파워포인트 
-
미리보기
목차
1. 진공
2. Oil Rotary Pump
3. Oil Rotary Vane Pump
4. 출처 및 참고문헌본문내용
① 흡입
- 외부의 공기가 Tube를 통하여 Rotor 내부로 유입
② 팽창
- Rotor 내부 Cylinder 및 Vane이 회전하며 Rotor 내부의 공기 팽창 및 이동
③ 압축
- Rotor 내부에서 외부로 공기를 빼내기 직전의 상태로, 내부 공기는 압축
④ 배기
- Rotor 내부의 공기가 Exhaust outlet 을 통하여 공기를 외부로 유출
<중 략>
① Rotary Pistion Pump의 구조
(1) Rotor
(2) Cylinder
(3) Pistion
(4) Discharge Valve
② Rotary Pistion Pump의 원리
- Cylinder 중심과 편심이 되어있는 Rotor가 Cylinfder 축을 중심으로 캠(Cam)운동을 하고 , Pistion이 Rotor표면에 밀작된 상태로 왕복 운동을 하면서 Cylinder가 두개의 공간(Cell)로 분할
- 이 공간의 용적이 로타리 회전에 따라 수축, 확장을 반복 후 공기를 흡입 한 후 이를 다시 압축 시켜 배출
참고자료
· 진공의 기초(Basic vacuum practice)개정판, 김홍배 손상희 공역,㈜전자자료사
· 진공과학입문(introductory vacuum science & technology), 정석민 이진원 박종윤 공저
· 기초 진공공학, 김현후 황용운 박대희 임기조 공저, 내하출판사
· 브리태니커 백과사전
· 김기출 교수님 수업 ( 기초전자공정 필기 노트 )태그
-
자료후기
Ai 리뷰지식판매자의 이 자료는 과제를 작성하는 데 필요한 정보를 완벽하게 충족시켜주었습니다. 덕분에 과제 제출 기한을 맞출 수 있어 정말 감사했습니다. -
자주묻는질문의 답변을 확인해 주세요
꼭 알아주세요
-
자료의 정보 및 내용의 진실성에 대하여 해피캠퍼스는 보증하지 않으며, 해당 정보 및 게시물 저작권과 기타 법적 책임은 자료 등록자에게 있습니다.
자료 및 게시물 내용의 불법적 이용, 무단 전재∙배포는 금지되어 있습니다.
저작권침해, 명예훼손 등 분쟁 요소 발견 시 고객센터의 저작권침해 신고센터를 이용해 주시기 바랍니다. -
해피캠퍼스는 구매자와 판매자 모두가 만족하는 서비스가 되도록 노력하고 있으며, 아래의 4가지 자료환불 조건을 꼭 확인해주시기 바랍니다.
파일오류 중복자료 저작권 없음 설명과 실제 내용 불일치 파일의 다운로드가 제대로 되지 않거나 파일형식에 맞는 프로그램으로 정상 작동하지 않는 경우 다른 자료와 70% 이상 내용이 일치하는 경우 (중복임을 확인할 수 있는 근거 필요함) 인터넷의 다른 사이트, 연구기관, 학교, 서적 등의 자료를 도용한 경우 자료의 설명과 실제 자료의 내용이 일치하지 않는 경우
문서 초안을 생성해주는 EasyAI
