FE (Field Emission)의 개요

소개

FE (Field Emission)의 개요

목차

FE(Field Emission)의 개요
Thermionic Field Emission
FIB System에서의 진공
Roughing Pump
Noble Pump
Turbo molecular pump

본문내용

FE (Field Emission) 의 개요
어떤 고체에 전극 전압을 인가하였을 때 뾰족한 부분(전기공학에서는 이러한 것을 보통 돌기(protrusion)이라고 표현합니다.)이 존재하게 되면 전계가 집중되게 됩니다. 이것을 ‘전계 집중’ 현상이라고 합니다. 전계라는 것은 대전체 주위의 전기적인 힘이 미치는 공간입니다.

전계가 집중되면 금속표면으로부터 전자의 방출이 쉬워집니다. 이것을 FE (Field Emission) ‘전계방출’ 이라고 합니다.

위 좌측 두 그림은 chamber 안에 tungsten wire를 에칭해 만든 바늘 전극에 갈륨을 적재(loading)하는 모습이다. tungsten filament에 heating current를 흘려주니 환한 빛을 낸다. 우측 그림은 진공도를 높이기 위해 사용하는 게터(Getter)의 모습이다. 이온빔을 Emission 하기전에 좀더 high 진공을 만들기 위해 게터를 사용한다. 게터 또한 heating current의 영향으로 빛을 내고 있다. 이러한 작업은 10 -6㎜Hg의 진공 내에서 이뤄진다.

참고자료

· 없음