SEM(주사전자현미경)의 미세먼지 실험

소개

SEM(주사전자현미경)의 원리와 장점 및 구조, 그리고 미세먼지 실험 과정과 결과를 그림과 그래프를 첨부하여 체계적으로 정리하였습니다.

목차

1. 실험목적
2. 실험장비
3. SEM의 원리, 장점, 구조, 용도
4. 미세구조 분석 실험 과정
※ 폴리싱 하는 이유
※ SEM 사용 시에 시편에 에칭을 하는 이유
5. 실험결과
6. SEM과 광학현미경 비교
7. 논의 및 고찰

본문내용

3. SEM의 원리, 장점, 구조, 용도

SEM 원리
- 10-3Pa이상의 진공중에 놓여진 시료표면을 1-100nm정도의  미세한 전자선으로 x-y의 이차원방향으로 주사하여 시료표면에서 발생하는 2차전자, 반사전자, 투과전자, 가시광, 적외선, X선, 내부기전력등의 신호를 검출하여 음극선관(브라운관) 화면상에 확대화상을 표시하거나 기록하여 시료의 형태, 미세구조의 관찰이나 구성원소의 분포, 정성, 정량등의 분석을 행하는 장치이다. 금속등의


SEM의 구조
- 전자총(Electron Gun) : 전자총의 역할은 광원으로 쓰이는 전자를 만들고 가속시키는 역할을 한다. 전자총은 전자선(electron ray)의 형태로 사용되는 안정된 전자원을 공급하게 되며, 이는 Richardson의 법칙을 따른다. 충분한 양의 2차 전자를

5. 실험 결과
- SEM을 통한 시험편의 단면 관찰은 조교님께서 준비한 시편을 사용하였다. 하지만 report는 실험 자료 배부 시에 첨부된 grain 사진으로 grain 측정을 대신한다.
- Polishing 시, 실패한 이유
- SEM 사용 시, 시편의 표면에 백금 코팅을 입히는 이유
- Grain 의 크기 측정

참고자료

· 없음