맨 눈으로 또는 표면 조사장치로 관찰한다.- 웨이퍼의 휨과 크기: 에피텍셜 성장시

리포트 | 6페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.10.19

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전해도금-1

의 기술은 여러가지 방법들이 있는데 그중에서 화학적 방법을 이용한 전기 도금법에 대하여 알아보고, 변수조절에 따른 박막의 증착량의 변화를 측정하고 왜 그렇게 되는지 이해한다. 이번 ... 1. 실험 제목Chemical Methode에 의한 박막 증착 중 Electroplating2. 실험 목적일상생활 속에서 대부분의 많은 제품은 박막기술이 사용되어 있다. 박막 ... 수 있다 공업적 용도에는 전주, 두께 (인쇄 롤), 동박의 제조 외에 프린트 배선 기판의 도금이 있다. 장식적 용도로는 니켈 도금 등의 바탕 도금에 사용되고 있다.구리 도금 외

리포트 | 15페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.11.17

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Cu film의 전기적 특성 분석 실험

한 불순물로 이루어진다.3.실험 방법박막증착- PVD (Sputtering)두께: Cu 200nm실험순서 sputtering으로 Cu박막 증착①실리콘 웨이퍼를 자른다.②“아세톤+알 ... 과 아닌 부분의 차이를 통해 두께를 측정한다.-기계 작동하기①Ar밸브를 연다.②MGK를 연다.③압력을로 맞추고 플라즈마를 연다.④150W로 올려준다.⑤셔터를 연다. 열처리(수평 관상 ... 법용 으로 이용한다. Diffractometer는 크게 X-Rays를 발생 시키는 X선 발생장치, 각도 2q를 측정하는 Goniometer, X선 강도를 측정하는 계수기록장치

리포트 | 8페이지 | 2,500원 | 등록일 2007.04.15

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Atmega128을 이용한 LED잔상기

에 의한 내부 전기마당은Ey = vdB (4)또, 홀 전압은VH = vdBd (5)가 된다. 홀 전압을 측정하고 자기마당(B)과 y-방향으로의 크기(박막의 두께) d 를 알면 전하 ... 의 표류속도 vd 를 알 수 있다. 또, 표류속도와 전류밀도(단위 면적당의 전류) J 사이에는J = nqvd (6)의 관계가 있어, 홀 전압의 측정으로부터 전하수송체의 밀도(즉, 단위

리포트 | 31페이지 | 5,000원 | 등록일 2012.10.31

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디스플래이공학실험-oled

에 고속으로 회전시켜서 박막을 얻는 방법으로 간단한 반면 실제 막이 되는 것은 5~10%로 90%이상이 스핀코터 벽에 부착되어 버리고 막두께를 조절할 수 없다는 단점이 있다.PVK ... 실험목적실제로 OLED를 제작하여 보고 그 발광효율과 휘도를 측정해보는 것이다. 양극으로는 ITO Glass를 이용하였고 그 위에 α-NPD, Alq3, LiF를 깔고 음극 ... 으로 Al을 사용하여 OLED를 제작하여 발광효율과 휘도를 측정하여 보았다.관련이론OLED(유기EL)-유기EL(Electro-Luminescence)의 뜻은 유리나 플라스틱 등 위

리포트 | 15페이지 | 3,000원 | 등록일 2008.03.28

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디스플레이 물성및재료 반도체 제조공정 디스플레이 제조공정1

④ Pattern Distortion EPI Si이 성장하면서 원래의 Pattern이 왜곡되는 형상.공정 직후 평가 비파괴,비접속 방식 : 두께 측정, Particle측정 파괴, 접속 방식 ... (SiO2)을 형성. 장점 산화막의 두께 조절이 용이. 실리콘과 산화막(SiO2)사이의 계면 특성이 우수. 종류 건식산화(Dry Oxidation) 습식 산화(Wet ... ℃의 고온 열치리. 장점 : 매우 높은 농도의 dopants를 poly-Si 박막에 침투. 단점 : 고온공정이라는 점과 surface Roughness(표면 거칠도)를 증가LP-CVD

리포트 | 26페이지 | 2,000원 | 등록일 2009.05.20

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