. 가우시안분포10. 이온주입 (Ion Implantation)확산은 적당한 도펀트 농도와 온도가 있으면 일어나는 자연현상이다. 그러나 이온주입은 자연히 일어나는 일이 아니라 이온 ... 는 프로세스를 말한다. 웨이퍼에 불순물을 주입시키기 위한 방법으로서 1970년대 초반까지는 확산에 의한 불순물 주입 방법이 지배적이었으나 낮은 농도 영역 (단위 cm2당 1015 개 이하
{Rightarrowbinomial probability 가우시안 정규분포poisson approximationn large , p small , np = constant{pmatrix{n#k}p ... . McGillem, Oxford University Press, 1999Goal : 기본적인 확률이론과 랜덤변수 및 랜덤 프로세스 이론을 통하여 랜덤 신호 특성과 랜덤 신호