[박막 공정] 단분자층 제조 방법 (LB method & SAM method)

소개

단분자층 제조 방법인 LB method와 SAM method에 관한 자료입니다.

목차

1. LB method (Langmuir-Blodget method)
2. SAM method (Self-assembled Monolayer method, 자기조립법)
그림 . 자기조립단분자막 제조 모식도
3. LB & SAM method의 문제점
4. LB & SAM method의 장점

본문내용

1. LB method (Langmuir-Blodget method)

LB법은 친수성기와 소수성기를 같이 가진 분자를 낮은 끓는점을 가진 용매 (주로 클로로포름 등을 사용)에 녹인 후 이를 수면 상에 떨어뜨려 얇게 퍼지게 하면, 용매가 증발하면서 수면 상에 단분자 층이 형성된다. 이 때 수면 상의 바를 천천히 움직여 분자를 압축하면 그림에 보인 것과 같이 분자들의 소수성기는 수면 위로 친수성 기는 수면 아래로 위치하면서 분자들 간의 간격이 좁혀져서 막을 형성한다. 압력을 관측하여 분자 간의 간격이 최소로 유지되도록 하면서 단분자 막이 파괴되지 않는 압력에서 기판을 수면으로 담갔다가 꺼내면 기판의 포면에 단분자 막이 전이된다. 이렇게 제조되는 LB 단분자 막은 기판에 단분자 막이 물리적으로 흡착된 상태로 전이되었기 때문에 기판과의 접착력이 매우 약하다. 즉, 단분자 막 형성 후 세척이나 다른 방법으로 표면을 처리할 수 없으며 막의 기계적 강도가 매우 약하다. 따라서 소자 제작 시에 일부 문제점이 있다.

참고자료

· 1. 분자를 이용한 나노 전자 소자의 개발, 이창진, 강영구, 물리학과 첨단기술, June 2004