[공학]전자현미경의 구조와 원리 및 응용범위

소개

전자현미경의 역사부터, 전자현미경의 원리 및 구조, 현재의 응용범위등을 다루고 있는 보고서 입니다. 또 대표적인 전자현미경인 SEM 과 TEM에 대해 자세히 다루고 있어, 전자현미경 외에도 SEM, TEM자료가 필요하신 분들에게 많은 도움이 되리라 생각합니다.

목차

1. 전자현미경의 역사
2. 전자현미경이란?
(1) 전자현미경의 정의
(2) 광학현미경과 전자현미경의 비교
(3) 전자현미경으로 얻을 수 있는 정보
(4) 전자현미경과 분해능
3. 전자현미경의 구조와 원리
(1) 전자현미경의 기본적인 작동원리
(2) 전자빔과 시편의 상호작용
4. SEM & TEM의 원리 및 구조
(1) 주사전자현미경(SEM : scanning electron microscope)
(2) 투과전자현미경( TEM : transmission electron microscope )
(3) SEM & TEM 의 장비사진
5. 전자현미경 응용범위
(1) 각종 실험의 형태학적 분석
(2) 생명(의)공학재료의 분석
6. 그 외의 현미경 - 원자현미경
참고문헌

본문내용

전자현미경의 구조와 원리

(1) 전자현미경의 기본적인 작동원리
- 전자현미경은 시편의 영상외에도 구조 및 성분에 대한 정보도 겸해서 얻을 수 있는 점과 가시광선대신에 촛점을 맞춘 전자빔을 사용한다는 것 이외에는 광학현미경과 작동원리는 동일하다. 모든 전자현미경의 기본 원리는 ▷ 전자총에 의해서 형성된 일련의 전자들이 인가된 전기장에 의하여 시료를 향하여 가속된다. 전자다발이 금속으로 형성된 aperture와 자기장을 이용한 렌즈에 의해서 촛점으로 모아지고 파장이 일정한 전자빔을 형성한다.
이 전자빔이 다시 자기장을 이용한 또 다른 렌즈에 의해서 시편에 촛점을 형성한다. 시편에 입사되는 전자들과 시편내에 포함된 원자 및 전자들이 상호작용(interaction)한다. 이러한 상호작용 및 그 결과가 탐지되고 이미지로서 스크린, CRT, 혹은 필름에 기록된다. 위의 단계들은 전자현미경의 종류에 관계없이 모두 발생하는데, 세부적인 사항으로서 주사전자현미경과 투과전자현미경에서 차이가 있다.

(2) 전자빔과 시편의 상호작용
- 전자들이 15내지 25kV의 전압에 의하여 가속되어 시편과 충돌하면, 상호작용에 의하여 여러가지 형태의 radiation을 방출한다. 전자의 속도나 시편의 밀도에 따라서 전자비임은 시편내 수 micrometer까지 침투해 들어간다. 시편의 표면에 입사되는 전자비임의 직경이 예를 들어 2 micrometer라고 할지라도 전자들은 시편에 입사된 후 시편내의 원자들과 상호작용하여 전자의 에너지를 잃을 때 까지 임의의 방향으로 산란되어 퍼지게 된다. 이 결과, 전자비임이 시편에 입사된 종단면(longitudinal cross section)을 보면 전자비임이 시편과 상호작용한 부분이 눈물형태(teardrop-shaped area)의 형상을 가지게 된다.

참고자료

· http://home.dongguk.ac.kr/%7Eplantpia/labelectromicro.htm(전자현미경실)
· http://www.icm.re.kr (재료연구 정보센터)
· http://blog.naver.com/tiger6107?Redirect=Log&logNo=140020052271
· http://kr.dic.yahoo.com/search/enc/result.html?pk=17778600&p=전자현미
· 경%20&field=id&type=enc
· http://www.yeskisti.net/yesKISTI/index.jsp
· http://www.microscope.wo.to/
· http://www.ksem.com/(한국전자현미경학회)
· http://www.uiduk.ac.kr/~kchan/01lecture/012cellbiology/0121week01/0121w01chapter
· 01_3/e-microscope.htm
· http://www.ksemt.com/down.html
· http://blog.naver.com/bbaby1123?Redirect=Log&logNo=40018438321
· http://kin.naver.com/db/detail.php?d1id=11&dir_id=110209&eid=wTplP2F4+Xm2mZie9WNY/5vg2CipnKrD&qb=wPzA2sf2ucyw5g