[반도체공정및응용] 과제5 _ Ion implanter, RTA System

소개

반도체 공정 및 응용 과목의 5번째 조사에 관한 HW입니다. 문제 풀이는 솔루션을 찾아보면 나오기도 하고 수기 작성이 원칙이라 비어있습니다.

목차

1. Ion Implanter
2. RTA System

본문내용

* Applied materials
Ion Implanter는 두 회사가 시장의 90%를 차지한다. 그 중 한 곳인 AMAT이다. 본사는 미국 캘리포니아주에 위치하고 있고, 싱가포르, 중국, 캐나다, 유럽, 일본, 배트남 등등 전세계에 지부를 두고 있으며, 한국엔 AMK라는 산하의 회사를 두고 있다. 좌측의 제품은 VIISta ® 3000XP 라는 제품이다. 65nm 이하의 제품을 대량 생산하기 위해 단일 웨이퍼 아키텍처에 정확한 각도 제어, 선량 제어가 가능하다.

* Axcelis technologies
Ion implanter를 전문적으로 생산하는 장비 회사로 AMAT과 함께 시장의 90%를 차지하고 있다. 본사는 미국 메사추세츠주에 위치하고 있으며 미국과 유럽, 아시아에 산하 회사가 있다. 국내에는 Axcelis Asia Operations Center가 평택에 있으며, 이 외에도 이천과 부천, 청주 등에 공장이 있다.

참고자료

· 없음