TEM

소개

TEM의 구조/작동원리/분해능/시료준비/응용
투과전자현미경(Transmission electron microscope)은 전자선(electron beam)이 통과할 수 있도록 얇은 두께의 절편(ultrathin sections)을 만들어 관찰할 수 있도록 하는 기능적 장치로 여러 가지 각각의 시스템으로 구성되어 있다. 투과전자현미경의 구조는 크게 조명시스템(illuminating system), 표본 작동시스템 (specimen manipulation system), 표본 이미지 시스템(imaging system), 관찰실(viewing chamber)로 이루어져 있다.

목차

1. TEM의 구조
1) 조명시스템(Illuminating system)
2) 표본 작동 시스템(Specimen manipulation systemor specimen stage)
3) 표본 이미지시스템(Imaging system)
4) 관찰실(Viewing system)
5) Vacuum System
2. TEM의 작동원리
3. TEM의 분해능
4. TEM의 시료준비
5. Applications of TEM

본문내용

1. TEM의 구조
투과전자현미경(Transmission electron microscope)은 전자선(electron beam)이 통과할 수 있도록 얇은 두께의 절편(ultrathin sections)을 만들어 관찰할 수 있도록 하는 기능적 장치로 여러 가지 각각의 시스템으로 구성되어 있다. 투과전자현미경의 구조는 크게 조명시스템(illuminating system), 표본 작동시스템 (specimen manipulation system), 표본 이미지 시스템(imaging system), 관찰실(viewing chamber)로 이루어져 있다.

1) 조명시스템(Illuminating system)
Illuminating system은 현미경 column의 맨 위쪽에 위치하면서 필라멘트, shield, anode 등으로 구성된 전자총(electron gun)과 집광렌즈(condense lenses)로 이루어져 있다.

(1) 전자총(electron gun)
전자현미경 경통의 제일 윗부분에 위치하며 전자총 안의 텅스텐 필라멘트(tungsten filament)에서 열전자가 만들어 진다. 표준 필라멘트는 직경 0.1mm(대략 사람의 머리카락 두께)로 V자 모양이며 텅스텐은 양이온과 음이온이 결합된 유리전자(free electron)를 포함하고 있다.
▪ Field Emission Gun (FEG)
기존의 표준적인 전자총보다 약 1000배 이상의 밝기가 가능한 완전히 다른 전자총이다. Field emission gun에서는 원자배열이 전자방출이 극대화되도록 결정격자의 방향이 정확히 조절된 텅스텐 단결정으로 구성된 필라멘트를 사용한다.

참고자료

· 없음