비점수차법을 이용한 간섭계의 정밀 측정 방법

소개

비점수차법을 이용한 간섭계의 정밀 측정

목차

1. 비점수차법을 이용한 간섭 신호 보정법

2. 실험장치

3. 결론

본문내용

산업 전반에 걸쳐서 일반적으로 광학부품이나 웨이퍼, 유리제품 등의 제조 시에는 제작된 광학부품의 형상을 측정하기 위하여 나노미터 정밀도를 가지는 측정 기술 중에서 레이지 기반의 비접촉식 기술이 널리 쓰이고 있다. 특히 간섭의 원리에 기초한 피조 간섭계, 점회절 간섭계 등 다양한 간섭계 시스템이 널리 사용되고 있으며, 간섭계 시스템은 서브 나노미터 크기의 정밀도를 제공하면서도 비교적 넓은 측정 범위를 가진다는 장점을 지닌다. 그러나 간섭계를 통한 광학식 측정 장치는 측정대상물 표면의 높이 변화(단차)를 정밀하게 측정할 수 있다는 장점에도 불구하고 간섭계의 2π 모호성에 기인하여 측정 범위가 제한된다는 한계점 및 간섭 신호의 크기와 위상(Phase)이 동시에 변하는 복합물질 진단에서의 난점, 기타 주변 환경의 변화에 의한 노이즈와 같은 정확성 저해요인이 존재하는 것 또한 사실이다.

<중 략>

[그림2]의 설계에 따른 빛의 흐름에 대해 간략히 설명하겠다. 2모드 He-Ne 레이저에서 나온 빛이 BS를 지나면서 두 갈래로 나뉘어 한 갈래는 PD2로 진행하여 기준빛이 되며, 다른 한 갈래는 HWP(λ/2 Plate)로 향한다. HWP를 지난 빛은 다시 PBS를 지나면서 편광되어 나뉘어 한 갈래는 거울에 반사되어 BS를 지나 PD1으로 가고, 다른 갈래는 OI를 지나 HWP로 입사된다. 이 빛은 다시 PBS를 거쳐 QWP(λ/4 Plate)를 지나 오브젝트렌즈를 지나 X-Y-Z 스테이지에 도달한다. X-Y-Z 스테이지 상의 시편이 도달한 빛을 반사하고, 이 빛이 다시 되돌아가 PBS에서 반사되어 BS를 통과해 한 갈래는 PD1로 진행하고, 다른 갈래는 4분할 포토다이오드로 진행된다. [그림1]에 실험에 쓰인 장치의 개략적인 구성도와 실험을 수행하는데 사용한 실험장치가 나와 있다.

참고자료

· 없음