기계 공학 응용 실험 예비레포트-MEMS실험 입니다.

최초 등록일
2017.03.30
최종 저작일
2017.01
6페이지/한글파일 한컴오피스
가격 500원 할인쿠폰받기
판매자sehy**** 5회 판매
다운로드
장바구니
자격시험 이용후기 이벤트

목차

1. 과제1. 마이크로머시닝의 필요성 및 응용에 관하여 기술하시오.
2. 과제2. 마이크로머시닝을 통한 미소기계소자의 제작방법에 관하여 기술하시오.
3. 과제3. 센서와 구동기의 종류와 응용에 관하여 기술하시오.

본문내용

과제1. 마이크로머시닝의 필요성 및 응용에 관하여 기술하시오.
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)는 입체적인 미세구조와 회로, 센서와 액추에이터(actuator)를 실리콘 기판 위에 집적화 시킨 것으로 소형이면서도 복잡하여 고도의 동작을 하는 시스템으로 마이크로시스템(Microsystem)이나 마이크로머신(Micromachine) 등으로 불리기도 한다. MEMS는 반도체 집접회로의 구조 기술을 기본으로 하고, 전자, 기계, 광, 재료 등 다양한 기술을 융합한 미세가공(micromachining) 기술로 제작되어, 소형화는 물론 집적화, 저전력 및 저가격 등 대부분의 전자, 기계 및 부품들이 궁극적으로 추구하는 목표를 모두 만족시킬 수 있다는 장점을 가지고 있다.
이제 21세기를 주도할 핵심기술 중 하나로 인식되고 있는 MEMS 기술은 우리가 흔히 접할 수 있는 정보기기 관련 시스템의 센서나 프린터 헤드와 같은 중요한 부분에 이용되고 있으며, 생명공학, 미세 유체 및 화학분석, 운송 및 항공, 광학, 그리고 로봇 등과 같은 산업 분야에서 구조, 부품 및 시스템 제조를 위한 핵심 기술로 활용되고 있다.
현재 연구중인 응용분야로는 정보화기기분야(자기 헤드, 프린터 헤드 등), 의료기기분야(세포조작, 진단 및 수술 등), 제어계측기기분야(센서, 자유제어 시스템 등), 광학기기분야(광섬유통신, 광스위치, 마이크로 렌즈 등), 극소형기계분야(필터, 노즐, 밸브 등) 등이 있다.
마이크로 머시닝 기술은 크게 실리콘 bulk etching에 의한 bulk 마이크로 머시닝과 실리콘 위에 다결정 실리콘, 실리콘 질화막 및 산화막, 금속막 등을 증착하고, 설계된 형상에 따라 식각하여 구조물을 제조하는 surface 마이크로 머시닝으로 나눌 수 있다.
bulk 마이크로 머시닝은 알칼리 용액이 결정의 방향에 따라 실리콘 단결정을 다른 속도로 식각하는 etching 성질을 이용한 기술이다. surface 마이크로 머시닝은 실리콘 기판 위에 구조층과 희생층을 증착하고 식각하는 공정을 통해 미세 구조물을 형성한다.

참고 자료

없음

자료문의

ㆍ이 자료에 대해 궁금한 점을 판매자에게 직접 문의 하실 수 있습니다.
ㆍ상업성 광고글, 욕설, 비방글, 내용 없는 글 등은 운영 방침에 따라 예고 없이 삭제될 수 있습니다.
ㆍ다운로드가 되지 않는 등 서비스 불편사항은 고객센터 1:1 문의하기를 이용해주세요.

판매자 정보

sehy****
회원 소개글이 없습니다.
판매지수
ㆍ판매 자료수
5
ㆍ전체 판매량
22
ㆍ최근 3개월 판매량
1
ㆍ자료후기 점수
받은후기없음
ㆍ자료문의 응답률
받은문의없음
판매자 정보
ㆍ학교정보
  • 비공개
ㆍ직장정보
  • 비공개
ㆍ자격증
  • 비공개
  • 위 정보 및 게시물 내용의 진실성에 대하여 해피캠퍼스는 보증하지 아니하며, 해당 정보 및 게시물 저작권과 기타 법적 책임은 자료 등록자에게 있습니다.
    위 정보 및 게시물 내용의 불법적 이용, 무단 전재·배포는 금지되어 있습니다.
    저작권침해, 명예훼손 등 분쟁요소 발견시 고객센터의 저작권침해 신고센터를 이용해 주시기 바랍니다.

    찾던 자료가 아닌가요?아래 자료들 중 찾던 자료가 있는지 확인해보세요

    • 한글파일 기계공학기초실험-좌굴 5페이지
      물을 설계할 때 이러한 좌굴을 꼭 고려해줘야 한다. 참고 문헌 기계공학기초실험(기초역학실험실 매뉴얼) ... 좌굴 실험 1. 탄소강 실험 데이터 20*3*500 20*3*700 ...     27.5 65.7     이를 토대로 그래프를 그리면 2. 알루미늄 실험
    • 한글파일 기계공학기초실험-비틀림 4페이지
      시편들의 경우 잔류응력이 남아있을 수 있다. 참고 문헌 기계공학기초실험(기초역학실험실 매뉴얼) ... 비틀림 실험 1. 재료의 물성치 기록 재질 D(지름) J(극관성모멘트 ... 일어나지 않는다는 의미이다. 실험 오차의 원인으로는 실험장비에 달려있는
    • 한글파일 기계공학용응실험 기계시스템운동의 가시화 + 기초진동실험 18페이지
      기계공학응용실험 6장 기계시스템운동의 가시화 / 기초 진동 실험 학과 ... 부족감쇠의 형태를 보여주었다. 6. 참고문헌 기계공학실험교재편찬위원 ... 회, 기계공학응용실험 제 3판 2016 Fourier Transform 출처
    • 한글파일 기초기계공학실험 레이놀즈 수 실험 7페이지
      1. 실험 제목 : 레이놀즈 수 실험 3. 실험 목적 원관 속의 흐름 ... . 본 실험은 유체역학에서 가장 기본적인 무차원 수인 레이놀즈 수를 기준으로 ... 유동의 특성을 파악하는 기본적인 실험으로서 층류 및 난류를 임의적으로
    • 한글파일 [보고서1등] 길이 및 중량 측정 실험 (예비) [A+] 아주대 기계공학기초실험 4페이지
      : 기계 공학 기초 실험 제출일: 실험일자: 실 험 조 명 : 책임 수행 ... 합 계 / 10 비 고 아주대학교 기계공학과 1. 실험 목적 이번 ... - 예비 보고서 - 실험 제목: 길이 및 중량 측정 실험 과목명
    • 한글파일 아주대학교 기계공학기초실험 - 온도 측정 실험 9페이지
      - 결과 보고서 - 온도 측정 실험 과목명 : 기계 공학 기초실험 제출 ... / 25 결 론 / 10 합 계 / 60 비 고 아주대학교 기계공학 ... 일: 실험일자: 실 험 조 명 : 책임 수행자 : 공동 수행자 : 형 식
    • 한글파일 기계공학응용실험 인장실험 10페이지
      기계공학응용실험 4장 인장실험 학과 : 기계공학부 학번 ... 실험은 재료의 강도 설계를 위한 기초 정보를 제공하는 정적 인장실험을 통하여 ... : 201221101 분 반 / 조 : 12분반 / 7조 이름 : 강 동 혁 실험일자
    더보기
    상세하단 배너
    우수 콘텐츠 서비스 품질인증 획득
    최근 본 자료더보기
    기계 공학 응용 실험 예비레포트-MEMS실험 입니다.