LPE 액정에피텍시

소개

반도체 공정중 액정에피텍시에 대해 ppt 자료입니다.
20페이지 불량이고 직접만든 자료입니다.
논문을 바탕으로 만드느라 고생좀 했음;;

목차

LPE이용과 기원
에피택시란?
LPE
성장법(열평형, 과냉각,...)
결함
결론(장점과 단점)

본문내용

LPE법은 많은 반도체 결정들을 용융점보다 훨씬 낮은 온도에서 성장시킬 수 있는 기술
반도체와 두 가지 원소의 혼합물은 그 반도체 자체보다 낮은 온도에서 녹기도 하기 때문에, 이러한 혼합물 용액으로부터 결정을 성장시키는 것이 유리
주기율표 상의 Ⅲ족 원소로서 Ga이나 In 등이 포함되는 Ⅲ-Ⅴ족 화합물 반도체의 결정성장에 있어 특히 유용, 이들 금속 원소들이 적절하게 낮은 온도에서 화합물 반도체들과 용액을 만들기 때문

4)수직형 LPE
석영회전봉을 회전용액홀더를 돌림(기판홀더는 고정)결정성장
흑연보트를 수직방향으로 들이고 내어야함성장의 재료나 기판의 로딩과 언로딩이 어려움
흑연보트의 성장용액홀이 원주방향으로 위치전기로의 설계가 비교적 쉽고 제작비가 저렴

참고자료

· 한국해양대 도서관 논문